• 제목/요약/키워드: stop-hole

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Microfabrication of Submicron-size Hole on the Silicon Substrate using ICP etching

  • Lee, J.W.;Kim, J.W.;Jung, M.Y.;Kim, D.W.;Park, S.S.
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.79-79
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    • 1999
  • The varous techniques for fabrication of si or metal tip as a field emission electron source have been reported due to great potential capabilities of flat panel display application. In this report, 240nm thermal oxide was initially grown at the p-type (100) (5-25 ohm-cm) 4 inch Si wafer and 310nm Si3N4 thin layer was deposited using low pressure chemical vapor deposition technique(LPCVD). The 2 micron size dot array was photolithographically patterned. The KOH anisotropic etching of the silicon substrate was utilized to provide V-groove formation. After formation of the V-groove shape, dry oxidation at 100$0^{\circ}C$ for 600 minutes was followed. In this procedure, the orientation dependent oxide growth was performed to have a etch-mask for dry etching. The thicknesses of the grown oxides on the (111) surface and on the (100) etch stop surface were found to be ~330nm and ~90nm, respectively. The reactive ion etching by 100 watt, 9 mtorr, 40 sccm Cl2 feed gas using inductively coupled plasma (ICP) system was performed in order to etch ~90nm SiO layer on the bottom of the etch stop and to etch the Si layer on the bottom. The 300 watt RF power was connected to the substrate in order to supply ~(-500)eV. The negative ion energy would enhance the directional anisotropic etching of the Cl2 RIE. After etching, remaining thickness of the oxide on the (111) was measured to be ~130nm by scanning electron microscopy.

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철도교 세로보 절취부에서의 응력거동에 관한 실험적 연구 - II : 보수·보강 방법 (An Experimental Study on the Stress Behavior of Coped Stringers in Steel Railway Bridge - II : Repair · Strengthening Method)

  • 이광일;박영석
    • 대한토목학회논문집
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    • 제29권4A호
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    • pp.307-313
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    • 2009
  • 본 연구에서는 철도교의 세로보 절취부에 피로균열이 발생 하였을 때 이에 대한 적절한 보수 보강 방법을 연구하기 위하여 실제로 피로균열이 발생한 철도교를 연구대상으로 실물크기의 가로보-세로보 바닥틀 모형을 제작하고, 세로보의 절취부 및 균열부에 스톱 홀 보수, 덧댐판 보강, 연결판 보강, 브라켓 보강 등 보수 보강 방법을 적용하여 실내실험을 수행하였다. 그 결과 제일 효과적인 보강 방법으로는 세로보의 상부플랜지와 하부플랜지에 연결판과 브라켓을 설치하는 것이고, 균열 선단에 스톱 홀을 뚫는 방법은 보조적인 방법으로 사용할 수 있다는 결론을 얻었다. 그리고 균열 길이가 어느 정도 길 경우에는 복부판에 덧댐판을 설치할 필요가 있다.

스파이럴 구조 기생 소자와 L자형 공진기를 갖는 모노폴 안테나 설계 및 구현 (Design and Implementation of Monopole Antenna with Parasitic Element of Spiral Shape and L-Resonator)

  • 윤광열;이승우;김장렬;이승엽;김남
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제24권1호
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    • pp.11-19
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    • 2013
  • 본 논문에서는 기생 소자의 커플링 현상을 이용하여 다중 대역 특성을 나타내기 위한 평면형 모노폴 안테나를 설계 및 제작하였다. 제안된 안테나는 단일 공진이 발생하는 사각 패치를 기본으로 다중 대역 특성을 얻기 위해 기생 소자를 삽입하였다. 기생 소자는 안테나 크기의 소형화와 다중 공진 특성을 나타내기 위해 스파이럴 구조를 사용하였으며, 각각의 설계 파라미터들을 이용하여 주파수 특성을 최적화 시켰다. 또한, via-hole을 통해 접지면에 연결된 L자 형태의 공진기를 급전선 양쪽에 삽입함으로써 서비스 대역 이외에 사용되지 않는 주파수 대역을 차단하였다. 사용된 기판은 크기가 $40{\times}60{\times}1mm^3$이고, 비유전율 4.4인 FR-4 기판 위에 설계되었으며, 급전은 임피던스 $50{\Omega}$의 마이크로스트립 선로를 사용하였다. 측정 결과, 1.714~2.496 GHz, 2.977~4.301 GHz, 4.721~6.315 GHz 대역에서 -10 dB 이하의 반사 손실 특성을 나타냈으며, 전방향의 방사 패턴을 나타냈다.

