• 제목/요약/키워드: void formation

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트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 (Formation of Passivation Layer and Its Effect on the Defect Generation during Trench Etching)

  • 이주욱;김상기;김종대;구진근;이정용;남기수
    • 한국재료학회지
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    • 제8권7호
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    • pp.634-640
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    • 1998
  • HBr을 이용한 트렌치 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성 및 분포에 미치는 영향을 고분해능 투과전자현미경을 이용하여 연구하였다. $O_2$ 및 다른 첨가 가스로 $SiO_xF_y$, $SiO_xBr_y$ 등의 식각 방지막을 표면에 형성시켜 벽면 undercut을 방지하고 표면의 거칠기를 감소할 수 있었으며, 이후의 트렌치 채움 공정에서 void 가 없는 잘 채원진 구조를 얻을 수 있었다. 형성된 식각 방지막은 격자 결함의 생성 및 이들의 분포에 영향을 미쳤다. 대부분의 식각 유도 결함들은 트렌치 바닥의 가장자리에서 $10\AA$ 이내의 깊이로 분포하였으며, 잔류막의 두께에 의존하였다. 두꺼운 잔류막층 아래로는 결함들이 거의 사라졌으며, 결함층의 깊이와 잔류막 두께는 대체로 반비례하는 것을 나타났다. 기판 내에 존재하는 결정학적인 결함들은 식각종의 입사각이나 에너지에 의존하는 반면에,식각된 표면에서 관찰되는 결함들은 트렌치 식각동안 형성되는 이러한 잔류막의 두께에 크게 의존하는 것으로 나타났다.

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발포제에 따른 산무수물계 에폭시 폼의 압축강도 및 포밍특성 분석 (Investigation of Compressive Strength and Foaming Characteristics of Acid Anhydride Epoxy Foam by Foaming Agent)

  • 권동준;김종현;박성민;권일준;박종만
    • Composites Research
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    • 제31권4호
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    • pp.133-138
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    • 2018
  • 구조용 폼의 용도는 난연, 단열 기능이외에 구조적인 목적으로 공극부위를 충진시키는 용도로 사용되고 있다. 경량 소재 개발을 위해 CFRP와 구조용 폼이 이용되고 있으며, PUR, PIR, PVC, PET와 같은 대표적인 폼이 존재한다. 본 연구에서는 구조용 폼의 특성 중 강도 강화를 위한 목적으로 에폭시 폼을 개발하고자 하였다. 에폭시 조성 중 산무수물계 경화제는 기존의 폴리올과 반응을 하기 때문에 산무수물계 에폭시 수지에 발포제를 이용할 경우 폼이 형성되는지, 형성된다면, 압축특성과 포밍 형태를 관하는 연구를 진행하였다. 에폭시 폼을 형성시키기 위한 발포제의 종류에 따른 영향 및 발포재의 농도에 따라 변화되는 폼밍의 결과 차이를 분석하였으며, 산무수물계 수지의 조성차이에 따른 폼의 압축강도를 평가하였다. 궁극적으로 에폭시 폼을 최적의 발포제 선정으로 구조적 강도가 높은 폼을 형성시킬 수 있음을 확인하였으며, 기존의 구조용 폼 소재에 비해 높은 압축강도 및 비압축 강도를 가짐을 확인하였다.

하악각 골절에서 제 3 대구치 발치 후 아테로-콜라겐 스펀지의 유용성 (Usefulness of Atelo-collgen sponge (Teruplug$^{(R)}$) for Treatment of Mandibular Angle Fractures with Third Molar Extraction)

  • 오화영;최환준;권준성;이형교;김용배
    • Archives of Plastic Surgery
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    • 제38권2호
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    • pp.155-160
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    • 2011
  • Purpose: Fibrillar collagens like type I collagen, are the major constituent of the extracellular matrix and structural protein of bone. Also, it can be a scaffold for osteoblast migration. The purpose of this study is to estimate the effects of absorbable atelo-collagen sponge (Teruplug$^{(R)}$, Terumo biomaterials Co., Tokyo, Japan) insertion in tooth extraction sites on periodontal healing of the second molar, healing of the fractured mandibular bone and new bone formation of third molar socket after the extraction of the impacted third molar with mandibular angle fracture. Methods: In our study of six cases of mandibular angle fractures, all of them underwent the extraction of the third molar tooth & absorbable atelo-collagen sponge insertion in tooth extraction site. Three of them had a intraoral infection & oral opening to fracture site, two of the six had dental caries, and only one had reduction problem due to third molar position. Six consecutive patients with noncomminuted fractures of the mandibular angle were treated by open reduction and internal fixation using one noncompression miniplates and screws placed through a transoral incision. Results: All of the patients have showed good postoperative functions and have not experienced complications requiring second surgical intervention. There was well healing of the mandibular bone and the most new bone formation of third molar socket after the extraction of the impacted third molar with mandibular angle fracture. Conclusion: The results of this study suggest that absorbable atelo-collagen sponge is relatively favorable bone void filler with prevention of tissue collapse, food packing, and enhance periodontal healing. Thus, the use of atelo-collagen sponge and one noncompression miniplate seems to be relatively easy, safe, and effective for the treatment of fractures of the mandibular angle and third molar extraction.

