Implementation of a Low Actuation Voltage SPDT MEMS RF Switch Applied PZT Cantilever Actuator and Micro Seesaw Structure (PZT 캔틸레버 구동기와 마이크로 시소구조를 적용한 저전압 SPDT MEMS RF 스위치 구현)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 2005.11a
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- pp.147-150
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- 2005