• 제목/요약/키워드: temperature dependance

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Ti-capped NiSi 형성 및 열적안정성에 관한 연구 (A Study on the Formation of Ti-capped NiSi and it′s Thermal Stability)

  • 박수진;이근우;김주연;배규식
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.288-291
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    • 2002
  • Application of metal silicides such as TiSi$_2$ and CoSi$_2$ as contacts and gate electrodes are being studied. However, TiSi$_2$ due to the linewidth-dependance, and CoSi$_2$ due to the excessive Si consumption during silicidation cannot be applied to the deep-submicron MOSFET device. NiSi shows no such problems and can be formed at the low temperature. But, NiSi shows thermal instability. In this investigation, NiSi was formed with a Ti-capping layer to improve the thermal stability. Ni and Ti films were deposited by the thermal evaporator. The samples were then annealed in the N$_2$ ambient at 300-800$^{\circ}C$ in a RTA (rapid thermal annealing) system. Four point probe, FESEM, and AES were used to study the thermal properties of Ti-capped NiSi layers. The Ti-capped NiSi was stable up to 700$^{\circ}C$ for 100 sec. RTA, while the uncapped NiSi layers showed high sheet resistance after 600$^{\circ}C$. The AES results revealed that the Ni diffusion further into the Si substrate was retarded by the capping layer, resulting in the suppression of agglomeration of NiSi films.

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유리기판에 저온 증착한 GZOB 박막의 두께에 따른 특성 변화 (Dependance of thickness on the properties of B doped ZnO:Ga (GZOB) thin film on glass substrate at room temperature)

  • 유현규;이규일;이종환;강현일;이태용;김응권;송준태
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.88-88
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    • 2008
  • In this study, effect of thickness on structural, electrical and optical properties of B doped ZnO:Ga (GZOB) films was investigated. GZOB films were deposited on glass substrates by DC magnetron sputtering. The thickness range of films were from 100 nm to 600 nm to identified as increasing thickness, stress between substrate and GZOB film. The average transmittance of the films was over 80 % until 500 nm. Then a resistivity of $9.16\times10^{-4}\Omega$-cm was obtained. We presented that a GZOB film of 400 nm was optimization to obtain a high transmittance and conductivity.

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도시 대기중에서 $NH_4NO_{3(s, aq)}-HNO_{3(g)}-NH_{3(g)}$의 평형에 관한 연구(II) (A Study on Equilibrium of $NH_4NO_{3(s, aq)}-HNO_{3(g)}-NH_{3(g)}$ in Urban Atmosphere)

  • 천만영;이영재;김희강
    • 한국대기환경학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.154-159
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    • 1993
  • Theoretical prediction of the equilibrium of temperature and relative humidity dependance involving $HNO_{3(g)}-NH_{3(g)}$ and $NH_4NH_{3(s, aq)}$ was compared with atmospheric measurement of particulate nitrate$(NO_3^-)$, Ammonia-Nitric Acid partial pressure product $([$NH_{3(g)}][HNO_{3(g)}]ppb^2$) by a triple filter pack sampler from Oct 1991 to July 1992. The measured $HNO_3NH_3$ concentration product K was greater than equilibrium constant $K_p$ calculated from thermodynamic data of $NH_4NO_{3(s, aq)}-HNO_{3(g)}-NH_{3(g)}$ during fall, winter and spring. But K was lower than $K_p$ in summer. K was greater than $K_p$ as the result of supersaturation by air pollution, particularly anthropogenic $NH_3$.The reason of $K < K_p$ was due to removal of particulate nitrate$(NO_3^-)$ by rainout and washout. $NH_4NO_3$ which consists mainly of particulate nitrate is formed by reaction between $HNO_3$ and $NH_3$. As a result of the removal of particulate nitrate$(NO_3^-)$ by rainout and washout, concentrations of $HNO_3$ and $NH_3$ are decreased by equilibrium transfer(Le Chatelier's Law) in atmosphere.

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PC 기판에 저온 증착한 AZOB 박막의 두께에 따른 특성 변화 (Dependance of thickness on the properties of B doped ZnO:Al (AZOB) thin film on polycarbonate (PC) substrate at room temperature)

  • 유현규;이규일;이종환;강현일;이태용;오수영;송준태
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.138-138
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    • 2008
  • In this study, effect of thickness on structural, electrical and optical properties of B doped ZnO:Al (AZOB) films was investigated. AZOB films were deposited on PC substrates by DC magnetron sputtering. The thickness range of films were from 300 nm to 800 nm to identified as increasing thickness, stress between substrate and AZOB film. The. average transmittance of the films was over 80 % until 500 nm. Then a resistivity of $1.58\times10^{-3}\Omega$-cm was obtained. We presented that a AZOB film of 500 nm was optimization to obtain a high transmittance and conductivity.

