The Spectroscopic Ellipsometry Application to the Diamond Thin Film Growth Using Carbon Monoxide(CO) as a Carbon Source (탄소의 원료로 일산화탄소를 사용한 다이아몬드 박막 성장 관찰에 대한 분광 Ellipsometry의 응용)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- 제11권5호
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- pp.371-377
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- 1998