Electrical mechanism analysis of $Al_2O_3$ doped zinc oxide thin films deposited by rotating cylindrical DC magnetron sputtering
(원통형 타겟 형태의 DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 산화 아연 박막의 전기적 기제에 대한 분석)
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- 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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- 2010.11a
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- pp.55.1-55.1
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- 2010