CMP (Chemical mechanical polishing) is inevitable process to overcome $0.2{\mu}m$ wire thickness in semiconductor industry. In this study, effect of pressure to separate used CMP slurry into solid and liquid for recycle and reuse by ultrafiltration was investigated. Also, water quality after the ultrafiltration such as turbidity and TDS was evaluated. The material of membrane used in the study was PVDF. The used CMP contained 0.5% of solid content and then concentrated up to 18% by weight. The used CMP can not be concentrated higher than 18% because of viscosity and abrasion of pump. The tested feed pressures were 22.1, 29.4 and 36.8 psi. The results have shown that operating at 36.8 psi has advantages on operation time and total flux. The specific flux showed some variation at 1 to 15 of concentration factor but no difference after 15 of concentration factor. Mass balance of solid at initial stage of the operation showed some unbalance because of deposition of solid on the membrane, which was main reason to reduce flux. Turbidity was very stable at lower than 0.2NTU for 22.1 and 36.8 psi of feed pressure.
Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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v.17
no.1
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pp.39-50
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2001
The spatial distribution characteristics of airborbe mercury(Hg) were investigated used its concentration data from six measurement sites selected to represent:(1) three terminal sites with heavy traffic loads in urban area, (2) one urban residential site and (3) two mountainous sites in Korea. The measurement data obtained during September 1997 through May 1998 indicated that the mean concentration of Hg from different study sites were comparably high with the mean values spanning from 5-9ng./㎥. The concentration from all those sites were systmatically high compared to those of most background sites around world or to other Korean sites investigaed previously. When results of correlation analysis between Hg and relevant parameters were compared among different study sites. temperature was most frequently found out to be in strong correlation with Hg concentrations. Results of factor analysis also indicated that Hg concentrations could be affected simultaneously by th factors affecting such parameters as ozone, temperature, ozone, carbon monoxide, and PM. The findings of enhanced Hg levels from Ji-Ri Mountain relative to terminal site suggest that is distributions may be rather homogeneous not enough to clearly distinguish areal differences and the associated source signatures between urban and rural area. The existence of systmatically high concentrations from all investigated sites also indicate that the impact of its source processes should be quite ubiquitous, while highly variable in relatively long term scale.
Tooth movement facilitated by corticotomy and distraction osteogenesis, new paradigm in orthodontics, was discussed. Intrusive tooth movement of anterior or posterior teeth was thought to be difficult or impossible. In this study, a part of cortical bone, which was a sort of resistance to tooth movement in alveolar bone, was removed. On the other hand, active bone deposition was made possible in the tension side. That was the main concept of tooth movement facilitated by corticotomy and distraction osteogenesis. Teeth moved at such a speedy tate as we could not imagine in conventional tooth movement, which lead to the reduction of total treatment Period. And intrusive movement was Possible without a side effect, lot example, root resorption or the periodontal breakdown. Those were the superior aspects to the conventional orthodontics.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.11
no.3
s.32
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pp.63-70
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2004
The structural, electrical properties of $(Ba, Sr)TiO_3[BSTO]/RuO_2$ thin films were examined by the addition of amorphous BSTO layer between crystlline BSTO film and $RuO_2$ substrate. We prepared BSTO films with double-layered structure, that is, amorphous layers deposited at $60^{\circ}C$ and crystalline films. Crystalline films were prepared at 550 on amorphous BSTO layer. The thickness of the amorphous layers was varied from 0 to 170 nm. During the deposition of crystalline films, the crystallization of the amorphous layers occurred and the structure was changed to circular while crystalline BSTO films showed columnar structure. Due to insufficient annealing effect, amorphous BSTO phase was observed when the thickness of the amorphous layers exceeded 30 nm. Amorphous BSTO layer could also prevent the formation of oxygen deficient region in $RuO_2$ surface. Leakage current of total BSTO films decreased with increasing amorphous layer thickness due to structural modifications. Dielectric constant showed maxi-mum value of 343 when amorphous layer thickness was 30 nm at which the improvement by grain growth and the degradation by amorphous phase were balanced.
Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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2015.07a
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pp.177-178
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2015
Sediments play a major role in determining pollution pattern in aquatic systems and reflecting the pollutant deposition. In the present study analysis the depth effect of organic pollutants and heavy metals using slow release biostimulant ball (BSB) in coastal sediment. BSB size fixed at 3cm, depth varied from 0cm to 10cm depth and 1 and 3 month interval period was carried out for the study. The organic pollutants of chemical oxygen demand, total solids and volatile solids were significantly changed at the surface sediment (0cm)in 1 month and 3 month interval time using BSB. In contrast, sediment depth increase upto 10cm the reduction percentage decrease like to control. Vertical distribution of heavy metals are not consistent from the surface layer toward the bottom layers. Heavy metals fractions were significantly changes, the exchangeable fraction was reduced and other organic and residual fractions were stabilized percentage are increased. This finding concluded BSB is effective for reduce organic pollutants, heavy metals stabilization from the contaminated sediment.
