• 제목/요약/키워드: point defects

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PVT 공법의 공정 변수가 고순도 반절연 SiC 단결정의 저항에 미치는 영향 (The effect of PVT process parameters on the resistance of HPSI-SiC crystal)

  • 나준혁;강민규;이기욱;최예진;박미선;정광희;이규도;김우연;이원재
    • 한국결정성장학회지
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    • 제34권2호
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    • pp.41-47
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    • 2024
  • 본 연구에서는 SiC(Silicon Carbide) 분말의 순도와 결정 성장 후 냉각 속도를 제어하여 PVT(Physical Vapor Transport) 방법으로 성장한 4인치 HPSI(High-Purity Semi-Insulating)-SiC 단결정의 저항 특성을 조사하였다. 순도가 다른 2개의 β-SiC 분말을 사용하였고, 성장 후 냉각 속도를 조절하여 다양한 저항값을 얻었다. 성장된 결정의 투과/흡수 스펙트럼 및 결정 품질은 각각 UV/VIs/NIR 분석과 XRD Rocking curve 분석을 이용하였으며, 비접촉 비저항 분석을 통해 전기적 특성을 조사하여 비저항 특성에 우세한 영향을 미치는 주요 요인을 확인하였다.

Bridgeman법에 의한 CdIn2Te4 단결정 성장과 광발광 특성 (Properties of Photoluminescence and Growth of CdIn2Te4 Single Crystal by Bridgeman method)

  • 문종대
    • 센서학회지
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    • 제12권6호
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    • pp.273-281
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    • 2003
  • 수평 전기로에서 $CdIn_2Te_4$ 다결정을 합성하여 Bridgeman 법으로 3단 수직 전기로에서 $CdIn_2Te_4$ 단결정을 성장하였다. 성장된 결정의 특성은 x선 회절과 광발광 측정으로 조사하였다. $CdIn_2Te_4$ 단결정 시료는 Laue에 배면 반사법에 의해서 (001)면으로 성장되었음을 확인하였다. Hall 효과는 van der Pauw 방법에 의해 측정되었으며, 온도에 의존하는 운반자 농도와 이동도는 293K에서 각각 $8.61{\times}10^{16}/cm^3$, $242\;cm^2/V{\codt}s$였다. $CdIn_2Te_4$ 단결정의 광흡수와 광전류 spectra를 293K에서 10K까지 측정하였다. 광흡수 스펙트럼으로부터 band gap $E_g(T)$는 Varshni공식에 따라 계산한 결과 1.4750eV - $(7.69{\times}10^{-3}\;eV/K)T^2$/(T+2147 K)임을 확인하였다. 막 성장된(as-grown) $CdIn_2Te_4$ 단결정 시료를 Cd-, In-, Te 분위기에서 열처리하여 10K에서 Photoluminescence(PL) spectra를 측정하여 점 결함의 기원을 알아보았다. $CdIn_2Te_4$ 단결정내에서 내재된 결함들의 기원을 10 K에서 광발광을 측정하여 연구되었다. PL 측정으로 부터 얻어진 $V_{Te}$, $Cd_{int}$, $V_{Cd}$, 그리고 $Te_{int}$는 주개와 받개로 분류되어졌다. $CdIn_2Te_4$ 단결정 시료를 Cd 분위기에서 열처리하면 n형으로 변환됨을 악 수 있었고, In 분위기에서 열처리하면 열처리 이전의 PL spectra를 보이고 있어서 $I_2$, $I_1$ 및 S.A emission에 의한 PL peak에는 영향을 주지 않는다고 보았다.

