ECR(Electron Cyclotron Resonance) occure at ${\omega}_c$=${\omega}$, ${\omega}_c$:electron cycltron frequency, ${\omega}$:electromagnetic wave frequency. ECR system have several merit, 1) power transefer efficiency 2) low neutral gas pressure (below 1 mTorr) 3) high plasma density($10^{12}$$cm^{-3}$). It is applicated variously in the field of semiconductor and new materials as the manufacturing equipment. Magnetic field in ECR system contruct resonance layer (${\omega}$=2.45GHz, $B_z$=875 Gauss) and control plasma. Plasma is almost generated at resonance layer. If the distance between substrate and resonance layer is short, uniformity of plasma is related with profile of resonance layer. Plasma have the property "Cold in Field", so directonality of magnetic field is one of the control factors of anisotropic etching. In this study, we calculate B field and flux line distribution, optimize geometry and submagnet current and improve of magnetic field directionality (99.9%) near substrate. For the purpose of calculation, vector potential A(r,z) and magnetic field B(r,z), green function and numerical integration is used. Object function for submagnet optimization is magnetic field directionality on the substrate and Powell method is used as optimization skim.
This paper presents the design of acoustic resonance free and over current limit during transient state consideration electronic ballast for 1.5kW Metal-Halide Lamp(MHL) that employs frequency modulation (FM) technique. The proposed ballast consists of a Full-Bridge(FB) rectifier, a passive power factor correction (PFC) circuit, a full-bridge inverter, an ignitor using LC resonance and a control circuit for frequency modulation. The frequency modulation technique is the most effective solution to eliminate acoustic resonance among other technique. It spreads power spectrum of lamp to reduce the supplied power spectrum under the energy level of eigen-value frequency. Moreover, the proposed ballast is simple and cost effective above conventional ballast. A new PFC circuit is proposed which combines with LCD type and PCSR filter. A new PFC circuit has higher PF and lower THD than conventional LCD type and secure high reliability. Finally, to protected switching components in transient state, the surge current into ballast is limited by increase the switching frequency. Performance of the proposed ballast was validated through computer simulation using Pspice, experimentation and by applying it to an electronic ballast for a prototype 1.5kW MHL.
In an electro statically actuated nanoelectromechanical system (NEMS) resonator, it is shown that both the resonance frequency and the resonance quality (Q) factor can be manipulated. How much the frequency and quality factor can be tuned by excitation voltage and resistance on a doubly-clamped beam resonator is addressed. A mathematical model for investigating the tuning effects is presented. All results are shown based on the feasible dimension of the nanoresonator and appropriate external driving voltage, yielding up to 20 MHz resonance frequency. Such parameter tuning could prove to be a very convenient scheme to actively control the response of NEMS for a variety of applications.
Boundary condition is an important factor affecting the vibration characteristics of structures, under different boundary conditions, structures will exhibit different vibration behaviors. On the basis of the previous work, this paper extends to the nonlinear resonance behavior of axially moving graphene platelets reinforced metal foams (GPLRMF) plates with geometric imperfection under different boundary conditions. Based on nonlinear Kirchhoff plate theory, the motion equations are derived. Considering three boundary conditions, including four edges simply supported (SSSS), four edges clamped (CCCC), clamped-clamped-simply-simply (CCSS), the nonlinear ordinary differential equation system is obtained by Galerkin method, and then the equation system is solved to obtain the nonlinear ordinary differential control equation which only including transverse displacement. Subsequently, the resonance response of GPLRMF plates is obtained by perturbation method. Finally, the effects of different boundary conditions, material properties (including the GPLs patterns, foams distribution, porosity coefficient and GPLs weight fraction), geometric imperfection, and axial velocity on the resonance of GPLRMF plates are investigated.
In this paper, using $\mu$ synthesis algorithm with structured uncertainty, we design controller and apply it for the Two-Inertia resonance(TMS: Two Mass Spring) system. The TMS system is one of the simplest models which generate a torsional vibration. In this system, it is required to design a controller achieving the control performance while suppressing the torsional vibration. Furthermore, when vibration frequency for the system is varying by reason of parameter variations, we should consider parameter variations in controller design. Then, we design two other controller schemes of the PI controller and the standard $H_{\infty}$ controller and compare these controllers with the controller designed by the $\mu$ synthesis robust control method by using simulations and experiments.
발사체의 추력벡터제어를 위한 구동장치시스템에서 관성부하를 갖는 전기기계식 위치서보 시스템의 공진 특성과 유연한 기체구조체 지지부의 구조공진이 결합되어 합성공진이 발생한다. 이렇게 발생한 공진은 발사체의 자세제어시스템에 되먹임되어 자세안정성에 영향을 줄 수 있다. 본 논문에서는 발사체의 추력벡터제어를 위한 직구동 방식의 전기기계식 구동장치의 합성공진을 해석하기 위한 모델을 소개하고 합성공진 현상을 저감하여 구동기의 동특성을 개선하는 동적 하중 되먹임 제어기법의 해석 및 시험 결과를 기술하였다.
Ultrasonic welder joins with a horn and a booster for amplification of the mechanical displacement. This coupling generates other resonance points at a frequency range lower than the piezoelectric material's resonance frequency. Therefore, frequency variation range through PLL control was proposed in order to prevent reaction to these resonance points.
In many control system applications, the system designed must not only satisfy the damping and accuracy specifications, but the control must also yield performance that is robust to external disturbance and parameter variations. We have shown that feedback in conventional control systems has the inherent ability of reducing the effects of external disturbance and parameter variations. Unfortunately, robustness with the conventional feedback configuration is achieved only with a high loop gain, which is normally detrimental to stability. The design of intelligent, autonomous machines to perform tasks that are dull, repetitive, hazardous, or that require skill, strength, or dexterity beyond the capability of humans is the ultimate goal of robotics research. This paper prove the robust control using Analog Adaptive Resonance Theorv(ART2) Algorithm about case study.
The problem considered in this paper is about the collocation of sensor and actuator for the active control of sound and vibration. It is well-known that a point collocated sensor-actuator pair offers an unconditional stability with very high performance when it is used with a direct velocity feedback (DVFB) control, because the pair has strictly positive real (SPR) property. In order to utilize this SPR characteristics, a matched piezoelectric sensor and actuator pair is considered, but this pair suffers from the in-plane motion coupling problem with the out-of$.$plane motion due to the piezo sensor and actuator interaction. This coupling phnomenon limits the stability and performance of the matched pair with DVFB control. As a new alternative, a point sensor and piezoelectric actuator pair is also considered, which provides SPR property in all frequency range except at the first resonance in very low frequency. This non-SPR resonance could be minimized by applying a phase lag compensator.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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