ITO thin film is generally fabricated by various methods such as spray, CVD, evaporation, electron gun deposition, direct current electroplating, high frequency sputtering, and reactive DC sputtering. However, some problems such as peaks, bumps, large particles, and pin-holes on the surface of ITO thin film were reported, which caused the destruction of color quality, the reduction of device life time, and short-circuit. Chemical mechanical polishing (CMP) process is one of the suitable solutions which could solve the problems.
Silica powders with spherical shape and narrow size distribution were prepared by large-scale ultrasonic spray pyrolysis applying the droplet classification apparatus. On the other hand, silica powders prepared by large-scale ultrasonic spray pyrolysis without droplet classification apparatus had broad size distribution. Droplet classification apparatus used in this paper applied the principles of cyclone and dispersion plate with small holes. The droplets formed from the ultrasonic spray generator applying the droplet classification apparatus had narrow size distribution. The droplets with fine and large sizes were eliminated by droplet classification apparatus. The optimum flow rate of the carrier gas and diameter of the hole of the dispersion plate were studied to reduce the size distribution of the silica powders prepared by large-scale ultrasonic spray pyrolysis. The size distribution of the silica powders prepared by large-scale ultrasonic spray pyrolysis at the optimum preparation conditions was 0.76.
As the aged population grows around the world, many medical instruments and devices have been developed recently. Among the devices, a drug delivery stent is a medical device which requires precision machining. Conventional drug delivery stent has problems of residual polymer and decoating because the drug is coated on the surface of stent with the polymer. If the drug is impregnated in micro hole array on the surface of the stent, the problem can be solved. Micro sized holes are generally fabricated by laser machining; however, the fabricated holes do not have an enough aspect ratio to contain the drug or a good surface finish to deliver it to blood vessel tissue. To overcome these problems, we propose a vibration-assisted machining mechanism with PZT (Piezoelectric Transducers) for the fabrication of micro sized holes. If the mechanism vibrates the eyepiece of the laser machining head, the laser spot on the workpiece will vibrate vertically because objective lens in the eyepiece shakes by the mechanism's vibration. According to the former researches, the vibrating frequency over 20kHz and amplitude over 500nm are preferable. The vibration mechanism has cylindrical guide, hollowed PZT and supports. In the cylinder, the eyepiece is mounted. The cylindrical guide has upper and low plates and side wall. The shape of plates and side wall are designed to have high resonating frequency and large amplitude of motion. The PZT also is selected to have high actuating force and high speed of motion. The support has symmetrical and rigid characteristics.
Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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v.12
no.6
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pp.60-65
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2004
Numerical simulations and experiments have been carried out to investigate the effect of fuel injection nozzles on the combustion and NOx formation processes in a medium-speed marine diesel engine. Spray visualization experiment was performed in the constant-volume high-pressure chamber to verify the numerical results on the spray characteristics such as spray angle and spray tip penetration. Time-resolved spray behaviors were captured by high-speed digital camera and analyzed to extract the information on the spray parameters. Spray and combustion phenomena were examined numerically using FIRE code. Wave breakup and Zeldovich models were adopted to describe the atomization characteristics and NOx formation processes. Numerical results were verified with experimental data such as cylinder pressure, heat release rate and NOx emission. Finally, the effects of fuel injection nozzles on the engine performance were investigated numerically to find the optimum nozzle parameters such as fuel injection angle, nozzle hole diameter and number of nozzle holes. From this study, the optimum fuel injection nozzle (nozzle hole diameter, 0.32 mm, number of nozzle holes, 8 and fuel injection angle, $148^{\circ}$) was selected to reduce both the fuel consumption and NOx emission. The reason for this selection could be explained from the highest fuel-air mixing in the early phase of injection due to the longest spray tip penetration and the highest heat release rate after $19^{\circ}$ ATDC due to the increased injection duration.
