$N_2O$ Plasma Oxidation을 이용한 Silicon의 Oxynitridation과 Gate Dielectrics
(Gate Dielectrics and Oxynitridation of Silicon using $N_2O$ Plasma Oxidation)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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- pp.93-94
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- 2005