• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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• pp.247-251
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• 2004

반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

• Asian Journal of Business Environment
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• 제2권1호
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• pp.25-34
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• 2012

It is possible to use pallet for forwarding as chinese cabbages and radishes are general large-scale trading items at the agricultural wholesale market though, however, most of these are forwarded as it have packed in net bags or in P·E bags. Thus, it is still hard for palletizing. The type of packing the product in the net bag makes it difficult for palletizing. It is not a stable shape enough and easily collapsed for pallet loading. Because of this collapsibility, the corrugated cardboard box is being used to enhance forwarding efficiency, but the existing corrugated cardboard box could be crushed easily by moist what is from the agricultural product's property and it also could be squashed by the mass of the loaded box layers on itself. In contrary, the functional waterproof corrugated cardboard box is not collapsed through palletizing and it is efficient for product management with it's ventilation function in respond to pre-cooling effect. Furthermore, because it has various functional shapes as the open type, the partition type and so on, it is effective for maintaining freshness of the product and standardizing the distribution of agricultural product. It is well-known that it is possible to introduce this box to cargo-works of agricultural product. Consequently, the recognition of main distributors about the pallet distribution of the chinese cabbage and the radish was apprehended in this study for activating mechanization of loading and unloading. The survey was conducted to the main distributors such as the forwarder, the auction dealer and the commission merchant with Garak-dong wholesale market as the center. The appropriate packing materials and problems of the existing method for loading and unloading were derived through the survey. Especially, it was focused on analyzing the difference of recognition between the subject groups for the way of using waterproof cardboard corrugated box to deal with the difficult product for packing in normal corrugated box because of the box's absorption of moist from the agricultural product like a chinese cabbage and a radish. Total In the cases of the forwarders and the commission merchants, the net was highly responded as 45%, 74% from each groups for the best packing material for mechanization of distribution and the waterproof corrugated cardboard box was responded as 20%, 22% from each groups as much preferable than multi-stage wooden box. However, for the radish, the waterproof corrugated cardboard box was the best material as 56%, and the auction trader group supported it for 80%. So, the using the waterproof corrugated cardboard box for mechanization of distribution was negative for the chinese cabbage, but it was positive for the radish. The average was 2.42, the standard deviation was 1.24. The negative response(about 55%) was prevailing more than positive response(about 23%). It could be analyzed that even there was the positive recognition for using the waterproof corrugated cardboard box for the radish though the preference for low price of net bag in the chinese cabbage forwarding procedure. Still now, it seems that is a burden for using the waterproof corrugated cardboard box with high price. In the analysis on the recognition differences about using the waterproof corrugated cardboard box for the chinese cabbages and the radish between the forwarders and the commission merchants, generally the negative recognition was prevailing, but the forwarders(2.696) were more positive for using the waterproof corrugated cardboard box than the commission merchants(2.145).

• 생물환경조절학회지
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• 제30권4호
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• pp.419-428
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• 2021

모바일 기반 온실에너지 계산프로그램을 제작하기 위해 먼저 주요 단일 피복재 10종 및 보온재 16종에 대한 열관류율 측정하였다. 또한 피복 및 보온재를 이중 및 삼중으로 다층 설치할 때 열관류율 추정을 위하여 이중 설치시 24조합, 삼중설치 시 59조합에 대한 열관류율을 핫박스를 이용하여 측정하였다. 단일 피복재에서는 PE필름(0.08mm) 대비 PO필름(0.15mm)이 가장 열관류율이 가장 작고 열절감율이 가장 큰 것으로 나타났다. 단일 보온재에서는 열관류율에서는 외피가 있는 5겹의 다겹보온커튼이 가장 보온력이 좋은 것으로 나타났다. 또한 단일자재에 대한 열관류율 값과 열저항값을 이용한 피복 및 보온재의 다층설치시의 총 열관류율 값을 산정하였고 실측 값과의 오차를 보정하는 선형회귀식을 도출하였다. 단일재료의 열관류율값에 의한 피복 및 보온재의 다층설치시 열관류율 추정 모형을 개발한 결과 모형평가지수가 0.90(0.5 이상일 때 양호)으로 나타나 추정치가 실측치를 매우 잘 재현 하고 있는 것으로 나타났다. 또한 시험온실을 통한 실증시험결과 예측된 열절감율이 실측치보다 상대오차 2%로 작게 나타나는 것으로 평가되었다. 이러한 연구결과를 기반으로 모바일 기반의 온실 에너지계산 프로그램을 개발하였다. 이 프로그램은 HTML5 표준 웹 기반 모바일 웹 애플리케이션으로 구현하였으며 N-Screen 지원을 통해 다양한 모바일 장치 및 PC 브라우저에서 동작이 가능하게 제작되었다. 또한 온실 피복(12종) 및 보온재(16종)의 조합별 열관류율 및 난방부하계수를 제공하여 농민이 모바일로 온실 위치, 형태 및 피복·보온재 등을 반영한 최대 주야간 냉난방부하 및 기간 난방부하를 산정할 수 있다. 대상 온실의 에너지 소비량에 대한 평가가 가능하며 온실의 지역 및 형태에 따라 피복 및 보온재의 최적 선택으로 에너지 절감형 온실 설계가 가능할 것으로 판단되었다.