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HII 영역 분광자료를 통한 M31과 M33의 화학원소 결정 (CHEMICAL ABUNDANCE ANALYSIS OF M31 AND M33 BASED ON THE SPECTRUM OF HII REGIONS)

  • 한수련;형식;박홍서;이우백
    • 천문학회지
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    • 제34권2호
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    • pp.67-80
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    • 2001
  • Chemical evolution of galaxies can be understood by studying the spatial distribution of heavy elements. We selected two nearby galaxies, M31 and M33 and investigated spectrum of their HII regions: a) the elec-tron densities have been derived from the [S II] 6717/6731 ratio along with the most recent atomic constants (Hyung & Aller 1996); b) the electron temperatures were determinated from the Pagel's empirical method. Nebula Model (Hyung 1994) has been employed to predict the spectral line intensities which gives the proper chemical abundances. The model would predict the line intensities correctly only when various input parameters such as the effective central star temperatures, gravity log g, model atmosphere as well as the geometry and the nebula physical condition are appropriate. Thus, the determination of chemical abundances of O, S, N of the two nearby galaxies M31 and M33 has been done, which shows a radial dependance of O/H and N/H: decrease with the distance, or increasing electron temperature due to the elemental deficiency. Abundances of M31 appear to be enhanced than those of M33.

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영자왜 마몰퍼스 자성박막의 인덕턴스효과 (Inducdance Effects of Zeromagnetostrictive Amorphous Magnetic Films.)

  • 서강수;임재근;정승우;신용진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.136-139
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    • 1997
  • In this paper, we inveatigate frequency dependance of inductance effects of FeCoB amorphous magnetic films. First, amorphous magnetic film having near zero magnetostriction is the basic composition of (Fe$_{1-x}$ / $Co_{x}$)$_{79}$Si$_2$B$_{19}$ with x=0.94, 0.95 and in order to decrease magnetio . anisotropy, the film was annealed in 28$0^{\circ}C$/30min, 40$0^{\circ}C$/30min, 40$0^{\circ}C$/1hr with near crystallization temperature under non-magnetic field. As result of investigation, in case of x=7.95 than x=0.94, we could have obtained high values, which inductance ratios in the low frequency was 488%. And Quality factor Q was under 0.7 in all sample, in case of annealed in 28$0^{\circ}C$/30min, we could have obtained highest value, which x=0.9fl is about 0.62 in 400[kHz], and in case of x=0.95 was about 0.35 in 1[MHz].z].].

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미세구조 조절에 의한 고투자율 Mn-Zn Ferrite의 특성제어 (Control of Electromagnetic Properties of High Initial Permeability Mn-Zn Ferrite with the Microstructure Control)

  • 도세욱;류지태;김정희;강태현;허원도
    • 자원리싸이클링
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    • 제7권4호
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    • pp.50-54
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    • 1998
  • 원하는 전자기적 특성인 높은 초투자율과 우수한 주파수 의존특성을 얻기 위해 Mn-Zn 페라이트계에서 핵입자의 첨가효과를 실험하였다. 소결온도에서 가소된 핵입자를 첨가함에 따라 비정상 입자성장이 말끔히 사라졌지만, 페라이트의 소결밀도와 초투자율이 감소하였다. 이와 반대로 매트릭스 입자의 가소온도보다 낮은 온도에서 가소된 핵입자의 첨가시에는 비정상 입자성장이 잔유하였으나, 적정한 핵입자 첨가로 Cutoff Frequency가 변화하지 않는 가운데 10∼20%의 초투자율값의 상승이 있었다.

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유기성 폐기물의 고온고압수 반응에 의한 카르복시산 생성 (Carboxylic Acids Produced from Hydrothermal Treatment of Organic Wastes)

  • 강길윤;오창섭;김용하
    • 에너지공학
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    • 제13권3호
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    • pp.228-233
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    • 2004
  • 본 논문은 다양한 종류의 유기성 폐기물을 이용하여 고온고압수 반응에 의해 생성되는 저분자 카르복시산의 거동에 관해 고찰하였으며 산화제 첨가에 대한 영향도 동시에 검토를 행하였다. 그 결과 acetic, formic, succinic 및 lactic acid와 같은 유기산이 주된 생성물임을 알 수 있었다. 생선내장의 경우 35$0^{\circ}C$(P=16 MPa)의 조건에서 acetic acid비 수율은 26mg/g-dry를 얻을 수 있었으며 산화제로서 $H_2O$$_2$를 첨가했을 경우 42mg/g-dry로 수율이 증가함을 알 수 있었다. 또한 글루코오스를 이용한 실험결과에서는 약 29mg/g-dry의 acetic acid를 얻을 수 있었다. 유기산 생성에 관한 온도 의존성을 검토한 결과, acetic acid는 열적 안정성이 있음을 알 수 있었으나 formic acid는 상대적으로 쉽게 분해하는 경향을 나타내었다. 또한 산화제를 첨가 할 경우, acetic acid와 같은 유기산의 생성을 촉진 시키는 결과를 얻을 수 있었다.

