• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
• /
• pp.218-218
• /
• 2010

기존의 비휘발성 메모리 소자는 터널 절연막으로 $SiO_2$ 단일 절연막을 이용하였다. 그러나 소자의 축소화와 함께 비휘발성 메모리 소자의 동작 전압을 낮추기 위해서 $SiO_2$ 단일 절연막의 두께도 감소 시켜야만 하였다. 하지만 $SiO_2$ 단일 절연막의 두께 감소에 따라, 메모리의 동작 횟수와 데이터 보존 시간의 감소등의 문제점들로 인해 기술적인 한계점에 이르렀다. 이러한 문제점들을 해결하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있는 가운데, 최근 high-k 물질을 기반으로 하는 Tunnel Barrier Engineered (TEB) 기술이 주목 받고 있다. TBE 기술이란, 터널 절연막을 위해 서로 다른 유전율을 갖는 유전체를 적층함으로써 쓰기/지우기 속도의 향상과 함께, 물리적인 두께 증가로 인한 데이터 보존 시간을 향상 시킬 수 있는 기술이다. 따라서, 본 연구에서는 적층된 터널 절연막에 이용되는 $HfO_2$를 FGA (Forming Gas Annealing)와 RTA (Rapid Thermal Annealing) 공정에 의한 열처리 효과를 알아보기 위해, 온도에 따른 전기적인 특성을 MIS-Capacitor 제작을 통하여 분석하였다. 이를 위해 먼저 Si 기판 위에 $SiO_2$를 약 3 nm 성장시킨 후, $HfO_2$를 Atomic Layer Deposition (ALD) 방법으로 약 8 nm를 증착 하였고, Aluminum을 약 150 nm 증착 하여 게이트 전극으로 이용하였다. 이를 C-V와 I-V 특성을 이용하여 분석함으로 써, 열처리 공정을 통한 $HfO_2$의 터널 절연막 특성이 향상됨을 확인 하였다. 특히, $450^{\circ}C$ $H_2/N_2$(98%/2%) 분위기에서 진행한 FGA 공정은 $HfO_2$의 전하 트랩핑 현상을 줄일 뿐 만 아니라, 낮은 전계에서는 낮은 누설 전류를, 높은 전계에서는 높은 터널링 전류가 흐르는 것을 확인 하였다. 이와 같은 전압에 대한 터널링 전류의 민감도의 향상은 비휘발성 메모리 소자의 쓰기/지우기 특성을 개선할 수 있음을 의미한다. 반면 $N_2$ 분위기에서 실시한 RTA 공정에서는, 전하 트랩핑 현상은 감소 하였지만 FGA 공정 후 보다는 전하 트랩핑 현상이 더 크게 나타났다. 따라서, 적층된 터널 절연막은 적절한 열처리 공정을 통하여 비휘발성 메모리 소자의 성능을 향상 시킬 수 있음이 기대된다.

• 한국재료학회지
• /
• 제18권1호
• /
• pp.45-50
• /
• 2008

Microstructural evolution and the intermetallic compound (IMC) growth kinetics in an Au stud bump were studied via isothermal aging at 120, 150, and $180^{\circ}C$ for 300hrs. The $AlAu_4$ phase was observed in an Al pad/Au stud interface, and its thickness was kept constant during the aging treatment. AuSn, $AuSn_2,\;and\;AuSn_4$ phases formed at interface between the Au stud and Sn. $AuSn_2,\;AuSn_2/AuSn_4$, and AuSn phases dominantly grew as the aging time increased at $120^{\circ}C,\;150^{\circ}C,\;and\;180^{\circ}C$, respectively, while $(Au,Cu)_6Sn_5/Cu_3Sn$ phases formed at Sn/Cu interface with a negligible growth rate. Kirkendall voids formed at $AlAu_4/Au$, Au/Au-Sn IMC, and $Cu_3Sn/Cu$ interfaces and propagated continuously as the time increased. The apparent activation energy for the overall growth of the Au-Sn IMC was estimated to be 1.04 eV.

• Toxicological Research
• /
• 제14권4호
• /
• pp.525-533
• /
• 1998

The covalent interactions of toluenediisocyanate (TDI) with macromolecules were investigated both in vitro and in vivo. In vitro incubations of 2,4- and 2,6-TDI with DNA or proteins resulted in dose-dependent formation of TDI-protein and TDI-DNA adducts. TDI-treated DNA was highly resistant to enzymatic digestion and thermal hydrolysis, but was readily hydrolyzed under acidic conditions by releasing its corresponding toluenediamine (TDA), suggesting that TDI caused the crosslinking of DNA. Reaction of TDI with albumin and globin resulted in the formation of several adducts, and some adducts were formed in blood of TDI-treated rats in a dose-dependent fashion. Administration of TDI to rats resulted also in a dose-dependent binding of TDI to hepatic tissue. Levels of TDI-albumin adducts were 10 times higher than those of TDI-globin adducts; the biological half lives of TDI-albumin and TDI-globin adducts were 1.2 and 12.5 days, respectively. Globin adducts were detected up to 28 days after the treatment. Hepatic TDI protein adducts were persistent for a substantial period whereas the levels of hepatic TDI-DNA adduct were decreased rapidly. These results indicate that the isocyanato group of TDI is not readily hydrolyzed under physiological conditions, is transported to other organs, and is bound to DNA and/or proteins without further metabolic activation. As the adducted products degrade in the body, TDA is released and introduced to the liver. TDA may additionally bind to hepatic tissue after metabolic activation. Thus, the toxic effect of TDI exposure is considered to persist during the lifetime of the adducted biological macromolecules.