• 한국터널지하공간학회 논문집
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• 제21권5호
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• pp.587-609
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• 2019

본 연구에서는 고준위폐기물 처분장 내 완충재 로 제시되고 있는 벤토나이트의 재료적인 측면에서 장 단기 처분 안정성을 분석하였으며, 처분효휼 향상을 위한 완충재 디자인 관련 대안개념에 대해 연구동향을 분석하였다. 일반적으로 $150{\sim}250^{\circ}C$ 사이에서 온도증가 및 증기발생 등으로 인해 완충재의 수리전도도와 팽윤능에 비가역적인 변화가 발생한다고 보고된다. 하지만 완충재의 최고온도가 최소한 $150^{\circ}C$를 초과하지 않는다면 온도가 벤토나이트 완충재의 재료적, 구조적 그리고 광물학적 안전성에 미치는 영향은 크지 않는 것으로 분석되었다. 완충재 최고온도 제한은 심층처분장 단위면적에 처분할 수 있는 폐기물의 양을 제한하여 처분효율을 결정하며, 나아가 처분부지의 확보 가능성에까지 영향을 미치는 중요한 설계 인자이다. 따라서 고온이 완충재의 성능에 미치는 영향을 규명함으로써 완충재의 최고온도 제한을 완화하고, 이를 통해 심층처분장의 처분밀도 향상과 처분장 설계의 최적화를 도모할 필요가 있다. 이와 더불어 처분효율을 극대화하기 위해서는 복합소재(흑연, 실리카 등) 및 다중구조(전도층, 절연층 등)의 고기능성 공학적방벽재 개발과 다층처분장(multilayer repository)으로 처분장 레이아웃을 변경하는 방법 등을 병행하여 검토할 필요가 있다. 이는 처분사업의 신뢰성 및 국민 수용성 확보에 큰 기여를 할 수 있을 것으로 판단된다.

• 한국환경생태학회지
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• 제33권4호
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• pp.472-480
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• 2019

도심지 내 미세먼지 저감 식재를 위한 식물 소재 선정 시에는 식물의 흡착 기능에 영향을 미치는 식물의 잎 모양, 질감, 수피의 형태 등 형태적 특성을 종합적으로 고려하여 선정하여야 한다. 그러나 지금까지 식물을 통한 미세먼지 저감에 대한 연구는 식물의 흡착 기능보다 흡수 기능에 대한 연구가, 실외식물보다 실내식물인 관엽식물을 대상으로 한 연구가 주로 진행되어 왔다. 특히, 미세먼지 저감 수종 선정 기준이 구체적이지 않아 미세먼지 저감 식재를 위한 식물 소재 선정 기준에 대한 연구가 필요한 실정이다. 본 연구는 퍼지다기준 의사결정법(Fuzzy MCDM)을 활용하여 미세먼지 저감에 영향을 미치는 8가지 지표 항목에 대한 우선순위를 도출하고 도심 내 미세먼지 저감 식재를 위한 수종 선정 기준을 마련하였다. 이를 위하여 미세먼지 관련 분야 전공자와 미세먼지 관련 연구 경험자들을 대상으로 설문 조사를 실시하였다. 설문 조사 분석 결과, 미세먼지 저감에 영향을 미치는 지표 항목 중 잎 면적과 수종의 종류가 가장 높은 순위를 나타냈다. 그리고 잎 표면의 거칠기, 수고, 성장 속도, 잎의 복잡성, 잎 가장자리 형태, 수피 특징 순서로 우선순위가 높게 나타났다. 잎 표면이 거친 수종을 선정할 경우에는 잎에 털이 있고, 광택이 나며, 왁스층이 있는 수종을 우선적으로 선정하는 것이 좋다. 잎의 형태를 고려할 경우, 단일 잎보다 3종 혹은 2종 잎과 손바닥 형태의 잎을 선정하고, 잎의 가장자리는 밋밋한 모양보다는 톱니 모양의 잎을 선별하여 공기 중의 미세먼지가 잎의 표면에 흡착되는 표면적 비율을 높아지게 할 필요가 있다. 수피의 특성을 고려할 경우에는 피목이나 무늬종보다는 코르크층이 있고 껍질이탈이나 갈라짐이 관찰되거나, 앞으로 관찰될 가능성이 높은 수종을 선정하는 것이 바람직하다. 본 연구는 도심 내 미세먼지 저감을 위한 식재계획 시 식물의 미세먼지 흡착 기능에 영향을 미치는 식물의 형태적 특성을 중심으로 식물 소재 선정 기준에 대한 우선순위를 제시하였다는 것에 의의가 있다. 본 연구에서 도출한 결과는 도심지 내 수목 식재 계획을 위한 수종 선정 시 기초 자료로서 활용될 수 있을 것이다.

