This study demonstrated the feasibility of tape casting method to fabricate soda borosilicate glass-coated stainless steel electrostatic chucks(ESC) for low temperature semiconductor processes. The glass coatings on the stainless steel substrates ranged from 100 $\mu\textrm{m}$ to 150 $\mu\textrm{m}$ thick. The adhesion of the glass coatings was found to be excellent such that it was able to withstand moderate impact tests and temperature cycling to over 300$^{\circ}C$ without cracking and delamination. The electrostatic clamping pressure generally followed the theoretical voltage-squared curve except at elevated temperatures and higher applied voltages when deviations were observed to occur. The deviation is due to increased leakage current at higher temperature and applied voltage as the electrical resistivity drops.
Lee, Michael M.S.;Kim, Nam-Hoon;Cheon, Chae-Il;Cho, Guang-Sup;Kim, Jeong-Seog
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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pp.125-125
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2006
We present a low temperature thermal process for the transparent dielectric layer, barrier rib, and white back dielectric layer on the soda-lime glass substrate of the PDP by the $TruNano^{TM}$ processor in combination with a compositional modification to the conventional dielectric pastes. By this method the firing temperature can be lowered by more than $100^{\circ}C$.
An analytical model about lateral crack occurring in abrasive wear of brittle solids is developed. Stress field around the lateral crack and stress intensity factor at the crack tip are analytically modeled. Abrasive wear by abrasive particle is experimentally studied. In soda-lime glass, it is observed that chipping by lateral crack occurs and produces the greatest material removal when normal load applied by the abrasive particle is about 1.5∼3.0 N. The prediction of lateral crack length from the model is compared with the experimentally measured length in soda-lime glass.
본 논문은 중심 연대가 5세기로 추정되는 고령 지산동 73~74호분에서 출토된 유리구슬 43점의 미세구조를 관찰하고 화학 조성을 분석하여 대가야 유리 문화를 이해하고자 하였다. 가시적 특징 및 미세구조는 실체현미경과 전자현미경으로 관찰하고 화학 조성은 전자현미경에 부착된 에너지분산형분광기로 분석하였다. 분석 결과, 고령 지산동 유리구슬은 늘인 기법, 주조 기법, 접은 기법 등 다양한 성형 기법이 확인되며 대다수는 늘인 기법에 의해 성형된 것으로 확인되었다. 화학 조성은 포타쉬유리군 32.6%, 소다유리군 67.4%로 소다유리군이 우세하게 나타나며 소다유리군는 고알루미나유리, 네트론유리, 식물재유리 등으로 다양한 융제가 사용된 것으로 판단된다. 이와 같은 고대유리의 조성은 동일 시기의 백제문화권과 비교하여 포타쉬유리군의 점유율이 높은 특징을 보인다. 이는 한국 고대유리 문화가 포타쉬유리군에서 소다유리군으로 변화하였으나 지역 및 문화권에 따라 차이가 있음을 보여준다. 소다유리군는 고알루미나유리가 23.3%, 네트론유리가 43.0%, 식물재유리가 1.2%로 네트론유리가 우세하게 나타났다. 그러나 한국 소다유리의 주된 유형은 고알루미나유리이고 유리 용기, 금박구슬, 연주옥을 제외한 네트론유리와 식물재유리의 출현 시기가 늦은 편으로 알려져 있는 점과는 상반된 결과로 지산동 출토 유리구슬에 대한 과학적 분석 결과는 한반도의 고대유리의 유입과 변천에 대한 중요한 단서를 제공할 수 있을 것으로 기대할 수 있다. 발굴조사에서 순차적으로 조영된 것으로 확인된 73, 74, 74-1호분은 조영 시기에 따른 유리구슬의 조성은 크게 차이가 나타나지 않는다. 또한, 신분 계급에 따른 차등 사용에 대한 근거도 확인되지 않는다. 다만, 유리의 화학 조성은 색상과 밀접한 관련을 보이는 것으로 판단된다.