• 한국축산시설환경학회지
• /
• 제9권1호
• /
• pp.45-56
• /
• 2003

$TAO^{TM}$ System is an auto-heated thermophilic aerated digestion process using a proprietary microbe called as a Phototropic Bacteria (PTB). High metabolic activity results in heat generation, which enables to produce a pathogen-free and digested liquid fertilizer at short retention times. TAO$^{TM}$ system has been developed to reduce a manure volume and convert into the liquid fertilizer using swine manure since 1992. About 100 units have been installed and operated in Korean swine farms so far. TAO$^{TM}$ system consists of a reactor vessel and ejector-type aeration pumps and foam removers. The swine slurry manure enters into vessel with PTB and is mixed and aerated. The process is operated at detention times from 2 to 4 days and temperature of 55 to $65^{\circ}C$. Foams are occurred and broken down by foam removers to evaporate water contents. Generally, at least 30% of water content is evaporated, 99% of volatile fatty acids caused an odor are removed and pathogen destruction is excellent with fecal coliform, rotavirus and salmonella below detection limits. The effluent from TAO$^{TM}$ system, called as the "TAO EFFLUX", is screened and has superb properties as a fertilizer. Normally N-P-K contents of screened TAO Efflux are 4.7 g/L, 0.375 g/L and 2.8 g/L respectively. The fertilizer effect of TAO EFFLUX compared to chemical fertilizer has been demonstrated and studied with various crops such as rice, potato, cabbage, pumpkin, green pepper, parsley, cucumber and apple. Generally it has better fertilizer effects and excellent soil fertility improvement effects. Moreover, the TAO EFFLUX is concentrated through membrane technology without fouling problems for a cost saving of long distance transportation and a commercialization (crop nutrient commodity) to a gardening market, for example.

• 한국식품과학회지
• /
• 제49권4호
• /
• pp.408-414
• /
• 2017

본 연구에서는 PEF 처리 시간과 전기장 세기가 증가할수록 주스 내 토착 미생물 저해 효과가 상승함을 알 수 있었고, 또한 처리 주스의 주입 온도를 높여 $40^{\circ}C$에서 PEF 처리했을 때 살균 효과가 높아짐을 확인하였다. 상온 PEF와 중온 PEF 처리 모두 감귤 주스와 당근 주스의 이화학적 영양학적 특성에 크게 영향을 주지 않으면서도 상업적 살균에 적합한 미생물 저해 효과를 보여주었다. 본 연구는 파일럿 규모의 PEF 처리 장비를 이용하여 감귤 주스와 당근 주스를 살균하지 않은 주스의 품질을 유지하면서 살균할 수 있음을 보여주었다. 처리 시간, 전기장 세기, 그리고 주입 온도의 조절을 통해 최소의 에너지 사용으로 품질 보존과 동시에 최대의 미생물 저해 효과를 얻는 PEF 살균 공정 최적화가 다양한 주스 제품에 대하여 이루어 질 수 있을 것으로 전망한다.

• 한국식생활문화학회지
• /
• 제4권4호
• /
• pp.405-410
• /
• 1989

탁주의 맛을 표현하는 용어를 설문조사 방식으로 수집하여 맛, 냄새, 색깔, 입속의 감촉 등 관능적 특성에 따라 분류하고 이를 바탕으로 하여 가열살균에 의한 탁주의 관능적 품질변화를 통계적 방법으로 평가하였다. 탁주의 주요 품질요소로는 색깔에서 백색, 회색, 황색 냄새로는 시큼한 냄새, 쉰냄새, 맛으로는 신맛, 떫은맛, 쓴맛, 단맛, 입속의 감촉으로는 텁텁하다, 걸죽하다, 청량감 등으로 밝혀졌다. 82, $93^{\circ}C$ 및 $135^{\circ}C$에서 각 9초간 실시된 열처리에 의하여 회색, 쉰냄새, 화독냄새, 떪은맛, 쓴맛, 걸쭉함이 증가하였으며 신맛, 단맛, 황색, 텁텁함 및 청량감이 감소하였다. 이러한 변화는 기호도의 전반적인 저하로 나타났다. 열처리 온도에 따라 이들 변화는 다소 차이를 나타내었다.

