MTS를 사용한 LPCVD 법에 의한 (100)Si 위의 $\beta$ -SiC 증착 및 계면특성
(Interfacial Characteristics of $\beta$ -SiC Film Growth on (100) Si by LPCVD Using MTS)
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- 한국세라믹학회지
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- 제34권8호
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- pp.825-833
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- 1997