활성오니(活性汚泥) 및 진개퇴비중(塵芥堆肥中) 수용성(水溶性) 철(鐵) 킬레이트의 분리(分離)와 특성(特性)에 관(關)한 연구(硏究) (A Study on Fractionation and Characterization of Water-Soluble Natural Fe-Chelates From Garbage Compost and Activated Sewage Sludge)

  • 박래정;월라드 엘 린지
    • Applied Biological Chemistry
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    • 제18권4호
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    • pp.194-202
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    • 1975
  • 이 연구(硏究)는 도시유기폐물(都市有機廢物)을 이용(利用)한 유기질비료(有機質肥料)로서 활성오니(活性汚泥) 및 진개퇴비(塵芥堆肥)를 킬레이트화 물질로서 利用(利用)하기 위(爲)해서 이들 물질(物質)의 특성(特性)을 조사(調査)하였다. 철(鐵)킬레이트화에 관여(關與)하는 수용성물질(水溶性物質)을 분자체 분획법(分劃法)으로 분리(分離)하여 자외선(紫外線)및 적외선분광(赤外線分光) 스펙트럼에 의해서 그 구조(構造)를 조사(調査)하였고 이들 킬레이트의 안정도상수(安定度常數)를 이온교환평형법(交換平衡法)으로 측정(測定)하여 이들을 킬레이트 물질로 사용(使用)하했을때 그 안정성(安定性)을 검사(檢討)하였다. 진개퇴비(塵芥堆肥)에서 추출(抽出)된 유기물질(有機物質)은 Sephadex G-25에 의(依)해 4개분획(個分劃)으로 분리(分離)되었고 이중 철(鐵)과 킬레이트를 이루고 있던 분획(分劃)은 분자량(分子量)이 $5000{\sim}10,000$ 사이에 있었고 Polyphenol구조(構造)의 산소군(酸素群)이 킬레이트화(化)에 관여(關與)하고 있었다. 활성오니중(活性汚泥中) 가용성(可溶性) 물질(物質)은 Sephadex G-25에 의(依)해 6개(個)의 분획(分劃)으로 분리(分離)되었고 이중 킬레이트를 이루고 있던 분획(分劃)은 $5000{\sim}10,000$ 또는 5000에 약간 미달(未達)하는 분자량(分子量)을 가지고 있고 Polypeptide의 amide기(基)가 킬레이트화에 관여(關與)하였다. 이들의 안정도상수(安定度常數)도 합성(合成)킬레이트 물질의 안정도상수(安定度常數)와 큰 차이(差異)가 없을 정도(程度)로 안정(安定)하였다.

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Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조 및 특성조사 (SOI wafer formation by ion-cut process and its characterization)

  • 우형주;최한우;배영호;최우범
    • 한국진공학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.91-96
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    • 2005
  • 양성자 주입과 웨이퍼접합기술을 접목한 ion-cut기술로서 SOI 웨이퍼를 제조하는 기술을 개발하였다. SRIM 전산모사에 의하면 일반 SOI 웨이퍼 (200nm SOI, 400nm BOX) 제조에는 65keV의 양성자주입이 요구된다. 웨이퍼분리를 위한 최적 공정조건을 얻기 위해 조사선량과 열처리조건(온도 및 시간)에 따른 blistering 및 flaking 등의 표면변화를 조사하였다. 실험결과 유효선량범위는 $6\~9times10^{16}H^+/cm^2$이며, 최적 아닐링조건은 $550^{\circ}C$에서 30분 정도로 나타났다. RCA 세정법으로서 친수성표면을 형성하여 웨이퍼 직접접합을 수행하였으며, IR 조사에 의해 무결함접합을 확인하였다 웨이퍼 분리는 예비실험에서 정해진 최적조건에서 이루어졌으며, SOI층의 안정화를 위해 고온열처리($1,100^{\circ}C,\;60$분)를 시행하였다. TEM 측정상 SOI 구조결함은 발견되지 않았으며, BOX(buried oxide)층 상부계면상의 포획전하밀도는 열산화막 계면의 낮은 밀도를 유지함을 확인하였다.

