Magnetic random access memory (MRAM), based on magnetic tunnel junction (MTJ) and CMOS, is a prominent candidate among prospective semiconductor memories because it can provide nonvolatility, fast access time, unlimited read/write endurance, low operating voltage and high storage density. The etching of MTJ stack with good properties is one of a key process for the realization of high density MRAM. In order to achieve high quality MTJ stack, the use of CoFeB and IrMn magnetic films as free layers was proposed. In this study, inductively coupled plasma reactive ion etching of CoFeB and IrMn thin films masked with Ti hard mask was investigated in a $Cl_2$/Ar gas mix. The etch rate of CoFeB and IrMn films were examined on varying $Cl_2$ gas concentration. As the $Cl_2$ gas increased, the etch rate monotonously decreased. The effective of etch parameters including coil rf power, dc-bais voltage, and gas pressure on the etch profile of CoFeB and IrMn thin film was explored, At high coil rf power, high dc-bais voltage, low gas pressure, the etching of CoFeB and IrMn displayed better etch profiles. Finally, the clean and vertical etch sidewall of CoFeB and IrMn free layers can be achieved by means of thin Ti hard mask in a $Cl_2$/Ar plasma at the optimized condition.
A novel internal-type linear inductive antenna, which we refer to as a double comb-type antenna, was developed for a large-area plasma source with substrate size of $880\;mm{\times}660\;mm$ ($4^{th}$ generation glass size). In this study, effect of plasma confinement by applying multi-polar magnetic field was investigated. High density plasmas of the order of $3.18{\times}10^{11}\;cm^{-3}$ could be obtained with a pressure of 15 mTorr Ar at an inductive power of 5000 W with good plasma stability. This plasma density is higher than that obtained for the conventional double comb-type antenna, possibly due to the plasma confinement, low rf voltage, resulting in high power transfer efficiency. Also, due to the remarkable reduction in the antenna rf voltage and length, a plasma uniformity of less than 3% could be obtained within a substrate area of $880\;mm{\times}660\;mm$ as rf power increased.
This study aims to inactivate Artemia sp. (Zooplankton) in ballast water through the dielectric barrier discharge (DBD) plasma process. The DBD plasma process has the advantage of enabling direct electric discharge in water and utilizing chemically active species generated by the plasma reaction. The experimental conditions for plasma reaction are as follows; high voltage of 9-22 kV, plasma reaction time of 15-600 s, and air flow rate of 0.5-5.5 L/min. The results showed that the optimal experimental conditions for Artemia sp inactivation were 16 kV, 60 s, 2.5 L/min, respectively. The concentrations of total residual oxidants and ozone generated by plasma reaction increased with an increase of in voltage and reaction time, and the concentration of generated air did not increase above a certain amount.
To generate negative ion, a small dielectric barrier discharge (DBD) plasma reactor was used in this study and operated by high AC voltage. With increasing of voltage, we can get more negative ions. However unfortunately, if the input voltage is too high, it will also cause formation of ozone which is very harmful to human being health. So the work of finding out the best condition of Voltage and frequency was carried out firstly. After several times of measurement, operating at 20 kHz frequency is the best condition generating high ion concentration without ozone. For the purpose of finding out the best reactor structure, two types of surface dielectric barrier discharge (DBD) reactors were examined to produce negative oxygen ions at the conditions of 20 kHz frequency. The results indicated that the surface DBD reactor with several small tips showed better characteristics for generation of negative oxygen ions at the same condition.
High voltage AC electric field has been applied to turbulent propane jets to investigate the effect of electric field on liftoff characteristics. Liftoff velocity and liftoff height have been measured by varying the applied voltage and frequency. Liftoff velocities were delayed and liftoff heights were reduced by applying AC, not by DC. The electric effect became disappeared with further increasing jet velocities, which shows that the effect can be explained by the balance between inertia force and electric force. The flame stabilization effect was intensified as either applied voltage or frequency increased. Plasma streamers were generated between the flame and the jet under high voltage conditions. Liftoff velocity in the absence of plasma can be well correlated by the function of voltage and frequency.
