Change of Surface and Electrical Characteristics of Silicon Wafer by Wet Etching(2) - Relationship between Surface Roughness and Electrical Properties - (습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화(2) - 표면거칠기와 전기적 특성의 상관관계 -)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.23 no.6
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- pp.322-328
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- 2013