Fabrication of Low Power Micro-heater for Micro-Gas Sensor I. The Thermal Distribution Analysis by The Finite Element Method (마이크로 가스센서를 위한 저전력 마이크로 히터의 제조 I. 유한요소법에 의한 열분포해석)
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- Journal of Sensor Science and Technology
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- v.6 no.4
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- pp.337-345
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- 1997