Characteristics of ITO thin Films Grown under Various Process Condition by Using Facing Target Sputtering (FTS) System (FTS장치를 이용한 다양한 공정 조건에서 제작한 ITO 박막의 특성 분석)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.16 no.1
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- pp.112-115
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- 2017