반도체 공정에서 Track In/Out 판단을 위해서 바코드와 RFID(Radio-Frequency IDentification)가 주로 사용되고 있다. 현재 알려진 바코드 인식률은 약 80%로써 재고 유실이 여전히 존재하며 정확성과 신뢰성을 담보하지 못하고 있는 현실이다. 이 연구에서는 20% 정도의 인식되지 않은 부분을 보완하기 위해 바코드를 영상 처리하고 그 내부에 있는 문자들을 인식하는 프로그램을 개발한다. 해당 공정에서 바코드가 제대로 인식이 안 된 경우에는 인식된 문자들을 참고함으로써 공정의 전체 과정을 파악하고 트랙킹할 수 있다. 바코드의 문자 인식을 생산 공정에 맞추어 실시간에 수향하여 필요시 활용함으로써 공정의 정확성과 생산성을 향상에 기여하고자 한다.
본 논문에서는 열화상 카메라 및 주변 환경요인 측정 시스템을 이용하여 각종 반도체 제조공정에 사용되는 화학물질의 누수를 검출하는 방안을 제안한다. 이는 대형화되고 복잡한 집적배관이 시공되어 있는 공장 환경에서 검출센서를 통한 화학물질 누수 관리를 열화상 시스템으로 대체함으로써 보다 정확하고 안정적인 모니터링을 통해 신속한 대응 및 관리가 가능할 것이다. 또한 본 연구를 통해 누수 배관표면의 열패턴을 실시간으로 모니터링 함으로 기존 누수 검출 센서(면적식 라인타입의 센서)에 대비하여 20% 이상 검출의 신속성 향상을 보장할 수 있다.
초해상화 기법은 저해상도 영상을 고해상도 영상으로 변환하는 기법이다. 최근에는 딥러닝 기술을 활용한 초해상화 방법이 주류를 이루고 있으며, 원격 탐사 분야에서도 이를 응용한 연구가 증가하고 있다. 본 연구에서는 위성 영상의 4배 해상도 향상을 위하여 deep back-projection network (DBPN) 네트워크에 기반한 초해상화 기법을 제안하였다. 또한, 복원된 영상의 디테일 및 윤곽선 부분에서의 고품질 영상 획득을 위해 윤곽선 손실 함수를 제안하고, 효과적이고 안정적인 학습을 위하여 Wasserstein distance 손실 함수를 사용한 GAN 기법을 적용하였다. 또한, 자연스러운 저해상도 훈련 영상을 획득하기 위한 detail preserving image downscaling (DPID) 기법을 적용하였다. 마지막으로 전정 영상의 특징을 추출하여 훈련의 마지막 단계에 적용 시킴으로써 출력 영상의 세부적인 특징을 효과적으로 생성하였다. 그 결과 실험에 사용된 WorldView-3 영상 및 KOMPSAT-2 영상에서 해상도 향상 효과를 확인하였고, 다른 초해상화 모델에 대비하여 윤곽선 보존력이나 영상의 선명도가 향상 되었음을 확인하였다
최근 CMOS 이미지 센서가 저전력, 저가격, 소형화를 이루면서 이를 이용한 하드웨어 및 응용 소프트웨어 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 하지만CMOS이미지 센서 제품들은 하드웨어에 비해 아직 응용 소프트웨어 및 펌웨어의 완성도에서 여러 가지 문제를 가진다. CMOS 이미지 센서 기반 폴링 기법은 불필요한 메시지 교환으로 인해 비효율적인 동기화 문제 및 전송 지연이 일정 수준으로 높아지면 데이터 재전송에 대한 오버헤드가 크다. 이러한 이유로 폴링 방식의 구조적 안정성(structural stability)에 문제점을 가진다. 본 논문에서는 MCU를 통한 펌웨어 기반의 고속 동기화 기법으로 폴링 주기를 세분화하여 Stepwise 동기화 기법을 제안하고, 인터럽트 방식을 적용하여 재접속 및 데이터 전송을 개선하였다. 결과적으로 제안한 기법이동기화 시간 및 에러 커넥션에서 20% 이상 뛰어난 성능을 보여주는 것으로 나타났다. 또한 CMOS 이미지 센서 기반의 C328R 보드와 저전력 MCU인 ATmega128L을 이용한 보드를 개발하고, 제공 소프트웨어와 제안된 펌웨어의 카메라 모듈과 동기화 시간 및 에러 커넥션(Error Connection) 등을 비교, 분석하였다.
