Effect of rapid thermal annealing on interface trap density by using subthreshold slope technique in the FD SOI MOSFETs (완전 결핍 SOI MOSFET의 계면 트랩 밀도에 대한 급속 열처리 효과)
-
- Proceedings of the IEEK Conference
- /
- 대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 II
- /
- pp.711-714
- /
- 2003