• 제목/요약/키워드: deposition pattern

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New curing method using gaseous oxidant on sweet potato (Ipomoea batatas)

  • Jin, Hyunjung;Kim, Wook
    • 한국작물학회:학술대회논문집
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    • 한국작물학회 2017년도 9th Asian Crop Science Association conference
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    • pp.39-39
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    • 2017
  • In Asia, sweet potato (Ipomoea batatas) is a very important crop for starch production. Approximately 74.3% of the total sweet potato production quantity is produced in Asia (FAO, 2014) and China is the largest producer of sweet potato. Post-harvest management is particularly important because it is difficult to maintain the quality as well as quantity of sweet potatoes. Despite the importance of post-harvest management, researches on sweet potato have been focused on production-related study such as breeding of new variety, improved techniques of cultivation, so there is limited research on storage after harvest. Curing is a normal practice after sweet potato harvest to promote wound healing and extend postharvest storage life. In Korea, harvested sweet potatoes are usually cured for 4 to 7 days at $30-33^{\circ}C$ and 80-95% relative humidity within one week. Since the optimum storage temperature of sweet potato is regarded as $15-20^{\circ}C$, additional facilities and costs are required to raise the temperature for curing. However, the majority of small farmers do not have the capacity to provide additional facilities and costs. This study was initiated to suggest a new curing method to accelerate the wound healing by applying chemical oxidation to the wound surface of sweet potato. Oxidative stress is known to play an important role in the synthesis of secondary metabolites including lignin. In addition, chemical oxidation can be applied to prevent spoilage caused by microorganisms. Powerful gaseous oxidant with excellent penetration ability and superior sterilization effect was selected for this study. Lignification, weight loss, and spoilage rate of artificially wounded sweet potatoes were investigated after oxidant fumigation. There were clear differences in morphological analysis such as lignification pattern, lignin deposition color, and continuity of lignified cell layers between oxidant-fumigated sweet potatoes and control. These results show that gaseous oxidant can be used to supplement or replace the curing practice, to improve shelf-life as well as curing cost reduction.

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RHEED회절점의 강도변화에 따른 In/Si(111)에 대한 연구 (The study of In/Si(111) surface by variation of RHEED spot intensity)

  • 곽호원;이의완;박동수;이운환
    • 한국진공학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.172-176
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    • 1997
  • Si(111)7×7표면에 In을 증착시킬 때 기판온도와 증착량에 따른 표면구조의 변화를 RHEED(Reflection High Energy Electron Diffraction) 상(pattern)과 RHEED상의 회절반점 (spot)강도 변화를 관찰하여 조사하였다. Si(111) 기판온도를 400℃로 유지하면서 In을 증착 시킬 때 증착량이 약 0.1, 0.3, 0.5ML에서 각각 {{{{ SQRT { 3} }}× {{{{ SQRT { 3} }}, {{{{ SQRT { 31} }}× {{{{ SQRT { 31} }}, 4×1구조가 관찰 시작하였다. 기판온도 300°에서는 증착량이 약 0.2ML에서부터 4×1구조가 나타나고 0.8ML이상에서부터는 4×1+{{{{ SQRT { 3} }}× {{{{ SQRT { 3} 가 관찰되기 시작하였다. Si(111)-{{{{ SQRT { 3} }}× {{{{ SQRT { 3} 기판온도를 실온으로 유지하면서 In를 착시킬 때 증착량이 0.25, 0.7ML에서 각각 2×2, {{{{ SQRT { 7} }}× {{{{ SQRT { 3} 기 시작하였다. RHEED 반점의 강도변화를 이용하여 Si(111)-{{{{ SQRT { 7} }}× {{{{ SQRT { 3} n원자의 이탈 과정을 조사한 결과 이탈 에너지는 2.84eV로 조사되었다.

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블록 공중합체 박막을 이용한 텅스텐 나노점의 형성 (Fabrication of Tungsten Nano Dot by Using Block Copolymer Thin Film)

  • 강길범;김성일;김영환;박민철;김용태;이창우
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.13-17
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    • 2006
  • 밀도가 높고 주기적인 배열의 기공과 나노패턴이 된 텅스텐 나노점이 실리콘 산화물/실리콘 기판위에 형성이 되었다. 기공의 지름은 25 nm이고 깊이는 40 nm 이었으며 기공과 기공 사이의 거리는 60 nm이었다. nm 크기의 패턴을 형성시키기 위해서 자기조립물질을 사용했으며 폴리스티렌(PS) 바탕에 벌집형태로 평행하게 배열된 실린더 모양의 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA)의 구조를 형성했다. 폴리메틸메타아크릴레이트를 아세트산으로 제거하여 폴리스티렌만 남아있는 건식 식각용 마스크를 만들었다. 실리콘 산화막은 불소 기반의 화학반응성 식각법을 이용하여 식각했다. nm크기의 트렌치 안에 선택적으로 증착된 텅스텐 나노점을 만들기 위해서 저압화학기상증착(LPCVD)방법을 이용하였다. 텅스텐 나노점과 실리콘 트렌치의 지름은 26 nm 와 30 nm였다.

