• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제19권3호
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• pp.37-41
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• 2012

Cu 본딩을 이용한 웨이퍼 레벨 적층 기술은 고밀도 DRAM 이나 고성능 Logic 소자 적층 또는 이종소자 적층의 핵심 기술로 매우 중요시 되고 있다. Cu 본딩 공정을 최적화하기 위해서는 Cu chemical mechanical polishing(CMP)공정 개발이 필수적이며, 본딩층 평탄화를 위한 중요한 핵심 기술이라 하겠다. 특히 Logic 소자 응용에서는 ultra low-k 유전체와 호환성이 좋은 Ti barrier를 선호하는데, Ti barrier는 전기화학적으로 Cu CMP 슬러리에 영향을 받는 경우가 많다. 본 연구에서는 웨이퍼 레벨 Cu 본딩 기술을 위한 Ti/Cu 배선 구조의 Cu CMP 공정 기술을 연구하였다. 다마싱(damascene) 공정으로 Cu CMP 웨이퍼 시편을 제작하였고, 두 종류의 슬러리를 비교 분석 하였다. Cu 연마율(removal rate)과 슬러리에 대한 $SiO_2$와 Ti barrier의 선택비(selectivity)를 측정하였으며, 라인 폭과 금속 패턴 밀도에 대한 Cu dishing과 oxide erosion을 평가하였다.

• 한국컴퓨터산업학회논문지
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• 제3권9호
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• pp.1279-1286
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• 2002

일반적으로 방사선 의사들(radialogists)이 폐 노쥴(pulmonary nodule)을 탐지하는 데는 실제적으로 30%의 실패율을 가진다고 알려져 있다. 만약 자동화된 시스템이 체스트 영상에서 의심스런 노쥴들의 위치들을 방사선 의사에게 알려줄 수 있다면 잘못 판단되는 노쥴들의 수를 잠재적으로 줄일 수 있다. 우리는 형태학적 필터들 (morphological filters)과 두가지 특징-추출(feature-extraction) 기술들을 포함하는 컴퓨터 자동 처리 시스템을 구현하였다. 본 시스템에서는 첫째로 형태학적 필터(morphological filtering) 처리를 행한다. 이 과정은 원래의 영상에 침식(erosion)과 확장(dilation)을 연이어서 행하는 것으로 처리가 어려운 X선 영상을 좀 더 다루기 쉬운 상태로 바꿔주는 역할을 하게 된다. 둘째는 일차적으로 노쥴로서 컴퓨터에 선택된 의심 부분에 가해주는 특징-추출 테스트로서 이 작용은 노쥴로 감지되었으나 실제로는 노쥴이 아닌 경우인 false-positive 갑지들을 줄이기 위해서 사용된다. 그리하여 본 시스템은 노쥴의 정확한 판독이 어려운 폐의 X선 영상에 적용되어 false-positive들을 효과적으로 줄임으로써 보다 효율적인 폐 노쥴의 탐지를 가능하게 하였다.

• 한국수소및신에너지학회논문집
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• 제25권1호
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• pp.97-104
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• 2014

In a coal gasifier for IGCC, hot syngas leaving the gasifier at about 1550oC is rapidly quenched by cold syngas recycled from the gas cleaning process. This study investigated the flow and heat transfer characteristics in the gas quench system of a commercial IGCC process plant under different operating pressures. As the operating pressure increased from 30 bar to 50 bar, the reduced gas velocity shortened the hot syngas core. The hot fly slag particles were retained within the core more effectively, and the heat transfer became more intensive around the hot gas core under higher pressures. Despite the high particle concentrations, the wall erosion by particle impaction was estimated not significant. However, large particles became more stagnant in the transfer duct due to the reduced gas velocity and drag force under higher pressures.

