• 제목/요약/키워드: thin-film optics

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양백에 코팅된 비정질 TiO2 박막의 특성에 관한 연구 (Gold Colored Coating of TiO2 thin film on Nickel-Silver by Sol-Gel Process)

  • 임용무;김상문;심문식;장희진;신종윤;황규석
    • 한국안광학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.51-56
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    • 1999
  • 금속 안경테의 제조에 가장 많이 사용되는 범용 양백의 표면에 2%Ti-naphthanate toluene solution을 $TiO_2$의 전구체로 하여 sol-gel spin coating을 행하고 $500^{\circ}C$에서 열처리 한 코팅 층의 형성조건 및 표면 구조 그리고 표면색상을 Optical photometer외 색차계 그리고 X-선 회절분석기로 분석한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. $TiO_2$ 박막의 열처리 온도는 $500^{\circ}C$가 적정하였으며 1회 코팅 시의 평균 두께는 $0.24{\mu}m$이었으며 코팅 횟수 증가에 따라 직선적으로 증가하였다. $TiO_2$ 코팅 층의 결정구조는 비정질 상태로 존재하였고 색상은 코팅 횟수에 따라 변화하였으며 2회 코팅한 경우는 적색이 미세하게 출현하였으며 3회 코팅한 경우에는 검붉은 색이 발현되었다. 명도는 55.92(1회)에서 코팅 횟수가 증가함에 따라 점차 저하하였으며 a는 3회 코팅까지는 red계열로 증가하다가 급격히 저하하며, b는 꾸준히 감소하여 blue계열로 변화하는 경향을 보였다. 금 색상의 발현을 위해서는 1회 코팅인 $0.24{\mu}m$ 두께의 $TiO_2$ 비정질 막이 적합하였다.

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UBM Sputtering System에 의한 안경테용 TiN막 제작에 있어 Oxygen 영향 연구 (Effect of Oxygen Incorporation in the Fabrication of TiN Thin Film for Frame by UBM Sputtering System)

  • 박문찬;이종근;주경복;이화자;김응순;최광호
    • 한국안광학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.63-68
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    • 2009
  • 목적: Magnetron의 세기를 비대칭으로 한 unbalanced magnetron sputtering 장치를 설계 제작하고, 이 장치를 사용하여 sus304시편 위에 TiN을 코팅할 때 산소영향을 연구하고자 한다. 방법: 코팅막의 두께를 알기 위해 실리콘 웨이퍼 위의 코팅막을 SEM으로 단면을 관찰하였고, TiN 코팅박막표면의 성분을 분석하기 위하여 XPS를 사용하였으며, 표면안쪽의 성분을 관찰하기 위해 depth profile을 하였다. 결과: XPS depth profile 데이터로부터 티타늄과 질소 뿐만 아니라 산소가 일정한 양으로 존재하며, 산소의 양은 약 65 at.%의 큰 양이 존재한다는 것을 알 수 있었다. 두께에 따른 색상변화는 세 개의 피크가 모여서 형성이 된 Ti $ 2p_{3/2}$ 피크의 모양이 두께에 따라 약간 다르다는 것을 알 수 있었다. 결론: 코팅 중에 산소가 섞여 순수한 TiN보다는 $ TiO_2$, TiN, $ TiO_{x}N_{y}$ 세가지 조합에 의해 색이 결정되는 것을 알 수 있었다.

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Z-scan 방법에 의한 비정질 $As_2S_3$ 박막의 비선형 굴절률 측정 (Nonlinear refractive index measurement for amorphous $As_2S_3$ thin film by Z-scan method)

  • 김성규;이영락;곽종훈;최옥식;이윤우;송재봉;서호형;이일항
    • 한국광학회지
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    • 제9권5호
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    • pp.342-347
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    • 1998
  • 비선형 Kerr 매질을 통과하는 Gaussian 빔에 대해 aberration-free approximation과 Huygens-Fresnel 회절 이론을 적용하여 Z-scan 투과율에 대한 해석해를 유도하였다. 비정질 $As_2S_3$ 박막에 대해 Z-scan 실험을 수행하였으며 이론과 비교하여 잘 일치함을 알았다. 633nm 파장에서 측정된 비선형 굴절률${\gamma}$의 크기와 기호 $+8.65{\times}10^{-6}\textrm{cm}^2/W$이며, 또한 먼 영역(far-field)에서 빔 세기분포를 측정하여 자기 집광(self-focusing)효과를 가시적으로 확인하였다.

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메타물질 및 VO2 박막 기반의 전기적 제어 가능한 테라헤르츠파 변조기 (Electrically Controllable Terahertz Wave Modulator Based on a Metamaterial and VO2 Thin Film)

  • 류한철
    • 한국광학회지
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    • 제25권5호
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    • pp.279-285
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    • 2014
  • 본 논문에서는 온도 변화에 따라 절연체-금속 상전이 특성을 보이는 이산화바나듐($VO_2$)과 메타물질을 이용하여 전기적으로 제어 가능한 테라헤르츠 변조기를 제시하였다. 변조기 기능을 하는 메타물질 구조가 $VO_2$의 도전율 변화에 영향을 주는 열을 전기적으로 조절할 수 있는 히터의 역할도 동시에 할 수 있는 정사각고리 구조의 메타물질을 설계하였다. 설계한 $VO_2$기반 메타물질 변조기의 전파 투과량은 정사각고리 메타물질에 직접 연결된 전압 인가용 도선을 통한 인가 전압 변화로 조절이 가능하다. $VO_2$의 도전율 변화에 따라 전파 투과계수는 470 GHz 에서 0.27에서 0.80으로 안정적으로 조절되었고, 13% 주파수 대역폭에서 투과계수 변화폭이 일정하게 유지되었다.

