A Study on Adhesion in Diamond Nanoimprint Lithography Using Molecular Dynamics Simulation (분자동역학 시뮬레이션을 이용한 다이아몬드 나노임프린트 리소그라피에서의 점착에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
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- 2004.11a
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- pp.83-89
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- 2004