소아연령군에서의 부분흉골소절개를 통한 최소침투적심장수술 (Minimally invasive cardiac surgery with the partial mini-sternotomy in children)

  • 이정렬;임홍국;성숙환;김용진;노준량;서경필
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제31권5호
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    • pp.466-471
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    • 1998
  • 연구목적: 소아연령군에서의 최소침투적심장수술의 적용가능성 여부와 안전성 및 효율성 등을 검증해 보기 위해 본연구를 시행하였다. 대상환아) 1997년 7월부터 1997년 11월까지 본 서울대학교병원 어린이병원 흉부외과에서 최소침투적심장수술을 받은 46례의 환아를 대상으로 하였으며 환아의 평균 연령 및 체중은 각각 34.6$\pm$41.8 (범위:1~148) 개월, 14.5$\pm$9.9 (범위:3.0~40.0) kg였다. 28명의 환아가 남아였으며 술전 진단은 15례의 심방중격결손증, 25례의 심실중격결손증 (이중 16례는 막주변형이었고 1례는 대동맥판하 막성협착을 동반함), 1례의 대동맥내 이물, 3례의 부분방실중격결손증, 1례의 전폐정맥연결이상 (심장형), 1례의 활로씨사징증이었다. 수술방법 : 상흉골함요(陷凹)로부터 가능한 하부로 멀리 떨어져 정중피부절개를 가한후, 하부흉골을 노출시켰다. 검상돌기부터 정중흉골절개를 시작하여 제 2늑간 수준까지 연장한 후, 흉골의 한쪽 또는 양쪽에 횡절개를 가하여 T형, J형, I형 또는 역 C형 흉골절개가 되게하여 우측 또는 양측 들창모양의 흉골개구부를 확보하였다. 삽관을 대동맥과 상,하공정맥에 일반적인 방법으로 시행하고, 질환별 수술방법 역시 통상적인 방법에 의해서 시행되었다. 결과 : 평균 피부절개의 길이는 6.1$\pm$1.0 (범위:4.0~9.0) cm였고 상흉골함요와 피부절개상단사이의 거리는 평균 4.0$\pm$1.1 (범위:2.0-7.0) cm였다. 평균심폐우회시간, 대동맥차단시간, 및 총수술시간은 각각 62.9$\pm$20.0 (범위:28~147), 29.8$\pm$12.8(범위:11~79), 161.1$\pm$34.5(범위:100~250) 분이었다. 수술후 수혈총량은 평균 71.0$\pm$68.1 (범위: 0~267) cc였으며 환아는 평균 11.3$\pm$13.8 (범위:1-73) 시간후에 인공호흡기이탈이 가능하였다. 진통제로는 평균 0.8$\pm$1.8 (범위: 0~9) mg 용량의 모르핀이 사용되었으며 환아는 평균 35.0$\pm$32.2 (범위: 10~194) 시간동안 중환자실 관리가 필요했고 평균 재원기간은 6.2$\pm$2.0 (범위: 3~11) 일이었다. 상흔관련 합병증 및 수술사망례는 발생하지 않았다. 결론: 비록 단기간의 관찰이었지만 본연구를 통해 저자등은 소아연령군에서 일부 선천성 심질환에 대하여 최소침투적심장수술의 적용의 가능성 및 유용성을 입증하였으며 특히 미용효과면에서 탁월하다는 사실을 발견하였다.

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광섬유 격자 다중화 스트레인 센서 시스템 (Multi-Point Optical Fiber Grating Strain Sensor System)