• Journal of Korean Neurosurgical Society
• /
• 제60권1호
• /
• pp.114-117
• /
• 2017

A 42-year-old man was admitted to our hospital with complaints of low back pain and intermittent right thigh pain. Twelve weeks before admission, the patient received intradiscal electrothermal therapy (IDET) at a local hospital. The patient still reported low back pain after the procedure that was managed with narcotic analgesics. Follow-up magnetic resonance imaging (MRI) was performed, and his referring physician thought the likely diagnosis was spondylodiscitis at the L4-5 spinal segment with a small epidural abscess. At admission to our department, the patient reported aggravated low back pain. Blood test results, including the erythrocyte sedimentation rate and C-reactive protein levels, were slightly elevated. Biopsy samples of the L4, L5 vertebral bodies and disk were obtained. The material underwent aerobic, anaerobic, fungal, mycobacterial cultures and histologic examination. Results of all cultures were negative. Histologically, necrosis of the bone was evident from the number of empty osteocyte lacunae. In addition, there was no evidence of infection based on biopsy results. No antibiotic treatment was administered on discharge. Repeat computed tomography and MRI performed 12 months after IDET showed a bony defect in the L4 and L5 vertebral bodies, and a decrease in the size of the L4-5 intervertebral disc lesion. We report a case of lumbar vertebral osteonecrosis induced by IDET and discuss etiology and radiologic features.

• 한국응용과학기술학회지
• /
• 제31권3호
• /
• pp.534-540
• /
• 2014

가공조건 차이에 따른 한방차의 성분변화를 분석한 결과, 팽화공정 처리한 것은 볶음공정을 한 것보다 조회분, 수분, 조단백질, 고형분 용출율이 증가하였으며 조지방은 소폭 감소하였다. 벤조피렌[$B({\alpha})P$]함량은 0.35 ppb에서 0.18 ppb로 크게 감소하였다. 전체적으로 심한 열처리 과정이 없는데도 불구하고 $B({\alpha})P$이 검출된 이유는 식품 중 $B({\alpha})P$는 주로 음식을 조리, 가공할 때 식품의 주성분인 탄수화물, 단백질, 지방 등이 열분해 되어 생성되기 때문이다. 한방차에서 맛, 향, 색상 모두 큰 차이를 보이지 않으나 다소 텁텁한 느낌이 강하고, 시큼한 맛이 강하여 선호도를 떨어뜨리는 것으로 나타났다.

• 전자공학회논문지
• /
• 제52권11호
• /
• pp.127-134
• /
• 2015

초음파를 이용한 조직 자극 기법은 지속적으로 연구, 개발되고 있으며, 최근 미용 및 비만 치료에 대한 관심이 높아짐에 따라 초음파 지방 제거술에 대한 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 초음파 지방 제거술을 위한 초음파 변환기를 설계하고, 조사조건에 따른 집속영역의 형태와 열 변성 영역을 시뮬레이션 하였다. 이를 통하여 제원을 검증하였으며, 제작된 변환기의 초음파 방사 특성 및 가열 특성을 측정하여 유효성을 평가하였다. 또한 복합 구조의 매질을 대상으로 초음파 가열 특성을 예측하였으며 제작된 변환기의 집속점 형태 및 가열 특성이 지방층을 충분히 유화시킬 수 있을 것으로 판단하였다. 본 연구의 결과는 보다 효율적이고 안전한 초음파 지방 제거술의 기초 연구로 활용될 것으로 사료된다.

• 폴리머
• /
• 제35권6호
• /
• pp.565-573
• /
• 2011

Poly(methyl methacrylate)/aluminum hydroxide(PMMA/AH) 컴포지트의 기계적 강도를 향상시키기 위해 그래핀 산화물(GO)을 충전제로 사용하여 나노컴포지트를 제조하였다. GO는 흑연을 Hummers법으로 산화한 후 열처리에 의해 박리시켜 제조하였다. PMMA/AH 컴포지트 매트릭스와의 계면혼화성을 향상시키기 위해 산소 플라즈마를 사용하여 노출 시간을 0분에서 70분까지 변화를 주어가며 GO 표면을 개질시켰다. 노출 시간이 50분까지 증가함에 따라 산소 플라즈마 처리한 GO를 충전제로 사용한 나노컴포지트는 PMMA/AH 컴포지트에 비해 굴곡강도, 굴곡탄성률, Rockwell 경도, Barcol 경도, Izod 충격강도 모두 현저히 증가하였다. 적절한 조건에서 산소 플라즈마 처리된 GO는 PMMA/AH 컴포지트 매트릭스와의 계면접착력이 매우 우수함을 파단면 모폴로지로부터 확인하였다. 하지만 GO의 함량이 0.07 phr 이상으로 증가하면 충전제의 분산이 균일하지 못하여 나노컴포지트의 기계적 강도는 오히려 감소하는 경향을 나타내었다.