반응성 스퍼터링법에 의한 $TiO_2$ 박막의 구조적 및 광학적 특성
(Structural and optical properties of $TiO_2$ thin film fabricated by reactive sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료연구회 및 광주 전남지부
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- pp.58-61
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- 2008