Characteristics of ferroelectric $YMnO_3$ thin film with low dielectric constant for NDRO FRAM
(비파괴 판독형 메모리 소자를 위한 저유전율 강유전체 $YMnO_3$ 박막의 특성 연구)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.9 no.3
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- pp.258-262
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- 2000