게이트 산화막에 대한 암모니아 어닐링의 효과
(The Effect of $NH_3$ Annealing for Gate Oxide)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
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- pp.57-58
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- 1992