Co/Ti 이중막 실리사이드 접촉을 갖는 p$^{+}$ -n 극저접합의 형성
(Formation of p$^{+}$ -n ultra shallow junction with Co/Ti bilayer silicide contact)
-
- 전자공학회논문지D
- /
- 제35D권5호
- /
- pp.87-92
- /
- 1998