Korean Journal of Optics and Photonics (한국광학회지)
- Volume 3 Issue 2
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- Pages.92-100
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- 1992
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- 1225-6285(pISSN)
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- 2287-321X(eISSN)
Fabrication of a rotating analyzer type spectroscopic ellipsometer and characterization of fluoride thin films
회전검광자형 분광타원해석기의 제작및 불화박막의 분석
Abstract
A Spectroscopic Ellipsorneter(SE) is fabricated. The PSA configuration of the rotating analyzer type where the effects of the imperfect optical elements can be minimized is adopted. The straight through operation shows that the standard deviations of tan
회전검광자형의 분광타원해석기를 제작하였다. 각 부품의 미소결함에 의한 오차를 고려하여 이들이 타원해석상수들에 미치는 영향을 최소로 하는 배치를 결정하였다. Straight through operation의 성능평가 결과 300nm~850nm의 파장대역에 걸쳐 tan
Keywords