Electrolyte/$Si_3N_4/SiO_2/Si$ 구조의 LAPS 제작 및 pH 응답특성
(Fabrication and pH response characteristics of LAPS(Light addressable potentiometric sensor) with electrolyte/$Si_3N_4/SiO_2$ /Si structure)
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- 전기화학회지
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- 제1권1호
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- pp.40-44
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- 1998