• Composites Research
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• 제34권4호
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• pp.241-248
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• 2021

전기자동차 시장이 성장함에 따라 배터리 효율을 증가시키기 위해 차량 경량화 이슈가 대두되고 있다. 이에 전기자동차 배터리 모듈을 보호하는 배터리 모듈 커버를 기존 알루미늄 소재에서 알루미늄 대비 절반 수준의 무게를 가지는 고강도/고내열성 고분자 복합소재로 대체하고자 한다. 또한 복잡한 형상에 대한 제약이 없고, 다품종 소량생산에 유리한 3D 프린팅 기술을 접목하여 기술 변화가 빠른 초기 전기자동차 시장에 대응하고자 한다. 복합소재 역학에 기반하여 압출기를 통해 가공한 단섬유 GF(glass fiber)/PC(polycarbonate) 복합소재 내 유리섬유의 임계길이(critical length)가 453.87 ㎛임을 도출하였고, 사이드 피딩(side feeding) 방식의 가공법을 택함으로써 기존 365.87 ㎛이었던 잔류섬유길이를 향상시킴과 동시에 분산성을 향상시켰다. 이에 30 wt%의 GF가 함유된 GF/PC 복합소재로 인장강도(tensile strength) 135 MPa, 탄성계수(Young's modulus) 7.8 MPa의 최적의 물성을 구현하였다. 또한 3D 프린팅 필라멘트가 상용 필라멘트 규격인 두께 1.75 mm, 표준편차 0.05 mm를 만족하기 위해서 필라멘트 압출 조건(온도, 압출속도)을 최적화하였다. 제작된 필라멘트를 통해 기공률을 최소화하며 강도를 최대화하고, 동시에 생산성 향상을 위해 프린팅 속도를 최대화하는 다중 최적화 문제를 통해 3D 프린팅 공정조건(온도, 프린팅 속도)을 최적화하였고, 이로써 기존 상용화 되어있는 동일 소재 필라멘트 대비 인장강도 11%, 탄성계수 56%가 향상된 결과를 얻었으며, 출력물의 후처리(post-process)를 통해 후처리 전 대비 인장강도 5%, 탄성계수 18%를 추가로 향상시켰다. 끝으로 유한요소해석(finite element analysis, FEA) 기법을 활용하여 전기자동차 배터리 모듈 커버의 시험 규격(ISO-12405)의 Mechanical Shock test의 기준을 만족하도록 배터리 모듈 커버의 구조를 최적화하였고, 이로써 배터리 커버 시험규격을 만족하면서 동시에 알루미늄을 사용했을 때 대비 37%의 경량화를 달성하였다. 해당 연구 결과 및 연구 방법을 활용하여 향후 다양한 분야에 고분자 복합소재 3D 프린팅 기술이 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

• Journal of Chest Surgery
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• 제38권5호
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• pp.349-356
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• 2005