양생조건·외기온도·비등효과를 고려한 콘크리트 외기대류계수의 결정 (Determination of Convection Heat Transfer Coefficient Considering Curing Condition, Ambient Temperature and Boiling Effect)

  • 최명성;김윤용;우상균;김진근
    • 콘크리트학회논문집
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    • 제17권4호
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    • pp.551-558
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    • 2005
  • 이 연구에서는 외기와의 열전달을 나타내는 외기대류계수에 관한 실험을 실시하였다. 외기대류계수에 관한 기존의 모델에서 나타났던 문제점을 해결하기 위해 실험 변수로 풍속외에 양생 조건의 종류(양생포, 양생포+비닐), 외기온도, 비등효과를 선정하였다. 실험 결과를 이용하여 외기대류계수를 산정하고자 열평형 방정식을 이용한 수치해법을 사용하였으며, 이론적인 고찰을 통해 각 양생 조건별로 풍속에 따른 외기대류계수의 변화를 예측할 수 있는 모델식을 제안하였다. 열평형 방정식을 이용한 수치해법에서 초기에 외기대류계수가 과잉평가되는 문제점을 해결하기 위해 비등효과에 의한 증발량을 고려하여 수정 열평형 방정식을 제안하였다. 양생 조건을 고려한 제안된 모델식에 의하면, 모든 경우에 풍속에 따라 외기대류계수가 증가하는 경향을 보였으나 양생 재료의 사용여부나 양생 조건에 따라 다른 양상을 보이는 것을 알 수 있었다. 이러한 양상의 차이는 양생 재료의 열 특성에 의해 결정되는 것으로 외기대류계수는 양생 재료가 없는 경우, 양생포를 사용한 경우, 양생포+비닐을 사용한 경우의 순으로 풍속의 영향을 받는 것으로 나타났다. 제안된 모델식을 이용하면 수화열에 의한 콘크리트 구조물의 온도해석시 보다 정확한 결과를 얻을 수 있을 것으로 사료되며, 향후 이러한 열특성계수에 대한 연구가 필요할 것으로 판단된다.

수도근(水稻根)의 Amino 산(酸) 대사(代謝)에 관(關)한 연구(硏究) -제(第) 4 보(報) 수도근(水稻根)의 Glutamic Oxalacetic Transaminase Isozyme의 성질(性質) (Studies on the amino acid metabolism of young rice root (Part 4) -Properties of glutamic oxalacetic transaminase isozymes of rice root-)

  • 김광식;김용웅
    • 한국토양비료학회지
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    • 제7권4호
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    • pp.209-213
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    • 1974
  • 수도근(水稻根)의 Glutamic oxalacetic transaminase isozyme을 DEAE-cellulose column chromatography에 의(依)해서 분리(分離)하고 그에 대(對)한 몇가지 성질(性質)을 구명(究明)하였든 바 얻어진 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 수도근(水稻根)의 GOT 활성(活性)은 93%가 Supernatant 분획(分劃)에 존재(存在)하고 Mitochondria에는 5%정도(程度)의 활성(活性)을 보이고 비활성도(比活性度)도 같은 경향(傾向)으로 거의 대부분(大部分)이 Supernatant 분획(分劃)에 국재(局在)해 있다. 2. 수도근(水稻根)의 GOT isozyme은 Cationic GOT로 존재(存在)하나 모두 Sepernatant 분획(分劃)에 국재(局在)하는 것 같다. 3. GOT isozyme의 pH에 대(對)한 반응성(反應性)은 모두 7.4에서 최고(最高)의 활성도(活性度)를 나타내었다. 4. GOT isozmye의 열안정성(熱安定性)은 $70^{\circ}C$에서 Anionic GOT가 더 불안정(不安定)하다. 5. 수도근(水稻根)의 GOT isozyme의 L-aspartic acid에 대(對)한 Km치(値)는 Cationic GOT에서 14mM, Anionic GOT는 16mM을 나타내고 있다.

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