AFM 마이크로 캔틸레버의 상태 공간 방정식 및 유한 요소 진동 해석 비교 (Comparison of vibration analyses on microcantilevers for Atomic Force Microscopy by state-space equations and the finite element method)
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- 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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- 한국소음진동공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.153-154
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- 2013