실리콘웨이퍼 제조공정에서 발생되는 초산, 불산 및 질산을 함유한 3성분계 폐혼산으로부터 각 산을 분리하여 무기산으로 재활용하기 위하여 용매추출법을 적용하였다. 이러한 산을 선택적으로 분리하기 위해 추출제로 초산의 경우는 EHA(2-Ethylhexlalcohol)를 사용 하였으며 질산과 불산의 경우에는 TBP(Tri -butlyphosphate)를 사용하여 추출과정과 탈거과정에 대한 공정설계를 위한 기초 실험을 실시하였다. 3성분계 페혼산에서 먼저 초산을 추출 분리하고, 추출여액중 질산 및 불산을 순차적으로 연속 분리 할 수 있는 공정개발을 위하여 McCabe-Thiele해석을 통해 최적 투입유량비(O/A), 소요단수(Stage) 등을 결정하였다. 분석 결과 혼산으로부터 초산의 회수율은 90%이상 이었으며 초산추출여액에서 질산의 회수율은 90%이상, 최종 추출잔류액에서 불산의 회수율은 67%이상 이었다.
For more esthetic treatments the use of composite in molar areas are increasing. But polymerzation shrinkage that cause marginal leakage and cuspal deflection has been the problems of composites. The purpose of this study is to compare the effect of low intensity curing and polishing period on marginal leakage. Cavities were prepared on the buccal or lingual surface of forty five sound extracted human teeth and etching, application of bonding agent and filling of composite was done. Group 1 was light cured at intensity of 600$mW/cm^2$ for 41 seconds and polished. Group 2 was light cured at intensity of 300$mW/cm^2$ for 2 seconds and polished and after polishing it was light cured for 40 seconds at 600$mW/cm^2$. Group 3 was light cured at intensity of 300$mW/cm^2$ for 2 seconds and waited for 5 minutes and after curing at 600$mW/cm^2$ for 40 seconds polishing was done. The specimens were thermocycled at $5^{\circ}C$ and $55^{\circ}C$ for 1000 cycles and immersed in 2% methylene blue solution for 24 hours. Composite-tooth interface was examined under stereobinocular microscope for dye penetration. The results were as follows : 1. Group which were cured at low intensity and polished after curing at high intensity showed less marginal leakage than group which were cured at high intensity for 41 seconds(p<0.05). 2. Marginal leakage between group which were cured at low intensity and polished immediately and group which were cured at high intensity for 41 second were not significantly different. Light curing at low intensity can reduce marginal leakage but polishing immediately after curing at low intensity for short time can affect marginal leakage.
The aim of this study was to compare the marginal leakage of class II light curing composite resin restoration according to filling methods. With using acid etching technique and dentin bonding agent, various methods were suggested to eliminate or reduce the marginal leakage. In this study, class II cavities were prepared in 100 extracted human premolars with cementum margin(1mm below the CEJ) and the teeth were randomly assigned to 5 groups of 20 teeth each. The teeth in group 1, 2, 3 and 4 were restored by direct filling methods using P-50 and Clearfil Photoposterior of 10 teeth each, but the method of insertion of the restorative materials varied with each group. And the teeth in group 5 were restored by inlay method using Kulzer Inlay and CR Inlay. Filling methods are as follows : Group 1 : The composite resin was inserted in one layer in the proximal box and one layer in the occlusal portion. Group 2 : Insertion was in two equally thick horizontal layers in the proximal box. Group 3 : Insertion was in two diagonally placed layers in the proximal box. Group 4 : The composite resin was inserted in the same way as in group 3 except that a glass ionomer liner was first placed on the axial wall and gingival floor. Group 5 : The teeth were restored by Inlay technique using dure cure resin cement. All the teeth were thermocycled, stained with 1 % methylene blue solution, sectioned mesiodistally, and scored for marginal leakage. To compare the marginal leakage, ANOVA and T-test were used in analysis. The following results were obtained : 1. In direct filling methods, there was no significant difference in marginal leakage at both occlusal and cervical margins. 2. In all groups, occlusal margin showed significantly less leakage than cervical margin. 3. In group using glass ionomer liner, there was no significant reduction of marginal leakage at the cervical margin. 4. The group restored by inlay method showed significantly less marginal leakage than groups restored by direct filling methods at both occlusal and gingival margins. 5. There was no significant difference in each group according to filling materials.
본 연구에서는 PCB 도금 및 에칭 공정 중 발생한 슬러지의 분석을 통해 건식환원처리가 가능한 슬래그 시스템을 선정하고자 하였으며 이를 바탕으로 슬러지 내에 존재하는 유가금속의 회수 가능성에 대하여 실험적 및 열역학적 검토를 하였다. 슬러지는 $100{\sim}500^{\circ}C$의 온도구간에서 건조한 후 슬러지의 형상과 화학성분 및 상을 분석하였다. 슬러지의 건식환원처리 가능성은 FactSage를 이용한 열역학적 계산을 통해 조사하였다.