  • 이용욱;정재훈;정승환;이병호;김남식
    • 비파괴검사학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.147-151
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    • 2001
  • 광섬유 센서는 구조물에 대한 비파괴적인 측정이 가능하고, 전자파에 의한 간섭이 발생하지 않으므로, 전자파 장애의 영향을 무시할 수 있는 장점이 있다. 또한 구조물 건조시 콘크리트 같은 대상체에 광섬유를 내장시킬 경우에는 검사시 대상체를 파괴시키지 않고서도 대상체의 손상여부와 역학적 거동을 측적 및 해석할 수 있는 비파괴 검사기술이다. 특히 광섬유 브래그 격자 센서는 그러한 대상체에 대한 비파괴 검사를 수행하는데 가장 적합한 센서이다. 광섬유 브래그 격자는 특정파장의 빛을 반사 또는 제거시키는 특성을 지니고 있으며, 스트레인 같은 물리량이 광섬유 브래그 격자에 가해지면, 반사되는 빛의 중심파장이 이동하여 이를 통해 물리량을 측정할 수 있다. 정 동적 스트레인을 측정할 수 있는 광섬유 브래그 격자 센서는 건축물이나 토목구조물 등의 안전 진단(health monitoring)을 위해 사용되고 있으며, 최근에는 도로나 교량과 같은 토목 구조물로의 응용에 있어서 필수적인 동적 스트레인의 측정에 대해 그 관심이 집중퇴고 있다. 본 연구에서는 패브리-페로(Fabry-Perot) 필터를 이용하여 다중점에서 동적 스트레인을 측정할 수 있는 센서 시스템을 제작하였으며, 제작된 센서 시스템을 모의 구조물(외팔보)에 적응하여 모의 구조물에 가해지는 정적, 동적 스트레인을 측정하였다. 측정 결과는 기존의 전기적 센서와 유사하였다.

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반도체 검증을 위한 MPI 기반 클러스터에서의 대용량 FDTD 시뮬레이션 연산환경 구축 (Implementation of Massive FDTD Simulation Computing Model Based on MPI Cluster for Semi-conductor Process)

  • 이승일;김연일;이상길;이철훈
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제15권9호
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    • pp.21-28
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    • 2015
  • 반도체 공정에서는 소자 내부의 물리량 계산을 통해 불순물의 움직임을 해석하여 결점을 검출하는 시뮬레이션을 수행하게 된다. 이를 위해 유한 차분 시간 영역 알고리즘(Finite-Difference Time-Domain, 이하 FDTD)과 같은 수치해석 기법이 사용된다. 반도체 칩의 집적도 향상으로 인하여 소자의 크기는 나노스케일 시대로 접어들었으며, 시뮬레이션 사이즈 또한 커지고 있는 추세이다. 이에 따라 CPU와 GPU 같은 하나의 연산 장치에서 수행할 수 없는 문제와 다중의 연산 장치로 구성된 한 대의 컴퓨터에서 수행할 수 없는 문제가 발생하기도 한다. 이러한 문제로 인해 분산 병렬처리를 통한 FDTD 알고리즘 연구가 진행되고 있다. 하지만 기존의 연구들은 단일 연산장치만을 이용하기 때문에 GPU를 사용하는 경우 연산 속도는 빠르나 메모리의 제한이 있으며 CPU의 경우 GPU에 비해 연산 속도가 느린 단점이 존재한다. 이를 해결하기 위해 본 논문에서는 CPU, GPU의 이기종 연산 장치를 포함하는 컴퓨터로 구축된 클러스터 상에서 작업 사이즈에 제한되지 않고 시뮬레이션 수행이 가능한 컴퓨팅 모델을 구현하였다. 점대점 통신 기반의 MPI 라이브러리를 이용하여 연산 장치 간 통신을 통한 시뮬레이션을 테스트 하였고 사용하는 연산 장치의 종류와 수에 상관없이 시뮬레이션이 정상 동작함을 확인하였다.

뜬 마이크로 디바이스를 이용한 Ge-SixGe1-x Core-Shell Nanowires 의 열전도율 측정 (Thermal Conductivity Measurement of Ge-SixGe1-x Core-Shell Nanowires Using Suspended Microdevices)

  • 박현준;나정효;;설재훈
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제39권10호
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    • pp.825-829
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    • 2015
  • 나노선에서 코어-셸 헤테로 구조를 도입함으로써 열 전도율을 낮출 수 있으며, 이로 인해 열전 효율(ZT)을 향상시킬 수 있다는 것이 이론 연구를 통해 제안되었다. 본 논문에서는 코어-셸 나노선의 열전도율 감소를 실험적인 방법을 통해 확인하였다. 화학증기 증착법을 통해 만든 게르마늄-규소 $_x$ 게르마늄 $_{1-x}(Ge-Si_xGe_{1-x})$ 코어-셸 나노선의 열전도율을 마이크로 크기의 뜬 디바이스를 이용하여 측정하였다. 셸에서 측정된 실리콘의 함유율(x)는 0.65 로 확인하였으며, 게르마늄은 코어와 셸 사이에서, 격자 불일치(lattice mismatch)에서 비롯된 결점(defect)와 같은 역할을 한다. 또한, 4-point I-V 측정실험에, 휘트스톤 브릿지 실험을 추가 진행함으로써 측정 민감도를 강화하였다. 측정된 열전도율은 상온에서 9~13 W/mK 으로써, 비슷한 지름을 가지는 게르마늄 나노선과 비교하였을 때, 열전도율이 약 30 % 낮아졌음을 확인하였다.