배경: 관상동맥우회술에서 사용된 동맥 도관은 정맥 도관보다 우수한 장기 개존율을 보이며, 그에 따른 향상된 단기 및 장기 임상성적이 보고되어 있다. 또한, 심폐체외순환기를 사용하지 않고 시행하는 관상동맥우회술(Off pump coronary artery bypass grafting; Off pump CABG) 역시 기존의 심폐체외순환기를 사용하는 관상동맥우회술에 비해 좋은 수술성적이 보고되고 있다. 따라서 동맥 도관만을 이용한 Off pump CABG를 시행하면 보다 좋은 결과를 얻을 수 있을 것으로 생각하여, 저자들은 동맥 도관만을 이용하여 Off pump CABG을 시행한 환자들의 임상 결과를 분석하였다. 대상 및 방법: 2001년 1월부터 2004년 10월까지 Off pump CABG을 시행 받았던 630명의 환자 중 동맥 도관만을 사용하였던 325명을 대상으로 하였다. 대상 환자들의 수술 전 위험요인, 관상동맥질환의 정도 및 수술성적에 대해 조사하였다. 환자들의 평균 연령은 $59.3\pm11.9\;(36\~83)$세였고, 평균 좌심실박출계수는 $55.4\pm14.0\%\;(15\~86\%)$였다. 대상 환자의 $81.9\%$에서 삼혈관 질환, 또는 좌주관상동맥 질환을 보였다. 동맥을 사용하는 적응증은 좌전하행지는 협착이 $50\%$ 이상, 회선동맥 분지는 $80\%$ 이상, 우관상동맥은 $90\%$ 이상인 경우로 하였다. 수술 후 $7\~10$일에 총 194명의 환자에서 multi-slice 컴퓨터 단층촬영을 시행하여 동맥 이식편의 개존율을 조사하였다. 결과: 이용된 동맥 도관은 좌내흉동맥 322예($99.1\%$), 요골동맥 297예($91.4\%$), 우내흉동맥 157예($48.3\%$), 그리고 우위대망동맥 12예($3.7\%$)였다. 환자당 평균 $2.46\pm0.56$개의 동맥을 획득하여, 좌전하행지 329곳, 대각지 123곳, 변연둔각지 285곳, 그리고 우관상동맥 191곳 등 총 928곳에 문합하여, 환자당 평균 $2.86\pm0.78$개의 문합률을 보였다. 수술 후 사망은 1예($0.3\%$)였다. 수술 후 뇌경색은 없었으며 주요 합병증으로는 종격동염 6예($1.8\%$), 신부전증 4예($1.2\%$), 심근경색이 3예($0.9\%$), 그리고 출혈로 인한 재수술이 3예($0.9\%$) 있었다. 총 혈관 개존율은 $99.3\%$ (581/585)였고, 좌내흉동맥, 요골동맥, 우내흉동맥 및 우위대망동맥의 개존율은 각각 $100\%$(207/207), $99.2\%$(238/240), $98.5\%$(133/135) 및 $100\%$ (313)였다. 각각 두 개의 요골동맥과 우내흉동맥에서 부분협착이나 경쟁혈류가 관찰되었다. 결론: 동맥 도관만을 이용한 Off pump CABG를 시행하여 감염의 위험성을 증가시키지 않으면서 영구적인 신경학적 합병증을 일으키지 않았고 좋은 혈관 개존율을 보여주었다. 따라서 동맥 도관을 이용한 Off pump CABG는 관상동맥의 협착의 정도에 따라 효율적으로 시행 시 좋은 임상결과를 얻을 수 있을 것으로 생각된다.

• Journal of Chest Surgery
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• 제41권2호
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• pp.210-215
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• 2008

