저유전상수를 갖는 새로운 금속 층간 절연박막 : $SiO_2$ aerogel film
(A new intermetal dielectric with low dielectric constant : $SiO_2$ aerogel film)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
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- pp.45-45
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- 1996