일반적으로 광학계의 물체거리가 변하면 배율이 변하게 된다. 본 논문에서는 일반적인 이중 가우스(double-Gauss) 형태의 광학계에서 조리개를 기준으로 조리개 앞쪽에 위치한 렌즈군과 조리개 뒷쪽 렌즈군을 광축 방향으로 독립적으로 평행하게 이동하여 물체거리에 따라 배율과 상면이 고정되는 광학계를 제안하고 설계하였다. 이러한 광학계는 전방시현장치(head-up display, HUD), 두부장착디스플레이(head-mounted display, HMD) 등의 투사 광학계에 물체거리의 변화에 따라 상 크기가 변화하지 않도록 하여 전방시현장치 또는 두부장착디스플레이에서 초점 조절(focusing) 시에 화각이 변하지 않도록 하였다. 또한 반도체 칩과 IC 회로기판을 연결하는 와이어(wire)의 상태를 검사하는 과정에서 검사장비가 위 아래로 움직여서 물체거리가 변해도 광학계의 배율이 변하지 않도록 하여 고속검사가 가능할 수 있도록 별도 영상 처리를 시스템적으로 생략할 수 있었다. 본 논문에서 가우스 괄호법(Gaussian bracket method)을 이용하여 원하는 사양을 만족하도록 각 군의 이동량을 구해서 배율과 상면이 고정되도록 하였다. 초기 설계를 진행한 후, 최적화는 광학 설계 프로그램인 시놉시스(Synopsys)를 사용하였다.
In this study, we investigated the particle formation during the deposition of borophosphosilicate glass (BPSG) and phosphosilicate glass (PSG) films in thermal chemical vapor deposition reactor using in-situ particle monitor (ISPM) and particle beam mass spectrometer (PBMS) which installed in the reactor exhaust line. The particle current and number count are monitored at set-up, stabilize, deposition, purge and pumping process step in real-time. The particle number distribution at stabilize step was measured using PBMS and compared with SEM image data. The PBMS and SEM analysis data shows the 110 nm and 80 nm of mode diameter for BPSG and PSG process, respectively.
최근에 방사선을 이용한 검사들은 환자들이 받는 피폭선량에 대한 관심이 증대하고 있으며, 이러한 방사선을 이용한 방사선사들은 X-선 검사 시 환자에게 조사되는 피폭선량을 인지하여 영상의 질 저하 없이 환자의 피폭선량경감에 대하여 끊임없이 노력해야 한다. 외국의 경우 일반촬영검사들의 피폭선량기준치로 면적선량계와 표면입사선량계에 의하여 선량관리를 하고 있다. 이에 본 논문은 모의팬텀을 이용하여 일반촬영검사들 중 두 개부 전후방 촬영, 흉부 후전방 촬영, 복부 전후방 촬영을 중심으로 면적선량계와 반도체 선량계를 이용하여 면적선량과 표면선량을 비교 측정하였으며, 그 결과 면적선량계와 반도체선량계와의 측정차이는 없었다.
Charged micro-particles are widely used as the key components for many electrical applications such as an e-paper, a touch panel, a printer toner and an electronic ink. Among them, the e-paper is an emerging reflective type display using the charged particles that has the advantages of the extremely low power consumption and sunlight readability. To create images on the e-paper, we confine black positively-charged and white negatively-charged particles between bottom and top electrodes and selectively apply the electric field. When the Coulomb force by an applied electric field is greater than the adhesion force between the charged particle and the electrode, the particles' transition happens resulting in the change of color between black and white. Therefore, the adhesion force is a very important factor for designing and estimating e-paper's operation. In this study, we constructed a basic model for particle's transition and an adhesion force equation describing particle's transition with three different forces: electrostatic image force, Van der Waals force and gravitational force. The simulation results showed that the gravitational force is negligible for the interesting range for the charge and the radius, and the adhesion force can be strongly dependent on the particle's charge and radius.
We have designed and fabricated an active pixel sensor(APS) using an optimized n-well/gate-tied p-channel metal oxide semiconductor field effect transistor(PMOSFET)-type photodetector with a built-in transfer gate. This photodetector has a floating gate connected to n-well and a built-in transfer gate. The photodetector has been optimized by changing the length of the transfer gate. The APS has been fabricated using a 0.35 ${\mu}m$ standard complementary metal oxide semiconductor(CMOS) process. It was confirmed that the proposed APS has a wider dynamic range than the APS using the previously proposed photodetector and a higher sensitivity than the conventional APS using a p-n junction photodiode.
대부분의 디지털 촬영 장치는 Charge Coupled Device(CCD) 또는 Complementary Metal Oxide Semiconductor(CMOS) 센서를 사용한다. 이러한 센서를 통해 촬영된 영상 정보에는 원하지 않는 잡음이 포함되어있다. 본 논문은 영상의 잡음 제거 및 영상 정보의 회복을 위한 기법인 잡음 제거(Noise Reduction, NR)에 관한 것이다. 제안한 NR 방법은 저역통과 필터(Low Pass Filter, LPF)의 대역폭을 고려한 잡음 제거 방법에 관한 것으로, NR의 성능개선을 위하여 MSF 연산에 사용되는 LPF의 필터 계수를 통한 시뮬레이션을 수행하였다. 필터 계수가 갖는 주파수 대역폭의 특성을 고려한 시뮬레이션 결과, MSF 연산에 적용되는 LPF와 고역통과 필터(High Pass Filter, HPF)의 필터 계수가 [1 2 1]과 [-1 2 -1]인 경우 가장 이상적인 주파수 대역폭을 나타내며, NR의 성능 또한 우수함을 확인하였다. 시뮬레이션 결과를 통하여, MSF를 수행함에 있어서 LPF와 HPF의 필터 계수를 [1 21]과 [-1 2 -1]로 제안하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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