현재 유리병의 대량생산을 목적으로 하는 자동 제병공장에서는 저렴하면서도 질 좋은 유리를 생산하고자 하는 것이 첫째 목적이다. 이 목적에 가장 경제적으로 접근하면서 수입 원료에 비하여 훨씬 저렴한 국내산 원료의 효율적인 활용방안의 연구와 에너지절감 및 환경 친화적인 자원재활용 등을 목적으로 파유리를 사용하고 그 양을 늘리기를 원하고 있다. 그러나 소다석회유리에서 $Al_2 O_3$의 함량이 2%미만일 때는 물리화학적인 장점이 실현될 수 있으나, 국내에서는 이러한 좋은 규사를 채광 할 수 없고, 채광 가능한 제품은 $Al_2 O_3$의 함량이 4%이상이므로 국내산 규사만으로 유리조성의 $Al_2 O_3$의 함량을 2%미만으로 조절하기는 불가능한 실정이다. 따라서 낮은 품질의 유리물로서 생산이 가능한 200ml 이하의 소형 유리병(특히 갈색약품 병) 생산 공장에서는 국내산 규사만을 사용하여 유리물을 만들고 있으나, $Al_2 O_3$함량증가에 따라 발생되는 결점(Cord, Knot, 실투, 기포 등)의 증가로 생산효율이 크게 떨어지고 있다. 또한 파유리 투입 시 병유리와는 조성상의 이질성에서 오는 결점의 발생과 파유리 사용량의 증가에 따른 유리물점도 상승으로 용해로 바닥의 온도가 낮은 유리물 정체부위의 실투발생 등 생산 공정에 나쁜 영향을 미치는 여러 가지 문제점들이 발생하게 되었다. 실험을 통해 얻은 결과를 여러 가지 분석 방법을 통해 관찰, 분석하여 이러한 문제점을 해결하였다.
The carborundum abrasive specimens bonded with a soda-borosilicate glass were prepared. Samples fired at specified temperatures with various mixing ratio and forming pressure were examined in terms of the structure, bonding strength, and microscopic observations. Increasing the forming pressure up to 400kg/$\cm^2$, the structure became denser in proportion to the forming pressure. The bonding strength was generally increased with increasing the mixing ratio (Vb/Vg), but the bloating phenomena were observed when samples were fired above 95$0^{\circ}C$ with mixing ratio above 20%, consequently, the bonding strength was decreased. Samples fired at the temperature range 900~95$0^{\circ}C$ with mixing ratio 15~30% had the dense structure with various grades.
There are a number of studies on chemically strengthened glass. Most of them are strengthened in molten salt bath below transformation range of glass. This research is distinguished from the aforementioned studies in that single $KNO_3$ powder was used by employing screen printing technique. In this study soda-lime-silicate(SLS) glasses for bulletproof glass application with various thicknesses were used. The maximum value of the bending strength is 791MPa heat treated at $480^{\circ}C$, which is about 4.3 times higher than the parent glass, which is the highest strength of all soda-lime glasses. In this study, it is also observed that Vickers hardness increased to $657H_v$, which is about 15% higher than the parent glass($568.7H_v$) and fracture toughness was not changed. Depth profiles measured by electron probe micro analyzer(EPMA) showed a correlation between the migrations of $K^+$ ions with bending strength of ion exchanged glasses.
Soda-lime silicate (SLS) glass was strengthened by ion exchange for application of thin and lightweight bulletproof windows. The optimal conditions for ion exchanged SLS glass (thickness of 3 and 10 mm) at $480^{\circ}C$ were 10 and 17 min, respectively. The Vickers hardness values of the strengthened SLS glass samples with thicknesses of 3 and 10 mm were $5.9{\pm}0.22$ and $6.7{\pm}0.17GPa$, respectively, which values were about 22% higher than those of parent SLS glass. By laminating a multilayer defense film and polycarbonate sheet with ion exchanged SLS glass, we were able to make a thin and lightweight bulletproof window (24.25 mm, 4.57 kg, $50.06kg/m^2$, $V_{50}$ 901.8 m/s). As a result, the thickness of the bulletproof window was decreased by about 39% from 40 to 24.25 mm. The light transmittance in the visible range satisfied the standard (over 76%) for bulletproof windows.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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