금속층이 포함된 측면 연마 광섬유 결합기의 편광 분리 특성 (Polarization splitting characteristics of the side-polished fiber coupler with a thin metal interlayer)

  • 김광택;황보승
    • 한국광학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.228-234
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    • 2002
  • 금속박막이 포함된 측면 연마 광섬유 결합기의 편광 선택적 결합 특성에 관한 이론적 연구 결과를 보고한다. 직교 모드이론을 이용하여 다양한 구조 조건에서 소자의 결합 특성을 분석하였다. 금속 박막의 두께가 증가함에 따라 TE 모드사이의 결합의 세기는 급격히 약해지는 반면에 TM 모드의 결합의 세기는 커짐을 보였다. 높은 편광 소멸비와 낮은 삽입 손실을 가지는 편광 분리기의 설계 조건을 제시하였다.

Excimer Laser응용 실리콘 결정화 공정에 대한 In-Situ 광학적 연구 (An In-Situ Optical Study on Silicon Crystallization Process Using an Excimer Laser)

  • 김우진;윤창환;박승호;김형준
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2003년도 춘계학술대회
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    • pp.1407-1411
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    • 2003
  • Due to the heat confinement in the shallow region of the target for a short time scale, pulsed laser annealing has received increasing interest for the fabrication of poly-Si thin film transistors(TFTs) on glass as a low cost substrate in the flat panel displays. The formation and growth mechanisms of poly silicon(poly-Si) grains in thin films are investigated using an excimer laser crystallization system. To understand the crystallization mechanism, the grain formations are observed by FESEM analysis. The optical reflectance and transmittance during the crystallization process are measured using HeNe laser optics. A two-step ELC(Excimer Laser Crystallization) process is applied to enhance the grain formation uniformity.

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비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구 (An Optical Study on ELC Process of Amorphous Silicon)

  • 김우진;윤창환;박승호;김형준
    • 한국레이저가공학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.9-17
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    • 2003
  • Due to the heat confinement in the shallow region of the target for a short time scale, pulsed laser annealing has received an increasing interest for the fabrication of poly-Si thin film transistors(TFTs) on glass as a low cost substrate in the flat panel displays. The formation and growth mechanisms of poly silicon(poly-Si) grains in thin films are investigated using an excimer laser crystallization system. To understand the crystallization mechanism, the grain formations are observed by FESEM photography. The optical reflectance and transmittance during the crystallization process are measured using HeNe laser optics. A two-step ELC(Excimer Laser Crystallization) process is applied to enhance the grain formation uniformity.

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회전검광자형 분광타원해석기의 제작및 불화박막의 분석 (Fabrication of a rotating analyzer type spectroscopic ellipsometer and characterization of fluoride thin films)

  • 김상열
    • 한국광학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.92-100
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    • 1992
  • 회전검광자형의 분광타원해석기를 제작하였다. 각 부품의 미소결함에 의한 오차를 고려하여 이들이 타원해석상수들에 미치는 영향을 최소로 하는 배치를 결정하였다. Straight through operation의 성능평가 결과 300nm~850nm의 파장대역에 걸쳐 tan$\psi$와 cos$\Delta$의 편차는 0.2%내외로 만족할 만한 것으로 판단되었다. SE를 사용하여 불화박막의 굴절율및 void분포상태를 측정하였고 응용성에 관하여 논의하였다.

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High-efficiency Organic Light-emitting Diodes(OLEDs) with optimized multilayer transparent electrodes

  • Yun, Chang-Hun;Cho, Hyun-Su;Yoo, Seung-Hyup
    • Journal of Information Display
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    • 제11권2호
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    • pp.52-56
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    • 2010
  • High-efficiency organic light-emitting diodes (OLEDs) based on multilayer transparent electrodes (MTEs) are reported. The dielectric/metal/dielectric (DMD) multilayer electrode based on a thin silver layer achieved high sheet conductance as small as $6{\Omega}/sp$ and a tuning capability in the optical and electrical properties by engineering the inner and outer dielectric layers. In the conventional normal bottom-emitting structure, a DMD-based OLED can be fabricated with 90% higher forward luminous efficiency and 30% higher external quantum efficiency (EQE) compared to ITO-based devices. Special attention was paid to the optimization method of such MTE structure considering both the injection and optical structures.

$TiO_2$ 박막의 두께에 따른 실시간 스트레스 측정에 관한 연구 (In-situ Measurements of the Stress in $TiO_2$ Thin Films)

  • 한성홍
    • 한국광학회지
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    • 제4권3호
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    • pp.260-265
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    • 1993
  • 실시간(in-situ) 스트레스측정 간섭계를 사용하여 이온보조증착에 의해 Ti$O_2$ 박막이 성장되는 동안에 박막내부의 스트레스를 측정하였다. 박막두께에 따른 스트레스의 변화는 이온빔에 의한 압축스트레스와 표면온도의 의해 결정되는 표면확산의 평형에 의해서 정성적으로 설병되어지며, 측정결과는 스트레스가 성장되는 박막에 전달되는 이온빔의 운동량에 따라 증가한다는 Windischmann의 모델과 일치하였다.

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