A Study on Optimal Ventilation Design for Gas Boxes Installed in Semiconductor Manufacturing Equipment Handling Flammable Liquids (인화성 가스를 취급하는 반도체 제조장비에 설치된 가스박스 최적 환기 설계에 대한 연구)
-
- Journal of the Korean Institute of Gas
- /
- 제27권1호
- /
- pp.63-69
- /
- 2023