다층구조박막으로부터 $PbTiO_3$ 박막 제조시 요소층이 상형성 및 유전특성에 미치는 영향 (An effect of component layers on the phases and dielectric properties in $PbTiO_3$ thin films prepared from multilayer structure)

  • Do-Won Seo;Song-Min Nam;Duck-Kyun Choi
    • 한국결정성장학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.378-387
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    • 1994
  • 선행연구[1] 즉, $Ti0_2/Pb/TiO_2(900{\AA}/900{\AA}/900{\AA}/)$ 3층구조박막으로부터 열확산에 의해 상형성이 가능하였던 $PbTiO_3$ 박막의 특성을 개선하기 위하여 스퍼터링법을 이용하여 Si기판위에 각 요소층의 두께를 $200~300 {\AA}$으로 얇게하고 적층수를 3,5,7,9,11층$(TiO_2/Pb/.../Tio_2)$으로 변화시켜가며 다층구조박막을 형성한 후 이를 RTA 처리하여 $PbTiO_3$ 박막을 제조하였다. 그 결과 $500^{\circ}C$ 이상에서 단일상의 $PbTiO_3$가 형성되었다. 또한 요소층의 두께를 얇게하고 적층수를 늘려서 열처리한 결과 Pb-silicate 및 void 생성이 억제되어 우수한 계면상태를 유지하였으며 조성도 보다 균일해지는 양상을 나타내었다. $PbTiO_3$ 박막의 MiM구조에 C-V 특성으로부터 측정된 유전상수는 열처리 조건에 따른 경향을 나타내지 않았으나 적층수가 많아져 박막의 두께가 증가 할수록 유전상수가 증가하였다. MIS 구조의 $PbTiO_3$ 박막의 I-V 특성 측정 결과 절연파괴강도는 최고 150kV/cm이었다.

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Polydioxanone/pluronic F127 담체에 유입된 골막기원세포의 조골활성 (OSTEOGENIC ACTIVITY OF CULTURED HUMAN PERIOSTEAL-DERIVED CELLS IN A THREE DIMENSIONAL POLYDIOXANONE/PLURONIC F127 SCAFFOLD)

  • 이진호;오세행;박봉욱;하영술;김덕룡;김욱규;김종렬;변준호
    • Maxillofacial Plastic and Reconstructive Surgery
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    • 제31권6호
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    • pp.478-484
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    • 2009
  • Three-dimensional porous scaffolds play an important role in tissue engineering strategies. They provide a void volume in which vascularization, new tissue formation, and remodeling can occur. Like any grafted materials, the ideal scaffold for bone tissue engineering should be biocompatible without causing an inflammatory response. It should also possess biodegradability, which provides a suitable three-dimensional environment for the cell function together with the capacity for gradual resorption and replacement by host bone tissue. Various scaffolds have already been developed for bone tissue engineering applications, including naturally derived materials, bioceramics, and synthetic polymers. The advantages of biodegradable synthetic polymers include the ability to tailor specific functions. The purpose of this study was to examine the osteogenic activity of periosteal-derived cells in a polydioxanone/pluronic F127 scaffold. Periosteal-derived cells were successfully differentiated into osteoblasts in the polydioxanone/pluronic F127 scaffold. ALP activity showed its peak level at 2 weeks of culture, followed by decreased activity during the culture period. Similar to biochemical data, the level of ALP mRNA in the periosteal-derived cells was also largely elevated at 2 weeks of culture. The level of osteocalcin mRNA was gradually increased during entire culture period. Calcium content was detactable at 1 week and increased in a time-dependent manner up to the entire duration of culture. Our results suggest that polydioxanone/pluronic F127 could be a suitable scaffold of periosteal-derived cells for bone tissue engineering.

접합 소재에 따른 고출력 플립칩 LED 패키지 특성 연구 (Properties of High Power Flip Chip LED Package with Bonding Materials)

