Fabrication of Electrostatic Chucks Using Borosilicate Glass Coating as an Insulating Layer (붕규산염 유리를 절연층으로 도포한 정전척의 제조)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
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- pp.390-393
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- 2001