• Title/Summary/Keyword: mim

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$La_2O_3/HfO_2$ 나노 층상구조를 이용한 MIM capacitor의 특성 향상

  • O, Il-Gwon;Kim, Min-Gyu;Park, Ju-Sang;Kim, Hyeong-Jun
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.82.1-82.1
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    • 2012

  • 란타늄 산화물 ($La_2O_3$) 박막은 하프늄 산화물 ($HfO_2$) 박막보다 높은 유전 상수와 높은 밴드 오프셋으로 인해 dynamic random access memory(DRAM)에서 유전체 재료로써 연구되어 왔다. 그리고 Lanthanum이 도핑된 HfO2이 더 높은 유전 상수와 낮은 누설 전류 밀도를 갖는 다는 사실이 이전에 보고 된 바 있다. 본 연구에서 우리는 ALD를 이용하여, TiN 하부 전극 위에 $La_2O_3$의 위치를 달리하는 $La_2O_3/HfO_2$의 나노 층상조직 구조(두께 10 nm)를 금속 - 절연체 - 금속 (MIM) 구조로 제작 하였다. ALD는 좋은 comformality와 넓은 지역 균일성을 가지며, 원자수준의 두께를 조절할 수 있다는 장점을 갖고 있다. 또한, 다양한 화학 물질들을 이용한 복합적 계층구조를 만들 수 있는 점과 $HfO_2$ 및 $La_2O_3$ 계층의 수직 위치를 정확하게 조절할 수 있는 점으로 본 연구에 적합한 증착 방법이다. HfO2 속에 $La_2O_3$ 층을 깊이에 따라 삽입함으로써 $HfO_2$ 계층에 La 도핑의 효과와 더불어 TiN 하부 전극 위의 $La_2O_3$과 $HfO_2$의 차이점을 확인 하였다. $HfO_2$은 $250^{\circ}C$에서 TDMAH와 물을 사용하여, $La_2O_3$은 동일한 온도에서 $La(iPrCp)_3$와 물을 사용하여 제작되었다. 화학적 구성 및 binding 구조는 X선 광전자 분광법 (XPS)을 통해 분석하였다. 전기적 특성(유전 상수 및 누설 전류)은 Capacitance-Voltage (CV)와 Current-Voltage (IV) 측정으로 확인하였다. 결과적으로, $La_2O_3$ 또는 $HfO_2$을 한 종류만 사용한 절연층의 전기적 특성보다, $La_2O_3/HfO_2$의 나노 층상조직 구조가 더 나은 특성 (누설 전류 밀도 : $5.5{\times}10^{-7}\;A/cm^2$ @-1MV/cm, EOT : 14.6)을 갖는다는 것을 확인했고, 더불어 $La_2O_3$의 흡습 성질로 인한 화학 구조와 전기적 특성의 일부 차이를 확인하였다. 본 연구에서는 $HfO_2$ 속에 $La_2O_3$층이 TiN 하부 전극 바로 위에 위치할 때, 즉, 공기 중에 노출되지 않은 $La_2O_3/HfO_2$ 구조에서 가장 좋은 특성의 MIM capacitor를 얻을 수 있었다.

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A Basic Study on Non-aqueous Electrolysis of Neodymium for Room-temperature Metallurgy (상온제련을 위한 네오디뮴의 비수계 전해 기초연구)

  • Park, Jesik;Lee, Churl Kyoung
    • Resources Recycling
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    • v.27 no.4
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    • pp.29-35
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    • 2018

  • In this study, the electrochemical redox behavior of neodymium in non-aqueous electrolytes was investigated to confirm the possibility of neodymium metallurgy at room temperature. The non-aqueous electrolytes include ionic liquids such as $[C_4mim]PF_6$, $[C_4mim]Cl$, and $[P_{66614}]PF_6$, ethanol which are highly soluble in neodymium salts, and mixed electrolytes based on carbonate with highly electrochemical stability. The electrochemical redox properties of neodymium were better than those of other electrolytes in the case of the mixed electrolyte based on ethylene carbonate (EC)/di-ethylene carbonate (DEC). Ethanol was added to improve the physical properties of the mixed electrolyte. Thorough the analysis about ionic conductivity of EC/DEC ratio, ethanol content and $NdCl_3$ concentration, the best electrolyte composition was 50 vol% content of ethanol and 0.5 M of $NdCl_3$. Using cyclic voltametry and linear sweep voltametry, a current peak estimated at -3.8 V (vs. Pt-QRE) was observed as a limiting current of neodymium reduction. Potentiostatic electrolysis for 18 hours at room temperature at -6 V (vs. Pt-QRE) confirmed that metallic neodymium was electrodeposited.

  • https://doi.org/10.7844/kirr.2018.27.4.29 인용 PDF KSCI

Selective Recovery of Platinum Group Metals by Solvent Extraction and Electrolysis in Non-aqueous Solution Based on Ionic Liquids (이온성액체 기반 비수계 용액에서 용매추출과 전해에 의한 백금족 금속의 분리회수)

  • Park, Gwang-won;Park, Jesik;Lee, Churl Kyoung
    • Resources Recycling
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    • v.28 no.2
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    • pp.46-53
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    • 2019

  • In this study, the extraction and reduction behavior of platinum group metals in a non-aqueous solvent based on ionic liquids was investigated in order to confirm a new extraction technology of platinum group metals. Platinum was selectively extracted using an ionic liquid $[C_4mim]PF_6$ from a mixed solution of $PdCl_2$, $PtCl_4$ and $RhCl_3$ dissolved with concentration ratio of 10:1:0.5 M. After stripping of the metals by 1 M $HNO_3$ solution, the platinum was preferentially reduced by aqueous electrolysis on gold electrode at -0.8 V (vs. Pt-QRE). The residual palladium and rhodium were transferred to ionic liquid of $[C_4mim]Cl$. The metallic palladium and rhodium could be sequentially reduced on gold and STS304 as working electrodes by non-aqueous electrolysis, respectively.

  • https://doi.org/10.7844/kirr.2019.28.2.46 인용 PDF KSCI HTML

FUZZY CONVERGENCE

  • Kang, Su-Jeong;Mim, Kyung-Chan
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 1996.10a
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    • pp.62-65
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    • 1996

  • In this paper, we introduce two fuzzy convergence structures, fuzzy convergence and fuzzy limiterung, and obtain a relationship between them. We also consider relationships between fuzzy limit space and pseudotopological convergence space.

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