  • 이태영;김미송;고은수;최종현;장명기;김목순;유세훈
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제21권1호
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    • pp.1-6
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    • 2014
  • 고출력 LED 패키지의 열적 경로(thermal path)를 줄이기 위해 플립칩 본딩법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 Au-Sn 열압착 본딩 및 Sn-Ag-Cu(SAC) 리플로우 본딩을 이용하여 본딩 특성 및 열적특성을 비교 평가 하였다. Au-Sn 열압착 본딩은 50 N에서 $300^{\circ}C$의 접합온도로 본딩하였고, SAC 솔더는 솔더페이스트를 인쇄한 후 리플로우법으로 피크온도 $255^{\circ}C$에서 30 sec에서 본딩하였다. SAC 솔더를 사용한 LED 패키지의 전단강도는 $5798.5gf/mm^2$로 Au-Sn 열압착 본딩의 $3508.5gf/mm^2$에 비해 1.6배 높았다. 파단면과 단면분석 결과 Au-Sn, SAC 솔더 모두 LED 칩 내부에서 파단이 일어나는 것을 관찰하였다. 반면 Au-Sn 열압착 본딩 샘플의 열저항은 SAC솔더 접합 샘플에 비해 낮았으며, SAC 솔더 접합부 내부의 기공에 의해 열저항이 커짐을 알 수 있었다.

미세피치용 Cu/SnAg 더블 범프 플립칩 어셈블리의 신뢰성에 관한 연구 (Reliability Studies on Cu/SnAg Double-Bump Flip Chip Assemblies for Fine Pitch Applications)

  • 손호영;김일호;이순복;정기조;박병진;백경욱
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.37-45
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    • 2008
  • 본 논문에서는 유기 기판 위에 $100{\mu}m$ 피치를 갖는 플립칩 구조인 Cu(60 um)/SnAg(20 um) 더블 범프 플립칩 어셈블리를 구현하여 이의 리플로우, 고온 유지 신뢰성, 열주기 신뢰성, Electromigration 신뢰성을 평가하였다. 먼저, 리플로우의 경우 횟수와 온도에 상관없이 범프 접속 저항의 변화는 거의 나타나지 않음을 알 수 있었다. 125도 고온 유지 시험에서는 2000시간까지 접속 저항 변화가 관찰되지 않았던 반면, 150도에서는 Kirkendall void의 형성으로 인한 접속 저항의 증가가 관찰되었다 또한 Electromigration 시험에서는 600시간까지 불량이 발생하지 않았는데 이는 Al금속 배선에서 유발되는 높은 전류 밀도가 Cu 칼럼의 높은 두께로 인해 솔더 영역에서는 낮아지기 때문으로 해석되었다. 열주기 시험의 경우, 400 cycle 이후부터 접속 저항의 증가가 발견되었으며, 이는 열주기 시험 동안 실리콘 칩과 Cu 칼럼 사이에 작용하는 압축 변형에 의해 그 사이에 있는 Al 및 Ti 층이 바깥쪽으로 밀려나감으로 인해 발생하는 것으로 확인되었다.

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성견의 치주질환 이환 발치와에 이식된 활택치근과 탈회냉동건조골이 치조골재생에 미치는 영향 (EFFECT OF DECALCIFIED FREEZE-DRIED BONE ALLOGRAFTS AND ROOT PLANING PROCEDURE ON THE HEALING OF TRANSPLANTED ROOTS INTO THE PERIODONTALLY DISEASED EXTRACTION SOCKETS OF DOGS)

  • 김종관;채중규;조규성;문익상;김진;최상묵;한수부
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제25권3호
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    • pp.557-567
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    • 1995
  • The purpose of this study was to investigated the effect of root planing and decalcified freeze dried allografts on the resorption of transplanted roots and the healing of preveously diseased recipient extraction sockets. The experimental chronic periodontitis was induced by elastic ligatures on the 2nd and 3rd mandibular premolars of 4 adult dogs, and after 8 weeks, crowns were removed and the teeth extracted. The extracted roots were split in half along the long-axis, and the extednt of plaque exposure was morked on the root surfaces with burs. The roots were either root-planed(Test group), or left uninstrumented(Control group), and transplanted in the extraction sockets with decalcified freeze-dried allografts filling the void. The flaps were sutured to cover the sockets completely. The animals were sacrificed after 12 weeks of healing, and the specimens were examined histologically. The results were as follows : 1. No signs of inflammation or disease activity were observed in either groups. 2. Replacement root resorption was observed in both groups. 3. More connective tissue attachments and less ankylosis were observed in the test groups compared to the control. 4. The unresorbed remains of DFDB particles were observed in both groups. 5. DFDB particles in the apical portion of the alveolar sockets were encased in newly-formed bone, while those in the coronal areas were seen encapsulated with connective tissue. 6. No significant difference was found between root-planed and uninstrumented roots relative to the healing and the bone fromation in the recipient extraction sockdets. From the present study, there seemed to be no significant benefits in root planing the transplanted roots or grafting the sockets with DFDB in order to curve the replacement resorption, although the root-planed roots showed more connective tissue attachments. There was also no significant benefits in root transplantation and DFDB for and enhanced healing and bone formation in alveolar extraction sockets.

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