Purpose: This study evaluated differences in bone healing and remodeling among 3 implants with different surfaces: sandblasting and large-grit acid etching (SLA; IS-III $Active^{(R)}$), SLA with hydroxyapatite nanocoating (IS-III $Bioactive^{(R)}$), and SLA stored in sodium chloride solution ($SLActive^{(R)}$). Methods: The mandibular second, third, and fourth premolars of 9 dogs were extracted. After 4 weeks, 9 dogs with edentulous alveolar ridges underwent surgical placement of 3 implants bilaterally and were allowed to heal for 2, 4, or 12 weeks. Histologic and histomorphometric analyses were performed on 54 stained slides based on the following parameters: vertical marginal bone loss at the buccal and lingual aspects of the implant (b-MBL and l-MBL, respectively), mineralized bone-to-implant contact (mBIC), osteoid-to-implant contact (OIC), total bone-to-implant contact (tBIC), mineralized bone area fraction occupied (mBAFO), osteoid area fraction occupied (OAFO), and total bone area fraction occupied (tBAFO) in the threads of the region of interest. Two-way analysis of variance (3 types of implant $surface{\times}3$ healing time periods) and additional analyses for simple effects were performed. Results: Statistically significant differences were observed across the implant surfaces for OIC, mBIC, tBIC, OAFO, and tBAFO. Statistically significant differences were observed over time for l-MBL, mBIC, tBIC, mBAFO, and tBAFO. In addition, an interaction effect between the implant surface and the healing time period was observed for mBIC, tBIC, and mBAFO. Conclusions: Our results suggest that implant surface wettability facilitates bone healing dynamics, which could be attributed to the improvement of early osseointegration. In addition, osteoblasts might become more activated with the use of HA-coated surface implants than with hydrophobic surface implants in the remodeling phase.
천마총(황남동 제 155호 고분)에서 출토된 철부(鐵釜)의 제작기법 및 보존처리에 대하여 연구하고자 하였다. 철부의 제작기법을 조사하기 위하여 유물 중 일부를 채취하여 마운팅 후 연마하고, etching을 실시하여 금속조직을 관찰하였고, 비금속개재물부분은 SEM-EDS로 분석을 실시하였다. 금속학적 조직검사와 SEM-EDS분석 결과 철 솥은 백주철 조직이 관찰되었고, 주조 후 상온에서 서서히 건조시킨 것으로 보이며, 취성을 개선하기 위해 별다른 열처리를 시도한 흔적은 보이지 않는다. 몸통 중심부의 폭3cm 두께 1.5cm 전이 확인됨에 따라서 가로식 거푸집을 활용한 이분제작기법을 사용하여 주조한 것으로 추정된다. 이처럼 백주철 조직과 가로식 거푸집을 활용한 제작기법은 비슷한 시기인 식리총과 황남대총에서 출토 된 철 솥에서도 나타나는 것으로, 당시 주조품의 생산기술이 동일하였음을 알 수 있었다. 보존처리는 크게 처리전조사, 이물질제거, 탈염처리, 강화처리, 접합 복원, 색맞춤의 순서로 진행하였으며, 처리과정 중 필요에 따라 세척 및 건조를 실시하였다. 강화처리는 유물의 크기로 인하여 진공함침에 어려움이 있었으므로, 저농도의 Paraloid NAD-10을 2-3차례 붓으로 도포하였고, 보존처리가 완료된 후 15wt.% Paraloid NAD-10용액으로 표면을 재강화하였다. 파손부위의 복원은 섬유강화플라스틱 수지(POLYCOAT FH-245,몰드 적층용)를 사용하여 파손 부위와 유사한 형태의 모형을 만든 후 접합하여 복원하였다. 이번 연구를 통하여 철제유물의 보존처리뿐만 아니라 5-6세기 주조 철솥의 제작기법에 대한 자료를 축적함으로 향후 보다 나은 연구를 위한 발판으로 활용되었으면 한다.
수용액에 포함된 수소이온$(H^+)$의 농도를 측정하는 유리 전극형 수소이용 농도(pH) 센서의 기본 구조를 bulk micromachining 기술로 구현하여 소형의 pH 센서를 제작하였다. 박막 증착이 가능한 경사 식각으로 개방된 2개의 기본 구조물을 형성하고, 일정 전위를 유지하기 위한 기준전극은 식각된 구조물 경사면에 박막형 Ag/AgCl으로 확보하였다. $H^+$과 교환 반응으로 전위를 발생시키는 감응부는 Na이 20%이상 포함된 glass로 $100{\mu}m$ 내외로 미세 연마하여 기본 구조물에 접합하여 완성하였다. 또한 외부 용액과 기준 용액의 혼합을 방지하면서 전류 도통 역할을 하는 액간 접촉부는 $50{\mu}m{\times}50{\mu}m$ 크기의 Si 이방성 식각 부분에 한천을 삽입하고 난 다음 기존의 구조물에 접합하여 형성하였다. 각 구조물을 완성한 다음 2M 농도의 KCI 기준 용액을 구조물에 채우고, 상용 에폭시로 센서 구조물을 밀봉하여 센서를 완성하였다. 제작된 pH 센서들은 표준 pH 용액에 대하여 약 90mV/pH의 전위값이 측정되었다.
