듀얼 마그네트론 스퍼터링 법으로 제조된 Pd-Doped Carbon 박막의 물리적 특성에서 Pd 타겟 전력의 영향에 대한 연구 (Study of Pd Target Power Effects on Physical Characteristics of Pd-Doped Carbon Thin Films Using Dual Magnetron Sputtering Method)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제35권5호
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- pp.488-493
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- 2022