배경: 약물방출스텐트에 의한 재협착감소효과와 병행약물치료의 발달은 좌주간지병변에 대한 스텐트 시술의 증가를 가져오고 있다. 본 연구는 좌주간지병변에 대한 관상동맥우회수술과 약물방출스텐트 시술의 1년 임상성적을 비교하였다. 대상 및 방법: 본원에서 좌주간지병변으로 관상동맥우회수술이나 약물방출스텐트 삽입술을 받은 환자를 우회수술군과 스텐트군으로 나누어 이들 군의 수술 전 관상동맥질환 및 중증도, 입원기간, 원내 사망, 1년간 누적 사망 및 심근경색발생, 재관류술 시행비율 등을 비교 조사하였다. 결과: 101명의 관상동맥우회수술을 받은 환자(수술군)와 78명의 스텐트 시술을 받은 환자(스텐트군)가 분석대상이었다. 양군 환자의 연령, 성별, 위험인자, 좌심실 구혈률, 급성관 상동맥증후군의 비율에 있어서 차이가 없었다. 수술 군의 Euroscore가 $26.0{\pm}20.4$로 스텐트 군에 비해 높아 더 위험군이었으며(vs $6.38{\pm}10.31$, p<0.001), 긴급성도 37.6%로 더 많았으며(vs 10.3%, p<0.001) 입원기간도 16.1일로서 더 길었다(vs 7.9일, p=0.001). 좌주간지 이외 다혈관질환을 가지고 있는 경우도 수술군이 많았다(92.1% vs 37.2%, p<0.001). 원내 사망률과 1년 누적사망율에 있어서 차이가 없었다(3.0% vs 2.6%; 5.2% vs 6.6%, p=0.73). Euroscore로 matching한 41명의 수술환자와 78명의 스텐트환자를 선별하여 분석하였을 때 Euroscore (9.1 vs 6.4, p=0.104) 연령, 성별, 위험인자, 급성 관상동맥증후군의 비율의 차이는 없었다. Euroscore matched 분석에서 수술군에서 다혈관질환이 많았으며(87.8% vs 37.2%, p<0.001) 입원기간도 더 길었다(13.3일 vs 7.9일, p=0.02). 원내사망률과 1년 누적사망율은 수술군이 우수한 경향이 있었으나 통계적으로 유의하지는 않았다(0% vs 2.6%, p=0.55; 0% vs 6.6%, p=0.30). Euroscore matched 분석에서 1년 재관류술 비율은 스텐트군과 수술군에서 각각 13.3%와 6.3% (p=0.48), 사망 혹은 심근경색증 발생비율은 10.0%와 0% (p=0.09)였다. 결론: 저위험군 환자의 화주간지병변에 대한 약물방출스텐트 시술은 수술에 비해 입원기간 단축의 효과는 있지만, 추적관찰기간동안 재관류술 시행비율과 1년 누적 사망률이 증가하는 경향을 보이고 있으며, 보다 많은 환자를 대상으로 한 장기적 관찰이 필요하다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.80-81
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• 2012

Recently, one of the critical issues in the etching processes of the nanoscale devices is to achieve ultra-high aspect ratio contact (UHARC) profile without anomalous behaviors such as sidewall bowing, and twisting profile. To achieve this goal, the fluorocarbon plasmas with major advantage of the sidewall passivation have been used commonly with numerous additives to obtain the ideal etch profiles. However, they still suffer from formidable challenges such as tight limits of sidewall bowing and controlling the randomly distorted features in nanoscale etching profile. Furthermore, the absence of the available plasma simulation tools has made it difficult to develop revolutionary technologies to overcome these process limitations, including novel plasma chemistries, and plasma sources. As an effort to address these issues, we performed a fluorocarbon surface kinetic modeling based on the experimental plasma diagnostic data for silicon dioxide etching process under inductively coupled C4F6/Ar/O2 plasmas. For this work, the SiO2 etch rates were investigated with bulk plasma diagnostics tools such as Langmuir probe, cutoff probe and Quadruple Mass Spectrometer (QMS). The surface chemistries of the etched samples were measured by X-ray Photoelectron Spectrometer. To measure plasma parameters, the self-cleaned RF Langmuir probe was used for polymer deposition environment on the probe tip and double-checked by the cutoff probe which was known to be a precise plasma diagnostic tool for the electron density measurement. In addition, neutral and ion fluxes from bulk plasma were monitored with appearance methods using QMS signal. Based on these experimental data, we proposed a phenomenological, and realistic two-layer surface reaction model of SiO2 etch process under the overlying polymer passivation layer, considering material balance of deposition and etching through steady-state fluorocarbon layer. The predicted surface reaction modeling results showed good agreement with the experimental data. With the above studies of plasma surface reaction, we have developed a 3D topography simulator using the multi-layer level set algorithm and new memory saving technique, which is suitable in 3D UHARC etch simulation. Ballistic transports of neutral and ion species inside feature profile was considered by deterministic and Monte Carlo methods, respectively. In case of ultra-high aspect ratio contact hole etching, it is already well-known that the huge computational burden is required for realistic consideration of these ballistic transports. To address this issue, the related computational codes were efficiently parallelized for GPU (Graphic Processing Unit) computing, so that the total computation time could be improved more than few hundred times compared to the serial version. Finally, the 3D topography simulator was integrated with ballistic transport module and etch reaction model. Realistic etch-profile simulations with consideration of the sidewall polymer passivation layer were demonstrated.