음향방출법을 이용한 발전용 보일러 튜브 미세누설 조기 탐지 시스템 개발 및 성능 검증 (Developing an Early Leakage Detection System for Thermal Power Plant Boiler Tubes by Using Acoustic Emission Technology)

  • 이상범;노선만
    • 비파괴검사학회지
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    • 제36권3호
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    • pp.181-187
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    • 2016
  • 화력발전용 보일러 내부에는 연소열을 고온 고압의 스팀으로 변환하기 위한 열교환 튜브가 복잡한 형태로 배치되어 있다. 이 튜브에서 누설이 발생할 경우 고압의 스팀에 의해 치명적인 고장과 발전 정지를 초래하며, 누설 발생 여부를 조기에 검출하지 못할 경우 인근 튜브의 손상까지 연쇄적으로 발생하여 조기에 튜브 누설을 검출할 수 있는 기술 확립이 필요하다. 본 논문에서는 기존 보일러 튜브 누설 감시 설비(BTLD)에 음향방출(AE) 기술을 적용하여 기존 시스템 대비 미세누설을 검출하고 조기에 경보를 발생시킬 수 있는 시스템에 대해 개발을 하였다. 또한 이 시스템을 검증하기 위해 실제 운전 중인 560 MW급 화력발전소 보일러에서 다양한 크기(ⵁ2, ⵁ5, ⵁ10 mm)의 모의 누설시험을 실시하였으며, 그 결과 기존 시스템에서는 검출하지 못하였던 미세누설(ⵁ2 mm, ⵁ5 mm)에 대해 개발된 시스템은 조기에 경보를 발생(18 dB 이상 신호 상승)시킬 수 있음을 확인하였다.

디스크 브레이크와 패드의 마찰열에 의한 열적거동에 관한 연구 (A Study on the Thermal Behaviors of Disk Brake and Pad by Friction Heat)

  • 한승철
    • 한국융합학회논문지
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    • 제10권12호
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    • pp.287-292
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    • 2019
  • 본 논문은 자동차 제동성능에 대한 운전자의 요구에 따라 브레이크 디스크 튜닝이 많이 이루어지고 있어, 자동차에 사용되고 있는 순정 디스크와 튜닝제품으로 나오고 있는 디스크의 열적거동을 FEM해석을 통해 분석하였다. 순정 디스크 모델링 및 튜닝 디스크 Model-1, Model-2, Model-3로 모델링을 하고 디스크 회전속도를 1000rpm으로 설정하여 해석을 실시하였다. 브레이크를 작동하면 디스크와 패드 접촉에 의해 발생하는 작동시 온도와 디스크 정지 후 마찰면의 온도, 열 변형 등 디스크 표면의 열적거동에 대하여 분석하였다. 브레이크 작동시(0-4.5초) 온도는 순정 디스크보다 튜닝 디스크가 34℃높게 나타났고, 디스크 정지 후(40.5초) 온도는 튜닝 디스크가 18℃낮게 분석되었으며, 디스크 열에 의한 변형은 튜닝 디스크가 0.3mm정도 많이 변형되었다. 순정 디스크와 튜닝 디스크의 열적거동에 따른 페이드 현상 등을 줄일 수 있는 효과는 있으나, 튜닝 디스크의 홀 가공 및 디스크 면 가공에 따른 열적거동에는 크게 변화가 없음을 관찰할 수 있었다.

