한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part2
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pp.881-882
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2006
In 1997, Dr. James Chien-Min Sung patented the technology of making diamond tools according to a predetermined pattern. The optimization of this pattern may double the tool life and the cutting speed. In 1998, Sung also made $DiaGrid^{(R)}$ saw segments that showed superior performance in cutting granite and marble. In 2000, Sung visited Shinhan and introduced them this revolutionary concept of diamond saw segments. In 2005, Shinhan adapted the idea and produced saw segments with diamond grits set in a predetermined pattern, their results confirmed that the sawing speed and the sawing life were both improved over conventional designs.
The final polishing process is based on slurry, pad, conditioner, equipment. Therefore, the concept of wafer final polishing is also necessary for repeatability of results between polished wafers. In this study, the machining conditions have a pressure, table speed, machining time and slurry ratio. This research investigated the surface characteristics that apply variable machining conditions and response surface methodology was used to obtain more flexible and optimumal condition base on Taguchi method. On the base of estimated response surface curvature from the equation and results of Taguchi method, combined design of experiment was considered to lead to optimumal condition. Finally, polished wafer was obtained mirror like surface.
반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 화학적-기계적 연마(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 화학적-기계적 연마 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. 화학적-기계적 연마공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 화학적-기계적 연마 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리(Slurry), 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 화학적-기계적 연마 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 화학적-기계적 연마 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 스크래치(Scratch) 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 유기박막을 표면에 증착하여 부식을 방지하고자 하였다. 컨디셔너 제작에 사용되는 금속인 니켈과 니켈 합금을 기판으로 하고, 증착된 유기박막으로는 자기조립단분자막(SAM: Self-Assembled Monolayer)과 불화탄소(FC: FluoroCarbon) 박막을 증착하였다. 자기조립단분자막은 2가지 전구체(Perfluoroctyltrichloro silane(FOTS), Dodecanethiol(DT))를 사용하여 기상 자기조립 단분자막 증착(Vapor SAM) 방법으로 증착하였고, 불화탄소막은 10 nm, 50 nm, 100 nm 두께로 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition, SRN-504, Sorona, Korea) 방법으로 증착하여 표면의 부식특성을 평가하였다. 표면 부식 특성은 동전위분극법(Potentiodynamic Polarization)과 전기화학적 임피던스 측정법(Electrochemical Impedance Spectroscopy(EIS)) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. 또한 측정된 임피던스 데이터를 전기적 등가회로(Electrical Equivalent Circuit) 모델에 적용하여 부식 방지 효율을 계산하였다. 동전위분극법과 EIS의 결과 분석으로부터 유기박막이 증착된 표면의 부식전류밀도가 감소하고, 임피던스가 증가하는 것을 확인하였다.
CMP (chemical mechanical polishing) process remained to solve several problems in deep sub-micron integrated circuit manufacturing process. especially consumables (polishing pad, backing film, slurry, pad conditioner), one of the most important components in the CMP system is the slurry. Among the composition of slurries (buffer solution, bulk solution, abrasive particle, oxidizer, inhibitor, suspension, antifoaming agent, dispersion agent), the abrasive particles are important in determining polish rate and planarization ability of a CMP process. However, the cost of abrasives is still very high. So, in order to reduce the high COO (cost of ownership) and COC (cost of consumables) in this paper, we have collected the silica abrasive powders by filtering after subsequent CMP process for the purpose of abrasive particle recycling. And then, we have studied the possibility of recycle of reused silica abrasive through the analysis of particle size and hardness. Also, we annealed the collected abrasive powders to promote the mechanical strength of reduced abrasion force. Finally, we compared the CMP characteristics between self-developed KOH-based silica abrasive slurry and original slurry. As our experimental results, we obtained the comparable removal rate and good planarity with commercial products. Consequently, we can expect the saving of high cost slurry.
In South Korea, millions of poultry have died due to repeated heat waves every year. The purpose of this study is to analyze the characteristics of heating and cooling loads of chicken houses in Korea and to present an effective insulation and ventilation measures to minimize the damage of poultry due to summer heat wave and to save energy in chicken houses in winter. The heating and cooling loads of standard chicken house were calculated. As a result of the calculation of maximum heating load based on the minimum ventilation rate in winter, the outdoor air temperature requiring heating was $6{\sim}7^{\circ}C$ to keep the indoor air temperature of chicken houses as $24^{\circ}C$. The peak cooling load of chicken houses was mostly taken by the heat generated by chickens and the heat gain due to ventilation. The heat gain through building envelopes was as small as neglectable. Most of chicken houses is usually cooled by gigantic forced ventilation in summer in Korea. When the chicken houses are cooled by electric cooling machine such as cooler or air conditioner, it is more effective to keep minimum ventilation rate to reduce the maximum cooling load. To lower the temperature of supplying water to cooling pad, it is recommended to use the underground water below 10 meters from the ground if there is abundant underground water.