구순열 수술 후 인중의 변형과 구륜근 결손 (Oribicularis Oris Muscle Defects in Philtral Deformities in the Repaired Cleft Lip)

  • 김석화;정연우;천정은;박찬영;오명준;김정홍;최태현
    • Archives of Plastic Surgery
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    • 제37권4호
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    • pp.427-432
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    • 2010
  • Purpose: The purpose of this study is to estimate muscle defect by ultrasonography in the patients with secondary deformities of the lip. We investigated the association between the muscle defect in the repaired cleft lip and the philtral appearance not only at resting state but also maximal puckering. Methods: From December 2006 to November 2007, 52 children were evaluated after primary or secondary cheiloplasty. Digital photographs were taken both from the front and both three quarter views in repose and at maximal pucker. Video clips were also taken in repose and at maximal pucker. A panel of four, scored the philtral ridge and dimple seen on these photographs and videos by using two visual analog scales. Eminence of the philtral ridge was scored by a 5 point grading scale, from "conspicuous groove" to "normal philtral ridge" and the philtral dimple was scored by 3 point grading scale, from "no dimple" to "prominent dimple". Ultrasound images of the upper lip were made using a linear array transducer at the resting position of the lip and evaluated by a single radiologist. Results: The philtral ridge eminence scored $2.79{\pm}0.54$ and $1.40{\pm}0.53$ at resting and maximal pucker, correlating with "flat" and "conspicous groove". The philtral dimpling scored $1.44{\pm}0.53$ and $2.27{\pm}0.66$ at resting and maximal pucker, correlating with "no dimple" and "slight dimple". Ultrasound imaging showed the average muscle dehiscence to be $3.78{\pm}2.14$ mm at resting position. Correlation between the muscle defect in ultrasound imaging and philtral ridge eminence at rest was statistically significant (p<0.050), but was not significant (p=0.756) at maximal pucker using Spearman's rank correlation. Correlation between the muscle defect in ultrasound imaging and philtral dimpling was not statistically significant both at rest (p=0.920) and at maximal pucker (p=0.815) using Spearman's rank correlation. Conclusion: Quantitative assessment of the muscle defect using ultrasonography correlates with the static philtral appearance, but does not correlate with the dynamic appearance. Also, the size of the muscle defect does not show any correlation with the philtral dimpling. Our findings reveal that ultrasound imaging partially reflect static appearance of philtrum but cannot reflect dynamic appearance and suggest the need for further research to evaluate dynamic appearance.

$^{137}Cs$ 점선원을 이용한 감쇠 보정기법들의 평가 (Assessment of Attenuation Correction Techniques with a $^{137}Cs$ Point Source)