There exist scaling relations that link the mass of supermassive black holes with both the velocity dispersion and the mass of the central stellar cusp of their host galaxies. This implies that galaxies co-evolve with their central black holes, potentially through the feedback from actively accreting supermassive black holes (AGN). We use integral field spectroscopy data from the 8.2m Gemini-North telescope to investigate ionized gas outflows in luminous local (z<0.1) Type 2 AGN. Our sample of 6 galaxies was selected based on their [OIII] dust-corrected luminosity (>$10^{42}erg/s$) and signatures of outflows in the [OIII] line profile of their SDSS spectra. These are arguably the best candidates to explore AGN feedback in action since they are < 1% of a large local type 2 AGN SDSS sample selected based on their [OIII] kinematics. Expanding on previously reported results concerning the kinematic decomposition and size determination of these outflows, here we report their photoionization properties and energetics. We find strong evidence that connect the extreme kinematics of the ionized gas with AGN photoionization. The kinematic component related to the AGN-driven outflow is clearly separated from other kinematic components, such as gravitation- or stellar-driven motions, on the velocity and velocity dispersion diagram. Our spatially resolved kinematic analysis reveals that up to 90% of the mass and kinetic energy of the outflow is contained within the central kiloparcec of the galaxy. The total mass and kinetic energy of the outflow correlate well with the AGN bolometric luminosity, resulting in energy conversion efficiencies between 0.01% and 1%. Intriguingly, we detect ubiquitous signs of ongoing circumnuclear star formation. Their small size, the centrally contained mass and energy, and the universally detected circumnuclear star formation cast doubts on the potency of these AGN-driven outflows as agents of negative feedback.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.1
no.1
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pp.40-49
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2001
We have developed a repeatable process of forming uniform, small-size and high-density self-assembled Si nano-crystals. The Si nano-crystals were fabricated in a conventional LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) reactor at $620^{\circ}c$ for 15 sec. The nano-crystals were spherical shaped with about 4.5 nm in diameter and density of $5{\times}l0^{11}/$\textrm{cm}^2$. More uniform dots were fabricated on nitride film than on oxide film. To take advantage of the above-mentioned characteristics of nitride film while keeping the high interface quality between the tunneling dielectrics and the Si substrate, nitride-oxide tunneling dielectrics is proposed in n-channel device. For the first time, the single electron effect at room temperature, which shows a saturation of threshold voltage in a range of gate voltages with a periodicity of ${\Delta}V_{GS}\;{\approx}\;1.7{\;}V$, corresponding to single and multiple electron storage is reported. The feasibility of p-channel nano-crystal memory with thin oxide in direct tunneling regime is demonstrated. The programming mechanisms of p-channel nano-crystal memory were investigated by charge separation technique. For small gate programming voltage, hole tunneling component from inversion layer is dominant. However, valence band electron tunneling component from the valence band in the nano-crystal becomes dominant for large gate voltage. Finally, the comparison of retention between programmed holes and electrons shows that holes have longer retention time.
If the surfaces of vesicles are chemically modified so that they can be dispersed in organic solvents, the application of vesicular colloids may be expanded. A polymerizable surfactant (BDAC) and nonpolymerizable bipolar surfactant (BPAS) were synthesized in multi-steps. Large vesicles composed of BDAC and BPAS with embedded a cross-linking agent (divinylbenzene) underwent a radical polymerization. BPAS was extracted out using methanol (skeletonization). The headgroup of BDAC was cleaved off via hydrolysis in an acidic condition to yield vesicles where surfaces were covered with -COOH groups. There was no significant change in the overall shape. The skeletonized vesicles appear to have many holes with diameters up to about 25 nm. The holes retained even after hydrolysis. The hydrolyzed vesicles were not dispersed in water and most organic solvents such as tetrahydrofuran and chloroform, but dispersed in methanol.
The aim of this work is to provide some insights into the elasto-plastic behaviour of plate girder web square and rectangular panels with centred and eccentric holes under both compression and in-plane bending moment. The numerical study was validated comparing the numerical results obtained for one simple steel plate configuration with the corresponding experimental results, obtained at the University of Padova, observing the influence of the initial out-of-plane imperfections on the force vs. displacement relationship and ultimate strength. Once validated the numerical approach, the effect of bending moment on the stability of the plate is studied and some differences with respect to the uniform compression load case are shown. The influence of dimension and position of the hole, the plate aspect ratio and the steel grade on elasto-plastic behaviour is observed. Some indications regarding the critical slenderness (at which transition from elastic to plastic collapse occurs) are given for square and rectangular plates with symmetric and eccentric holes having small, medium and large diameter.
A novel wet release process ($\mu$ CARP - Micro Channel Assisted Release Process) for releasing an extreme large-area plate structure without etching hole is proposed and experimented. Etching holes in conventional process reduce a effective area and degrade an optical characteristics by a diffraction. In addition, as the area of a released structure increases, the stietion becomes more serious. The proposed process resolves these problems by the introduction of a micro fluidic channel beneath the structure which will be released. In this paper, a 5 mm${\times}$5mm-single crystal silicon plate structure was released by the proposed $\mu$CARP without etch holes on the structure. The variation in etching time with respect to the of the introduced micro channel is also examined. This process is expected to be beneficial for the actuator of a nano-scale data storage and the scanning mirror.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.23
no.9
s.186
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pp.47-53
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2006
An Experiment was carried out to find the scheme far minimization of burr formation on inclined exit surface in drilling. Several drills with different geometry are used for drilling the workpiece with inclined exit surface. Step drills are specified with step angle and step size. The influence of the inclination angle of exit surface on burr formation was observed, which enables to analyze the burr formation mechanism on inclined exit surface. Along the edge on the inclined exit surface, burrs are formed by the bending deflection to feed direction and also burrs are formed in exit direction of cutting edge. To minimize the burr formed in feed direction, the corner angle which is formed by the inclination angle and step angle must be large enough not to be bent to burr. By decreasing step angle of drill and decreasing the distance between two axes of two holes, burr formation at the intersecting holes can be minimized. Burr formation mechanisms are analyzed according to the drill geometries and cutting conditions. Several schemes far burr minimization on inclined exit surface were proposed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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