본 연구는 고온기 분만사 내 냉방 시설의 종류가 모돈의 번식성적 및 스트레스 지표에 미치는 영향을 구명하기 위하여 실시되었다. 본 실험을 위해 경산돈(Landrace×Yorkshire; 242.84±2.89 kg) 40두를 공시하였으며, 냉방 시설에 기반하여 4처리 10반복, 반복당 1두씩 완전임의 배치하였다. 실험 처리구는 쿨링패드(CP; Cooling pad), 에어컨(AC, Air conditioner), 스나웃 쿨링(SC, Snout cooling) 및 안개분무(MS, Mist spray)로 구성되었으며, 포유기간(21일) 동안 진행되었다. 모돈의 성적에서 일일사료섭취량은 포유기간에서 CP 및 AC 처리구가 유의적으로 높게 나타났다(p<0.05). 이유 시, 자돈의 체중은 AC처리구가 유의적으로 가장 높게 나타났으며(p<0.05), SC처리구가 유의적으로 가장 낮게 나타났다(p<0.05). 모돈의 코티졸 농도는 SC 및 MS처리구가 CP 및 AC처리구보다 유의적으로 높게 나타났다(p<0.05). 자돈의 코티졸 농도는 MS처리구가 유의적으로 가장 높게 나타났으며(p<0.05), CP처리구가 유의적으로 가장 낮게 나타났다(p<0.05). 모돈의 호흡수 및 직장온도는 MS처리구가 유의적으로 가장 높게 나타났으며(p<0.05), AC처리구가 유의적으로 가장 낮게 나타났다(p<0.05). 결론적으로, 쿨링패드 및 에어컨 냉방시설이 스나웃 쿨링 및 안개분무 냉방시설보다 모돈의 생산성을 개선시킬 수 있을 것으로 사료된다.
Habeeb, Tajudeen;Joseph, Moturi;Abdolreza, Hosseindoust;SangHun, Ha;Jun Young, Mun;YoHan, Choi;SooJin, Sa;JinSoo, Kim
Journal of Animal Science and Technology
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제64권4호
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pp.782-791
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2022
The purpose of this study is to evaluate the effects of multiple cooling systems and different drinking water temperatures (DWT) on the performance of sows and their hair cortisol levels during heat stress. In this study, the effect of four different cooling systems: air conditioner (AC), cooling pad (CP), snout cooling (SC), and mist spray (MS), and two DWT, namely low water temperature (LWT) and high water temperature (HWT) on 48 multiparous sows (Landrace × Yorkshire; 242.84 ± 2.89 kg) was tested. The experiment is based on the use of eight replicas during a 21-days test. Different behaviors were recorded under different cooling treatments in sows. As a result, behaviors such as drinking, standing, and position change were found to be lower in sows under the AC and CP treatments than in those under the SC and MS treatments. Lying behavior increased under the AC and CP systems as compared with that under the SC and MS, systems. The average daily feed intake (ADFI) in sows and weight at weaning in piglets was higher under the AC, CP, and LWT treatments than under the SC, MS and HWT treatments. Sows subjected to SC and MS treatment showed higher hair cortisol levels, rectal temperature, and respiratory rate during lactation than those under AC and CP treatments. Hair cortisol levels, rectal temperature, and respiratory rate were also higher under the HWT than under the LWT treatment. As per the results of this study, the LWT has no significant effect on any of the behavioral factors. Taken together, the use of AC and CP cooling treatment is highly recommended to improve the behavior and to reduce the stress levels in lactating sows.
이 논문은 자동차 실내의 인화성 물질과 전기적인 접촉 불량에 의한 화재사례를 분석하고 연구하는 것이다. 첫 번째 사례는 운전자가 에어컨 냄새 탈취제인 방향제를 사용 후 실내의 크래쉬 패드에 두고 내린 것이 외부의 복사열에 의해 폭발하면서 화재가 발생된 것으로 확인되었다. 두 번째 사례는 운전자가 자동차 실내에 전자기기 등을 사용하면서 전기적인 과부하가 걸려 단락현상에 의해 화재가 발생된 것으로 확인되었다. 세 번째 사례는 자동차 내부의 시트를 따뜻하게 하기 위해 열선을 설치하였다. 초기에 설치하였을 때는 화재의 위험성이 약했으나 5,000km를 운행하면서 이 열선의 내구성이 떨어지면서 순간적으로 전기적인 과부하가 발생되었고, 이 열이 시트에 옮겨 붙으면서 자동차 화재가 발생된 것으로 확인되었다. 네 번째 사례는 뒷좌석에 있던 승객이 담배를 피우던 중 완전히 소화하지 않은 상태로 둔 것이 가연성 종이에 옮겨 붙어 자동차가 전소된 것으로 확인되었다. 따라서, 실내의 인화성 물질이나 전기적인 시스템을 추가로 사용할 때는 화재가능성을 최대한 고려하고 이에 대한 세심한 대책을 강구하여야 한다.
본 증례는 65세 남환으로, 10년 전 편도암으로 하악골이단술을 시행한 환자에서 중립대를 활용한 상하악 총의치 수복 증례이다. 본 환자는 무치악 기간이 짧아 치초제의 흡수가 거의 없으며, 혀의 운동기능에도 이상이 없었지만, 수술 이후의 변화로 인해 하악의 후구치 삼각융기가 상악의 구상절흔보다 안쪽에 위치해 있으며 하악의 구치부 치조제는 상대적으로 설측으로 돌아간 구조를 보였다. 만약 통상적으로 해부학적 지표를 참고하여 치아를 배열한다면, 혀의 기능 공간을 침범하게 되며, 이는 의치의 안정성을 저하시킬 것이다. 이런 경우 중립대 개념을 적용한 의치의 제작은 좋은 참고점이 될 수 있을 것이다. 연성 이장재를 사용하여 중립대를 인기하였으며, 이를 인덱스로 제작하여 치아배열을 시행하였다. 중립대의 가장 큰 장점은 의치의 안정을 얻는 것에 있다. 본 환자의 경우 하악 좌측 구치부가 혀 공간을 침범하지 않도록 구치 치아의 설측배열 한계를 얻기 위해 중립대 기법을 적용하였다. 특히, 치조제의 흡수로 의치의 안정성을 얻기 어려운 난증례 환자의 경우 이러한 방법을 사용한다면 의치의 안정성 면에서 더욱 좋은 결과를 얻을 수 있을 것이라 보기에 본 증례를 보고하는 바이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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