  • 봉정균;김희중;손혜경;권윤영;박해정;윤미진;이종두;정해조
    • 대한핵의학회지
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    • 제39권1호
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    • pp.57-68
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    • 2005
  • 목적: PET 영상화를 위해 다양한 감쇠 보정 방법들이 $^{137}Cs$ 투과 점선원의 데이터를 처리하는데 있어서 개발되어 왔다. 본 연구의 목적은 뇌 PET 영상을 위해 $^{137}Cs$ 점선원에서 사용하는 감쇠보정 가법들을 평가하는 것이다. 대상 및 방법: 감쇠 보정 기법들을 시험하기 위해, 4가지 종류의 팬텀들이 사용되었다. $^{137}Cs$투과 점선원의 데이터는 팬텀 안에 방출 선원을 주입한 후 획득되었고, 그 뒤로 방출 선원 데이터가 3D 획득 방식으로 획득되었다. 산란 보정은 배후 방사능을 가감하는 방법 (background tail-fitting algorithm)으로 실행되었다. 그리고 나서, 방출 데이터는 각각 측정 감쇠 보정(MAC), 타원형 감쇠 보정(ELAC), 분할 감쇠보정(SAC), 재배치 감쇠보정(RAC)으로 반복적 재구성 방법을 사용하여 재구성되었다. 그런 다음, 재구성된 영상들이 정량적으로 그리고 정성적으로 평가가 되었다. 부가적으로, 정상인에 대해서 평가가 이루어졌는데, 정상인에 대한 재구성 영상은 핵의학 전문의들에 의해서 평가되었다. 또한 가감된 영상들이 비교되었다. 결과: ELAC, SAC, RAC은 원통형 팬텀에 대해 노이즈가 적은 균일한 팬텀 영상을 제공하였다. 반면에, MAC의 결과에서 감쇠맵의 중심 부분에서 세기가 떨어지는 것을 보여주었다. Jaszack과 Hoffman 팬텀들에 대한 재구성 영상은 RAC과 SAC을 각각 적용시 더 좋은 영상 질을 나타냈다. 정상인 대상자의 영상에 있어서 두개골의 감쇠가 두드러졌고, 두개골에 대한 감쇠를 고려하지 않은 감쇠 보정은 뇌 영상들상에서 인공적인 손상이 있는 것처럼 나타났다. 결론: 복잡하고 개선된 감쇠보정 기법들이 정량적 그리고 정성적으로 정확한 뇌 PET영상으로 개선시키는데 있어서 필요하다. 본 연구는 $^{137}Cs$ 투과 선원을 사용하여 이루어지는 감쇠보정법을 이용하는 뇌 PET 영상화 기기들을 개선시키는데 유용할 것으로 사료된다.

치근단 역충전와동의 건조방법이 폐쇄성에 미치는 영향 (INFLUENCES OF DRY METHODS OF RETROCAVITY ON THE APICAL SEAL)