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일본 Chichibu산지 계반림의 입지환경 (Riparian forest and environment variables relationships, Chichibu mountains, central, Japan)

  • Ann, Seong-Won
    • 한국환경과학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.93-100
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    • 2003
  • In most mountainous parts of the temperate zone of Japan along the Pacific Ocean, some climatic climax forests, whose main dominant species is Fagus crenate, F. japonica or Quercus mongolica var. grosseserrata, are distributed. In the riparian regions of the zone, however, there appear summer green forests composed of the different species from the climatic climax forests. Climate plays an important role in determining the overall distribution of vegetation, but some environmental factors, i.e., topography, soil type, soil moisture content, etc. have a great influence on vegetation formation. Riparian forests seem to be controlled by various geomorphologic disturbances, such as landslide, soil erosion and accumulation. The study aims to present the relationships among vegetation, soils and landforms in the process of determining riparian forests dominated by Fraxinus platypoda and Pterocarya rhoifolia establishment in the mountainous region of central Japan. The study area extends an area of 302 ha with a range of elevation between 925 m and 1,681 m at the Chichibu mountains. The landforms were corditied at sampling grids (25 $\times$ 25 m, n = 4,843) using a hierarchical system, and a brief description of the forest soil classification was also given. The mutual relationship analysis indicated that forest soils and landforms play a significant role in determining the geomorphological process of riparian forest, and shaping the ultimate pattern of vegetation. At the study area, riparian forests were mainly found on the $B_E$ forest soil type and steep slopes ( > 30$^{\circ}$) at convex slopes along the streams. On the other hand, the direction of slopes did not have a significant impact on the establishment of the riparian forests. A mosaic of patchy distribution of those riparian forests on the slightly wetter $B_E$ forest soil type was one of the characteristic features of the study area. This particular soil which contained large talus gravels was found on the land formed by erosion and deposition of landslide.

FTES/$O_2$-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성 (Formation of SiOF Thin Films by FTES/$O_2$-PECVD Method)

  • 김덕수;이지혁;이광만;강동식;최치규
    • 한국재료학회지
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    • 제9권8호
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    • pp.825-830
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    • 1999
  • FTES/$O_2$-PECVD 방법에 의하여 증착된 SiOF 박막의 특성을 FT-IR, SPS, 그리고 ellipsometry로 분석하였다. 유전상수, breakdown field와 누설전류 밀도는 MIS(Au/SiOF/p-Si) 구조로 형성하여 C-V와 I-V특성곡선으로부터 측정하였다. SiOF박막의 step-coverage는 SEM 단면사진으로 조사하였다. FTES와 $O_2$의 유량을 각각 300sccm으로 반응로에 주입하였을 때 양질의 SiOF 박막이 형성되었다. 형성된 박막의 유전상수는 3.1로서 다른 산화막보다 더 낮은 값으로 나타났다. breakdown field와 누설전류밀도는 약 10MV/cm와 $8{\times}10^{9}A/\textrm{cm}^2$로 측정되었다. $0.3{\mu}{\textrm}{m}$ 금속 패턴에 $2500{\AA}$의 두께로 증착된 SiOF 박막은 전극간에 void가 없이 우수한 덮힘을 보였다.

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AMOLED 에이징 챔버 신호 생성 및 가열 시스템 (AMOLED Aging Chamber Signal Generation and Heating System)

  • 이병권;조광희;정회경
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제22권6호
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    • pp.861-866
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    • 2018
  • OLED(Organic Light-Emitting Diode) 제조에서 에이징(aging) 공정은 제조 효율을 높이고 에이징 보정을 위한 보정 값을 측정한다. OLED의 에이징 보정을 위한 보정 값은 구동 신호에 적용할 수 있다. OLED 에이징 공정은 미리 설정된 구동신호와 온도에 의해 정해진 시간 동안 빛을 출력한 후 전류를 측정한다. OLED 제조 공정에서 증착 및 기온에 의해 균일하지 않은 것에 대해 에이징을 가하는 것이다. 이 시간이 OLED 효율 감소에 미치는 영향은 거의 없다. 에이징을 위해 필요한 조건을 만들기 위해 가열장치와 신호 생성 시스템이 요구된다. 가열장치와 신호 생성 시스템에 의해 측정된 결과값은 OLED 제조에서 전력 요구사항, 균일성, 효율성을 평가하는 근거로 사용할 수 있다. 이에 본 논문에서는 실용적인 OLED 에이징 보정을 위한 구동 신호 생성 및 가열 시스템의 연동을 위한 구성을 제안하고 이를 구현하였다.

