ULSI DRAM의 capacitor 절연막용 BST(Barium Strontium Titanate)박막의 제작과 특성에 관한 연구 (Preparation and properties of BST (Barium Strontium Titanate) thin films for the capacitor dielectrics of ULSI DRAM's)
-
- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
- /
- 제9권4호
- /
- pp.336-343
- /
- 1996