• 지역사회간호학회지
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• 제9권2호
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• pp.502-517
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• 1998

This research intends to survey family environment, health behavior and health status of the students in urban-rural elementary schools and analyze those factors comparatively, and use the result as basic material for school health teacher to teach health education in connection with family and regional areas. It also intends to improve a pupil's self-abilitiy in health care. The subjects involve 2,774 students of urban elementary schools and 583 student in rural ones, who were selected by means of a multi -stage probability sampling. Using the questionnaire and school documents, we collected data on family environment, health behavior and health status for 19 days. Feb. 2nd 1998 through Feb. 20th 1998. The R -form of Family Environment Scale (Moos, 1974) was used in the analysis of family environment(Cronbach's Alpha =0.80). Questionnaires of Health Behavior in School-aged children used by the WHO in Europe(Aaro et al., 1986) and the ones developed by the Health Promotion Committee of the Western Pacific(WHO, 1995)(adapted by long Young-suk and Moon Young-hee(1996)) were used in the analysis of health behavior, as well documents on absences due to sickness, school health room-visits, levels of physical strength, height, weight and degree of obesity were used to determine health status. In next step, We used them with an $X^2$-test, t-test, Odds Ratio, and a 95% Confidence Interval. 1. In two dimensions of three, family-relationship (t=3.41, p=0.001) and system -maintenances(t= 2.41, p=0.0l6) the mean score of urban children were significantly higher than those of rural ones. In the personal development dimension however, there was little significant difference. Assorting family environment into 10 sub-fields and analyzing them, we recognized that urban children were superior to rural children in the sub-fields of expressiveness (t =3.47, p=0.001), conflict (t=0.48, p=0.001), active-recreational orientation (t = 1.97, p=0.049) and organization (t=4.33, p=0.000). 2. Referring to the Odds Ratios of urban-rural children's health behaviors, urban children set up more desirable behavior than rural children wear ing safety belts (Odds Ratio =0.32, p=0.000), washing hands after meals(Odds Ratio = 0.43, p= 0.000), washing hands after excreting (Odds Ratio = 0.39, p=O.OOO), washing hands after coming - home ( Odds Ratio = 0.75, p = 0.003), brushing teeth before sleeping(Odds Ratio =0.45, p=0.000), brushing teeth more than once a day (Odds Ratio =0.73, p=0.0l2), drinking boiled water (Odds Ratio = 0.49, p=0.000), collecting garbage at home(Odds Ratio=0.31, p=0.000) and in the school(Odds Ratio =0. 67, p=0.000). All these led to significant differences. As to taking milk(Odds Ratio = 1.50, p=0.000), taking care of eyesight(Odds Ratio=1.41, p=0.001) and getting physical exercise in(Odds Ratio = 1.33, p=0.0l9) and outside the school(Odds Ratio = 1.32, p=0.005), rural children had more desirable behavior which also revealed a significant difference. There was little significant difference in smoking, but the smoking rate of rural children(5.5%) was larger than that of urban children(3.9%). 3. Health status was analyzed in terms of absences, school health room-visits, levels of physical strength, and the degree of obesity, height and weight. Considering Odds Ratios of the health status of urban-rural children, the health status of rural children was significantly better than that of the urban ones in the level of physical strength(t=1.51, p=0.000) and the degree of obesity(t=1.84, p=0.000). The mean height of urban children ($150.4{\pm}7.5cm$) is taller than that of their counterparts($149.5{\pm}7.9$), which revealed a significant difference (t =2.47, p=0.0l4). The mean weight of urban children($42.9{\pm}8.6kg$) is larger than that of their counterparts($41.8{\pm}9.0kg$), which was also a significant difference(t=2.81, p=0.005). Considering the results above, we can recognize that there are significant differences in family environment, health behavior, and health status in urban-rural children. These results also suggestion ideas for health education. What we would suggest for the health program of elementary schools is that school health teachers should play an active role in promoting the need and importance of health education, develop the appropriate programs which correspond to the regional characteristics, and incorporate them into schools to improve children's ability to manage their own health management.