Fabrication of 3-dimensionally Interconnected Porous SiC and SiCN for High Temperature Micro-reactor via Soft Lithography (Soft Lithography법을 이용한 고온 반응기용 3차원 구조의 다공성 SiC와 SiCN의 제조)
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- Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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- 2003.10a
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- pp.155.1-155
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- 2003