발치와의 육아조직 이식이 치근이개 결손부의 재생에 미치는 영향 (Effect of extraction socket granulation tissue graft on the regeneration of horizontal furcation defect)

  • 오목훈;한수부;손성희;양승민;고재승
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제26권3호
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    • pp.735-751
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    • 1996
  • An ultimate goal of periodontal therapy is to stop the disease process and to regenerate a functionally-oriented periodontium destroyed as a result of periodontal disease. The purpose of this study was to observe the effect of grafting granulation tissue obtained from extraction socket on the regeneration of horizontal furcation defect. Six dogs were used in this study. All mandibular first and third premolars were extracted. At 2, 3, and 5 days after extraction, tissues were obtained from extraction socket of 1 mongrel dog and examined by light microscope. Granulation tissue obtained at 5 days after extraction was chosen as the graft material. Five days later, horizontal furcation defects were created surgically at mandibular second and fourth premolars in the right and left side of the 5 beagle dogs. The entrance area of the artificially prepared "key hole" defects were about $3\;4mm^2$. By random selections, 2 exposed furcation defects were grafted with granulation tissue obtained from extraction socket as experimental group and 1 furcation defect was as control. The flaps were replaced to their original position and sutured with 4-0 chromic cat-gut. Three dogs were sacrificed 4 weeks and two dogs 8 weeks after surgery, and the prepared specimens were examined by light microscope. At 4 weeks, furcations were filled with epithelial lining and fibrous connective tissue infiltrated with chronic inflammatory cells. New bone formation was observed in all groups. Only experimental group showed new cementum formation. At 8 weeks, new cementum, functional arrangement of new PDL fiber, root resorption, and some ankylotic union of newly formed alveolar bone and root surface were observed in all groups. Experimental group showed that epithelial downgrowth was inhibited and new bone formation was more active compared to control. The success rate of the furcation defect healing was higher in experimental group than control. These results suggested that grafting of granulation tissue obtained from extraction socket which combined with reconstructive periodontal flap surgery may promote periodontal regeneration of horizontal furcation defect.

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솟는 고드름의 형성과정에 관한 관찰, 실험 및 분석 (Observation, Experiment, and Analysis of the Ice Spikes Formation)

  • 윤마병;김희수;손정호;양종우
    • 한국지구과학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.454-463
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    • 2009
  • 본 연구에서는 2006년 1월부터 2009년 2월까지 자연 상태에서 만들어진 솟는 고드름(n=107)을 관측, 분석하여 실험실에서 솟는 고드름을 재현할 수 있는 실험 장치를 개발했다. 이 장치를 이용하여 동영상 관측과 실험(531개의 솟는 고드름 생성)을 통해 그 생성과 성장 원리를 연구했다. 용기의 아래 부분이 위쪽 보다 더 차가운 상태에서 용기 바닥과 물 표면에서부터 얼음이 얼기 시작하는데, 표면에서 얼음이 얼지 않는 부분을 숨구멍이라고 하며 이곳으로부터 솟는 고드름이 만들어지기 시작한다. 솟는 고드름이 만들어지기 시작한 후 계속 성장하기 위해서는 용기 하부의 물이 얼음으로 변할 때의 부피 팽창 효과와 숨구멍을 통해 올라오는 과냉각수의 빠른 빙결 효과 등이 관련된다. 실험 장치에서 아이스 트레이 큐브에 증류수를 넣고, -12- $-13^{\circ}C$의 온도를 약 1시간 30분 정도 유지시키면 수면에 살얼음과 숨구멍이 생기기 시작한다. 숨구멍으로부터 생기기 시작한 솟는 고드름은 10-30분 동안 성장하고, 끝이 막히면서 성장을 멈춘다. 솟는 고드름의 형태는 7가지로 분류되며 자연 상태에서는 꼭지형과 기운형이 많았고, 실험실에서는 수직형이 가장 많았다.