Comparison of vibration analyses on microcantilevers for Atomic Force Microscopy by state-space equations and the finite element method (AFM 마이크로 캔틸레버의 상태 공간 방정식 및 유한 요소 진동 해석 비교)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2013.04a
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- pp.153-154
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- 2013