Microstructure Characterization for Nano-thick Nickel Cobalt Composite Silicides from 10 nm-Ni0.5Co0.5 Alloy films (10 nm 두께의 니켈 코발트 합금 박막으로부터 제조된 니켈코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.20 no.4
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- pp.308-317
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- 2007