• 한국환경생태학회지
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• 제23권4호
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• pp.353-364
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• 2009

본 연구는 산지황폐계류에 시공한 사방공작물이 계곡생태계에 미치는 영향을 분석하고자 시공 전후를 기준으로 조사지점별로 저서성 대형무척추동물의 출현종의 변화분석 및 생물학적 수질평가를 실시하였으며, 그 결과는 다음과 같다. 시공 전 출현한 저서성 대형무척추동물의 총 수는 4문 6강 11목 22과 25종 3,086개체였으나 시공 후 조사에서는 4문 6강 10목 17과 19종 1,208개체로 감소하였다. 특히, 직접적인 사방공작물의 시공이 이루어진 조사지점에서는 시공 후 생물종이 전혀 출현하지 않거나, 극소량만이 채집되어 서식종의 현존량을 기초로 하는 다양도 지수, 풍부도 지수, 균등도 지수가 감소 또는 산출되지 않았다. 저서생물의 군집분석 결과 및 저서성 대형무척추동물의 생태점수(ESB)는 모든 조사지점에서 시공전보다 시공 후에 오수생물계열, 환경상태, 수질등급과 같은 계곡환경질이 저하된 것으로 나타났다. 즉, 시공전 상류는 양호 및 다소 양호, 중류는 다소 불량, 하류는 불량 및 매우 불량으로 분석되었으나, 시공 후 상류 일부 지역을 제외한 나머지 수역은 매우 불량으로 분석되었다. 또한 대상 계류의 수질등급의 경우 시공 전에는 $I{\sim}III$등급 사이로 분류되었으나, 시공 후 대조군을 제외하고는 모두 $IV{\sim}V$등급으로 악화되었다 이와 같이 사방공작물의 시공후 모든 조사지점에서 발생한 저서성 대형무척추동물의 서식 환경 파괴는 개체수의 감소와 수질악화로 이어졌다. 이 결과는 사방공작물의 시공 직후에 조사 분석한 것이므로, 향후 장기간의 모니터링을 통하여 시공한 사방공작물의 재해방지 효과와 함께 계류 생태계의 회복과정에 대한 지속적인 연구가 이루어져야 할 것이다.

• 한국해안해양공학회지
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• 제3권1호
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• pp.38-44
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• 1991

간단한 box 모형이 장방형 해분에서의 세립 퇴적물의 퇴적현상을 설명하기 위하여 이용되었으며. 이 모형에 필요한 침식 및 퇴적률의 계수를 조사하여 남해안 가막양만에 적용하여 보았다. 해분이 외해와 연결되어 있고 외해의 부유퇴적물 농도가 일정하면 해분내에서 한 조석 주기 동안의 평균 부유퇴적물 농도는 일정한 값을 유지하게 되고 조류의 게류시 부근에는 퇴적이 일어나고 최대 유속시 부근에는 바닥 퇴적물의 재부유 및 침식이 일어나는 것을 보여주고 있다. 가막양만 처럼 퇴적이 우세한 해분에서는 조석 주기 중 퇴적이 일어나는 시간과 최대 퇴적률이 침식에 비하여 크게 나타나고 있으며, 이러한 퇴적 우세 해분의 부유퇴적물 평균농도는 외해의 부유퇴적물 농도보다 낮은 값을 보이고 있다. 또한. 조류의 유속변화에 따른 해분내기 부유퇴적물 농도변화는 고조의 약 한 시간 전에 최대값을 나타내고 저조의 약 한 시간 후에 최소값을 나타낸다.

• 한국지반공학회논문집
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• 제28권5호
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• pp.5-12
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• 2012

토목섬유튜브공법은 고분자 합성섬유인 지오텍스타일을 활용하여 하천 및 해안구조물을 비롯하여 다양한 토목구조물을 축조할 수 있는 최신 적용공법이다. 본 논문에서는 해안가 모래의 침식을 방지를 위해 토목섬유튜브의 거동과 안정성, 침식방지 활용 가능성을 파악하고자 실내시험과 현장시험을 실시하였다. 실내시험인 대형직접전단시험 결과에 의하면 상대밀도가 증대됨에 따라 마찰각이 증가함을 알 수 있었고, 모래/토목섬유의 마찰각이 모래/모래의 마찰각보다 더 크게 나타났다. 현장시험 결과에 의하면 계측을 통해 시공 중 및 시공 후의 거동과 안정성을 파악하였고 침식방지 효과를 확인하였다.