We investigated the properties of artificial pinning centers of YBCO multilayer films in which $Y_2O_3$ and ZnO nanoparticles are uniformly introduced by using the pulsed laser deposition (PLD) technique. $Y_2O_3$ and ZnO nanoparticles were deposited on top of YBCO buffer layer and the density of nanoparticles was controlled by varying the number of nanoparticle layers. YBCO superconducting layers with total thickness of 250 nm were deposited on top of $Y_2O_3$ and ZnO nanoparticles. Based on analyses of the surface morphology, the transition temperature $T_c$, and the critical current density $J_c$, we discussed the difference between the two kinds of nanoparticles as flux pinning centers.
Journal of The Korean Society of Agricultural Engineers
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v.60
no.2
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pp.1-11
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2018
Probable Maximum Flood (PMF) is mostly applied for the designs of large-scale hydraulic structures and it is estimated by computing the runoff hydrograph where Probable Maximum Precipitation (PMP) is inserted as design rainfall. The existing PMP is estimated by transferring the heavy rainfall from all watersheds of korea to the design watershed, however, in this study, PMP was analyzed by selecting only rainfall events occurred in the design watershed. And then, Catchment-scale Soil Erosion Model (CSEM) was used to estimate the PMF and sediment-runoff yield according to the watershed-based estimated PMP. Although the PMF estimated in this study was lower than the existing estimated PMF in the Yongdam-dam basin, it was estimated to be higher than the 200-year frequency design flood discharge. In addition, sediment-runoff yield was estimated with a 0.05 cm of the maximum erosion and a 0.06 cm of the maximum deposition, and a total sediment-runoff yield of 168,391 tons according to 24-hour PMP duration.
The seasonal patterns of sediment supply were investigated during the period of June 1999 to June 2000 on a coastal foredune of Seungbong Island, Korea. Sediment supply was determined from measurements of geomorphic changes in the foredune and beach along six lines. Most sands were deposited on the dunefoot and foredune area during the winter and spring, from November to April. The largest amount of sands was deposited along the lines 5 and 6 near the sea-dike in the southern tip of the dune area. In general, the sand on the beach was gradually eroded in spring, summer and fall but deposited in winter. Total sediment accumulation over the study period was $484m^3$ for the foredune and $345m^3$ for the beach. The volume of the foredune increased in the winter and spring, whereas the volume of beach increased in the winter. Variation in sediment deposition appears to be controlled primarily by variations in the seasonal wind regime.
A terrestrial LiDAR was used to acquire precise and high-resolution topographical information of Malipo beach, Korea. Terrestrial LiDAR and RTK-DGPS (VRS) were mounted on top of a survey vehicle and used to scan 20 times stop-and-go method with 250 m spacing intervals at ebb tides. In total, 7 measurements were made periodically from 2008 to 2009 and after each beach replenishment event. We carried out GIS-based 3D spatial analysis such as slope and volume calculations in order to assess topographical changes over time. In relation to beach replenishment, comparative analysis of each volume change revealed them to be similar. This result indicates that the terrestrial LiDAR measurements are accurate and can be used to analyze temporal topographical changes. In conclusion, the methodology employed in this study can be used efficiently to exercise coastal management through monitoring and analyzing beach process such as erosion and deposition.
We characterized the efficacy of an electrostatic precipitator (ESP) air-cleaner in reducing the concentration of Serratia marcescens in an enclosed space. We used an experimental room ($4.5{\times}3{\times}2.9\;m$) in which electrostatic air-cleaners were located. Two air-cleaners enhanced the equivalent ventilation rates in the chamber by about 3.3 air changes per hour (ACH) over the 2 ACH provided by the mechanical ventilation system. Natural die-off of the organisms provided an additional equivalent of 3 ACH, so that the total ventilation rate with the ESP air-ccleaners was 8.3 ACH. We also examined whether the ESP air-cleaners altered the deposition of Serratia marcescens aerosols on the experimental room surfaces. We did not find any significant differences in the number of colony forming units recovered from surfaces with and without the air-cleaners. We installed UV lights inside the ESPs and determined if UV light, in addition to electrical fields, increased the efficacy of the ESPs. The presence of UV light inside the ESP reduced S. marcescens aerosols by approximately 2 ACH. Finally, a box model indicates that the efficiency of the air-cleaner increases for both biological and nonbiological particles at ventilation rates of 0.2-1, which are typical for residential settings.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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