묽은 불산용액에서 Si(111) 산화막 (SiOx) 표면을 전기화학적으로 에칭할 때 생성되는 Si(111)-H 표면변화를 전기화학적 주사터널링현미경을 사용하여 조사하였다. pH가 4.7인 0.2M $NH_4F$ 용액에서 순환전압전류곡선은 순환 횟수가 증가할수록 양극 암전류가 감소하였고 두 번 이상 순환한 시료의 암전류는 일정한 형태의 전압전류곡선을 나타냈다. 이때 표면은 모든 SiOx층이 벗겨져 수소말단화된 구조를 가졌으며, 그 이후 순환에서는 생성된 Si(111)-H 표면의 이중 수소결합이 없어지는 step-flow반응이 일어나, 표면이 단일수소결합을 가지는 [112]모서리의 안정한 삼각형 모양을 나타냈으며 또한 생성된 삼각형 흠의 깊이가 점차 깊어졌다. 일정전압법에서는 초기에 큰 양극 암전류 최고 값을 나타낸 후, 시간에 따라 양극 암전류가 감소하였다. 양극 암전류 최고 값 후. 표면의 모든 SiOx가 벗겨졌으며 이후 양극 암전류는 작은 값을 띠면 조금씩 더 낮아졌다. 이 낮아지는 양극 암전류 역시 이중수소 결합의 step-How반응에 안정한 단일수소결합의 [112]모서리 생성에 의해 나타난다. pH 4.7인 0.2M $NH_4F$용액중의 Si(111)-H표면에 +0.4V를 가할 때 진행되는 에칭반응의 메커니즘에 관해서 논하였다.
본 연구에서는 Si/$SiO_2$/Si-sub 구조의 SDB (silicon-direct-bonding) 웨어퍼 상에 형성된 다이아프램(diaphragm)에 제조된 전단응력형 압전저항 특성을 분석하였다. 다이아프램은 MEMS (Microelectromechanical System) 기술을 이용해 형성하였다. TMAH 수용액을 이용해 웨이퍼 후면을 식각하여 형성된 다이아프램 구조는 각종 센서제작에 활용할 수 있다. 본 연구에서는 다이아프램 상에 형성시킨 전단응력형 압전저항의 최적의 형상조건을 ANSYS 시뮬레이션을 통하여 찾고 실제 반도체 미세가공기술을 이용해 다이아프램 구조를 형성시키고 이에 붕소(boron)을 주입하여 형성시킨 전단응력형 압전저항의 특성을 시뮬레이션 결과와 비교 분석하였다. 압력감지 다이아프램은 정방형으로 제조되었다. 다이아프램의 모서리의 중심부에서 동일한 압력에 대한 최대 전단응력은 구조물이 정방형일 때 발생한다는 것을 실험으로 확인할 수 있었다. 따라서 압전저항은 다이아프램의 가장자리 중앙에 위치시켰다. 제조된 전단응력형 압전저항은 시뮬레이션 결과와 잘 일치하였고 $2200{\mu}m{\times}2200{\mu}m$ 크기의 다이아프램에 형성된 압전저항의 감도는 $183.7{\mu}V/kPa$로 나타났으며 0~100 kPa 범위의 압력에서 1.3%FS의 선형성을 가졌으며 감도의 대칭성 또한 우수하게 나타났다.
실리콘계 태양전지 제조과정에서 발생하는 불량품에서 실리콘웨이퍼를 회수하는 연구를 수행하였다. 상온($25^{\circ}C$)에서 인산용액 농도, 산성불화암모늄 농도, 킬레이트제 종류 및 농도를 변화시키면서 폐태양전지의 반사방지막 및 N층의 제거 효율을 조사하였다. 10 wt% 인산, 2.0 wt% 산성불화암모늄, 1.5 wt% Hydantoin 사용 시 제거 효율이 가장 우수 하였다. 인산농도가 증가할수록 미세입자의 표면전위가 (+)로 변하여 정전기적 인력에 의해 실리콘웨이퍼 표면에 재흡착하여 표면처리 전보다 두께가 두꺼워졌으며, 표면의 오염도도 증가하였다. 인산-산성불화암모늄-킬레이트제 용액에 의한 표면처리방법은 모든 공정이 상온에서 수행되며, 공정이 단순하고, 폐수 발생량이 적고, 표면제거 효율이 우수한 방법으로 폐 태양전지의 재활용 및 기존 RCA 세정법의 대안으로 가능성이 매우 클 것으로 판단되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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