Lee Woo-Jin;Kim Chong-Eun;Han Sang-Kyoo;Moon Gun-Woo
Journal of Power Electronics
/
제6권1호
/
pp.45-51
/
2006
A new high efficiency phase shifted full bridge (PSFB) converter for the power sustaining module of a plasma display panel (PDP) is proposed in this paper. The proposed converter employs a voltage doubler rectifier without an output inductor. Since it has no output inductor, the voltage stresses of the secondary rectifier diodes can be clamped at the output voltage level. No dissipative resistor-capacitor (RC) snubber for rectifier diodes is needed. Therefore, high efficiency, as well as, a low noise output voltage can be realized. Due to the elimination of the large output inductor, it features a simple structure, lower cost, smaller mass and lighter weight. Furthermore, the proposed converter has wide zero voltage switching (ZVS) ranges with low current stresses of the primary switches. Also the resonance between the leakage inductor of the transformer and the capacitor of the voltage doubler cell reduces the current stresses of the rectifier diodes. In this paper, operational principles, an analysis of the proposed converter and experimental results are presented.
Chun, Hui-Gon;Lee, Jing-Hyuk;You, Yong-Zoo;Ko, Yong-Duek;Cho, Tong-Yul;Nikolay S. Sochugov
한국표면공학회지
/
제36권2호
/
pp.148-154
/
2003
Short ($\tau$=40 $mutextrm{s}$) and high-voltage ($U_{sub}$=2~8 kV) negative substrate bias pulses were used to assist pulsed magnetron sputtering DLC films deposition. Space- and time-resolved probe measurements of the plasma characteristics have been performed. It was shown that in case of high-voltage substrate bias spatial non-uniformity of the magnetron discharge plasma density greatly affected DLC deposition process. By Raman spectroscopy it was found that maximum percentage of s $p^3$-bonded carbon atoms (40 ~ 50%) in the coating was attained at energy $E_{c}$ ~700 eV per deposited carbon atom. Despite rather low diamond-like phase content these coatings are characterized by good adhesion due to ion mixing promoted by high acceleration voltage. Short duration of the bias pulses is also important to prevent electric breakdowns of insulating DLC film during its growth.wth.
Experimental analysis according to the plasma actuator design variables was performed in order to verify the effects of sliding discharge plasma on aerodynamic drag reduction of a high-speed train. For the study, sliding discharge plasma actuator and high-frequency, high-voltage power supply were developed and experimented to figure out the best design variables for highest ionic wind velocity which could reduce the drag force. And then, 5% reduced-scale model of a high-speed train was built for wind tunnel test to verify it. From the results, it was confirmed that sliding discharge plasma had contribution to reduce the drag force and it had the potential to be applied to real-scale trains.
The external electricla characteristics of helicon wave plasmas were measured over a wide range of RF power and magnetic filed. External parameters. such as antenna voltage , current, phase shift, and interanl parameter, electron density were measured at 7MHz, 1mTorr Ar discharge . The equivalent discharge resistance and reactance, and the power transfer efficiency were calculated through these measurements. There are a helicon mode which produces high density plasma by helicon wave and a lowmode which produces low density plasma by capaictive electric field. In case of the helicon mode, the anternna voltage and current were lower than those of the low-mode. The phase difference between voltage and current decreased suddenly at the transition point from the low-mode to the helicon mode. Equivalent resistance and power efficiency increased and reactance decreased suddenly at the transition point. These results mean that the power transperred to plasma and the nutual coupling between the antenna and plasma increase as the mode changes from the low-mode to the helicon mode.
A new high performance energy-recovery circuit (ERC) for a plasma display panel (PDP) is proposed. Two different ERCs are employed on both sides of the PDP, and slow falling and fast rising times are applied. It features a zero voltage switching (ZVS), low electromagnetic interference (EMI), low current stress, high efficiency, no severe voltage notch, reduced sustaining voltage, and high energy-recovery capability.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.