  • 이정태;김성교
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제24권1호
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    • pp.166-179
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    • 1999
  • 외과적 근관치료에서 근단부의 폐쇄성은 성공에 필수적이다. 그리고 외과적 근관치료시 근단부 역충전와동은 습기나 혈액에 의해 오염되기 쉬우며 와동을 이상적으로 건조하기가 항상 용이하지는 않다. 본 연구의 목적은 미세 치근단 수술법에서 치근단 역충전와동의 건조 방법이 폐쇄성에 미치는 영향을 연구하고자 함이다. 치근단 폐쇄성은 근단 누출 및 충전물-와벽 적합성으로 평가하였다. 치근단 역충전와동 건조방법에 따른 치근단 누출을 평가하기 위해서는 최근에 발거된 상악 대구치 구개측치근 125개를 와동건조 방법 및 혈액오염에 따라 4개의 군으로 분류하여 실험하였다. 각 시편치아에서 근관을 형성하고 측방가압법으로 충전한 후 각 군에 따라 저속 다이아몬드 절단기를 이용하여 치근단 3 mm를 절제하였으며 초음파 스테인레스 스틸 기구를 이용하여 깊이 3mm의 역충전 와동을 형성하고 IRM, Super EBA 또는 복합레진으로 역충전하였다. 시편을 2% methylene blue 용액에 7일간 침잠시킨 후 35% 질산 용액에서 용해시킨 다음, 원심분리한 상층액을 비색계를 이용하여 누출 색소의 흡광도를 측정하였다. 결과치는 이원변량분석법과 Duncan's Multiple Range Test를 이용하여 분석하였다. 역충전 와동 건조방법에 따른 충전물-와벽 적합성을 평가하기 위해서는 상악 제 1대구치의 구개측 치근 12개를 상기와 같이 4개 군으로 분류하여 근관충전, 역충전와동 형성, 와동 건조 및 역충전을 실험하였으며, 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 압축공기나 paper point로 와동을 건조한 군이, 역충전 와동을 IRM 간이충전재, Super EBA 시멘트 및 복합레진으로 충전한 경우 공히, cottton pellet 만으로 와동을 건조한 군에 비해 적은 치큰단 누출을 나타내었는데 이는 Super EBA 시멘트 충전군에서만 유의한 차이를 나타내었다(p<0.05). 그러나 충전재료에 관계없이 paper point로 와동을 건조한 군과 압축공기로 건조한 군 사이에는 유의한 누출의 차이가 나타나지 않았다. 2. 압축공기로 와동을 건조한 경우에는, 복합레진으로 충전한 군이 IRM이나 Super EBA로 충전한 군에 비해 유의하게 적은 치근단 누출을 나타내었다(p<0.05). 3. 와동을 혈액으로 오염시킨 경우에는, 역충전 와동을 IRM, Super EBA 및 복합레진으로 충전한 군 공히, 압축공기로 와동내부를 건조한 경우에 비해 유의하게 많은 치큰단 누출을 나타내었다(p<0.05). 4. IRM 간이충전재나 Super EBA 시멘트로 역충전와동을 충전한 경우, 와동측벽의 외측 1/2이 내측 1/2에 비해 넓은 충전물-치질 사이 틈을 나타내었다. 5. IRM 간이충전재, Super EBA 시멘트 및 복합레진으로 역충전와동을 충전한 경우 공히, 와동이 혈액에 의해 오염되었거나 와동을 cotton pellet으로만 건조한 경우가 paper point나 압축공기로 와동을 건조한 경우에 비해 와동기저부에 큰 틈을 나타내는 양상을 보였다.

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쇼트키 장벽 관통 트랜지스터 구조를 적용한 실리콘 나노점 부유 게이트 비휘발성 메모리 특성 (Characteristics of Si Floating Gate Nonvolatile Memory Based on Schottky Barrier Tunneling Transistor)

  • 손대호;김은겸;김정호;이경수;임태경;안승만;원성환;석중현;홍완식;김태엽;장문규;박경완
    • 한국진공학회지
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    • 제18권4호
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    • pp.302-309
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    • 2009
  • 쇼트키 장벽 관통 트랜지스터에 실리콘 나노점을 부유 게이트로 사용하는 비휘발성 메모리 소자를 제작하였다. 소스/드레인 영역에 어븀 실리사이드를 형성하여 쇼트키 장벽을 생성하였으며, 디지털 가스 주입의 저압 화학 기상 증착법으로 실리콘 나노점을 형성하여 부유 게이트로 이용하였다. 쇼트키 장벽 관통 트랜지스터의 동작 상태를 확인하였으며, 게이트 전압의 크기 및 걸어준 시간에 따른 트랜지스터의 문턱전압의 이동을 관찰함으로써 비휘발성 메모리 특성을 측정하였다. 초기 ${\pm}20\;V$의 쓰기/지우기 동작에 따른 메모리 창의 크기는 ${\sim}5\;V$ 이었으며, 나노점에 충분한 전하 충전을 위한 동작 시간은 10/50 msec 이었다. 그러나 메모리 창의 크기는 일정 시간이 지난 후에 0.4 V로 감소하였다. 이러한 메모리 창의 감소 원인을 어븀 확산에 따른 결과로 설명하였다. 본 메모리 소자는 비교적 안정한 쓰기/지우기 내구성을 보여주었으나, 지속적인 쓰기/지우기 동작에 따라 수 V의 문턱전압 이동과 메모리 창의 감소를 보여주었다. 본 실험 결과를 가지고 실리콘 나노점 부유게이트가 쇼트키 장벽 트랜지스터 구조에 접목 가능하여 초미세 비휘발성 메모리 소자로 개발 가능함을 확인하였다.