• 한국표면공학회지
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• 제53권3호
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• pp.95-103
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• 2020

In this study, the material used in the hot dip galvanizing equipment was poorly corrosion-resistant, so it was performed to solve the cost and time problems caused by equipment replacement. The theoretical calculation was performed using the DV-Xα method(Discrete Variational Local-density approximation method). The alloy (STS4XX series) of the equipment currently used has a martensite phase. Therefore, the theoretical calculation was performed by applying P4 / mmm, which is a tetragonal structure. The new alloy was chosen by designing theoretical values close to existing materials. Considering elements that contribute to corrosion, most have high prices. Therefore, the design was completed by adjusting the content using only the components of the reference material in the theoretical design. The final design alloys were chosen as D6 and D9. Designed D6 and D9 were dissolved and prepared using an induction furnace. After the heat treatment process was completed, the corrosion rate of the alloys was confirmed by using the potentiodynamic polarization test. The surface of the prepared alloys were processed horizontally and then polished to # 1200 using sand paper to perform potentiodynamic polarization test. Domestic products: 4.735 mpy (mils / year), D6: 0.9166 mpy, D9: 0.3372 mpy, alloys designed than domestic products had a lower corrosion rate. Therefore, the designed alloy was expected to have better erosion resistance.

• 접착 및 계면
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• 제7권2호
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• pp.19-25
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• 2006

미생물 합성 고분자인 poly(hydroxylalkanoate)s (PHAs)의 초기효소분해는 표면침식의 메커니즘으로 진행하므로 이들의 분해거동은 표면특성을 개질로서 조절할 수 있다. 본 연구에서는 효소분해속도를 조절하기 위하여 플라즈마 기법을 PHAs 표면특성의 개질에 적용하였다. $CF_3H$와 $O_2$ 플라즈마를 사용하여 재료 표면에 각각 소수성 및 친수성을 부여하였다. 효소분해 실험은 pH 7.4의 0.1 M potassium phosphate 완충용액에서 Alcaligenes facalis T1에서 정제된 poly(hydroxybutyrate) 분해효소를 첨가하여 행하였다. $CF_3H$ 플라즈마 처리된 시편의 경우 표면 층의 불소화에 따른 소수성의 증가와 분해 효소에 대한 비활성으로 초기분해 속도가 상당히 지연됨을 관찰하였으나 $O_2$ 플라즈마 처리에 의한 표면 친수성은 분해속도의 촉진 등에 큰 영향을 미치지 않았다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제11권10호
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• pp.1937-1943
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• 2007

산지가 많은 국내의 지형적 특성으로 절취사면의 발생은 필수적이며, 해마다 발생되는 사면 붕괴로 인해 많은 인명 재산 피해가 발생되고 있다. 또한 최근 무분별한 개발로 인한 산림지역의 훼손으로 토양의 침식 이 발생하고 이는 강우와 결부되어 하천 오염 및 하천의 바닥고를 상승시켜 통수능을 저하시키는 원인이 된다. 국내에서는 환경 영향평가, 재해영향평가 등을 통하여 적절한 대책을 수립하고 있으며, 이를 위한 정량적 분석을 위해서는 신뢰할 수 있는 사면정보가 필요하다. 본 연구의 목적은 비측량용 사진기를 장착한 RC 모형 헬기를 이용하여 사면에 관련한 디지털 영상을 획득하고, 이를 처리하여 보다 정확한 사면정보를 획득하는데 있다. 이를 위해 절취사면을 대상으로 획득된 디지털 영상을 처리하여, 사면의 수치 정보를 획득하였고, 획득된 사면 정보를 바탕으로 신뢰 할 수 있는 토사유출인자를 산정 하였다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
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• pp.784-787
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• 2003

In this study, water jet etching of aqueous green tape was attempted for processing barrier rib of plasma display panel. This process combines 1) chemical etching between water and aqueous based binder in the tape and 2) mechanical erosion by water jet. Effects of etching parameters such as pressure, temperature and aqueous binder content on the morphology of barrier ribs formed were investigated. The results demonstrated a possibility of processing barrier ribs by water jet etching.