초청정한 Si 기판 위에서 Ti의 초기 반응 (Initial Reactions of Ti on the Atomically Clean Si Substrates)

  • 전형탁
    • 분석과학
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    • 제5권3호
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    • pp.303-308
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    • 1992
  • Ti과 Si의 초기 반응이 Titanium Silicide의 표면 거칠기 (Surface roughness)를 고찰하기 위해 연구하였다. 형성기구는 In-situ AES와 LEED의 측정장비로 연구하였다. Ti의 하나나 두 원자층이 초고진공에서 원자적으로 깨끗한 Si 기판 위에 증착되었다. Reconstruction이 된 $7{\times}7$ Si(111) 표면이 초 고진공하에서 얻어졌으며 박막의 증착은 Quartz Crystal Oscillator로 측정되었다. In-situ 측정 결과 Ti과 Si의 초기 반응이 실온에서 일어났으며 Disorder막을 형성하였다. 낮은 온도($200^{\circ}C{\sim}300^{\circ}C$)에서 Ti과 Si의 Intermixing이 고찰되었고 $400^{\circ}C$ 근처에서 $1{\times}1$ Si(111) LEED 패턴이 관찰되었다. 이것은 Disorder막이 Order막으로 변화가 생긴 것을 나타낸다. 더 높은 온도에서 $7{\times}7$ Si(111) LEED 패턴이 재관찰되었는데 이것은 3차원적인 $TiSi_2$의 형성을 증명하는 것이다.

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한반도 서해 태안반도 연근해 부유퇴적물의 기초 해양환경적 특성 (Basic Marine Environmental Characteristics of Suspended Sediments in the Inner Shelf Zone off Tae-An Peninsula, West Coast of Korea)

  • 최진용;박용안
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제1권1호
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    • pp.46-54
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    • 1996
  • 한반도 서해 태안반도 연근 해역에서 춘계동안 부유물 함량분포경향을 분석 하여, 부유물질의 운반 양상을 해석하였다. 특히 비파괴 방식의 SPECTREX 분석 기기를 이용하여 부유물의 입도분포를 정밀 분석하였다. 연구해역의 수괴 특성은 강한 조석전선이 형성되어, 수직적으로 균질한 수괴의 연안역과 수온약층이 뚜렷한 외양역으로 구분되었다. 부유물 함량은 대체로 10 mg/l 이하로 낮지만, 연안역의 저층수와 외양역의 중층수에서는 혼탁한 수괴가 관측되었다. 부유물은 평균입도가 각각 5-6$\mu\textrm{m}$와 8-10$\mu\textrm{m}$에 해당하는 세립질 부유물과 조립질 부유물로 구분되며, 주로 쇄설성 성분이 우세한 것으로 해석되었다. 전반적으로 태안반도 연근해역에서는 강 한 조류에 의해 해저 퇴적물의 재부유작용이 우세하며, 세립 퇴적물의 집적이 제한 되는 것으로 해석된다. 또한 경기만의 초입에 해당하는 북부역으로부터 공급되는 쇄설성 부유 퇴적물이 수온약층의 중층수역을 따라 남쪽 또는 남서쪽 방향으로 우 세하게 운반되는 것으로 해석된다.

Real-Time Spacer Etch-End Point Detection (SE-EPD) for Self-aligned Double Patterning (SADP) Process

  • Han, Ah-Reum;Lee, Ho-Jae;Lee, Jun-Yong;Hong, Sang-Jeen
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.436-437
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    • 2012
  • Double patterning technology (DPT) has been suggested as a promising candidates of the next generation lithography technology in FLASH and DRAM manufacturing in sub-40nm technology node. DPT enables to overcome the physical limitation of optical lithography, and it is expected to be continued as long as e-beam lithography takes place in manufacturing. Several different processes for DPT are currently available in practice, and they are litho-litho-etch (LLE), litho-etch-litho-etch (LELE), litho-freeze-litho-etch (LFLE), and self-aligned double patterning (SADP) [1]. The self-aligned approach is regarded as more suitable for mass production, but it requires precise control of sidewall space etch profile for the exact definition of hard mask layer. In this paper, we propose etch end point detection (EPD) in spacer etching to precisely control sidewall profile in SADP. Conventional etch EPD notify the end point after or on-set of a layer being etched is removed, but the EPD in spacer etch should land-off exactly after surface removal while the spacer is still remained. Precise control of real-time in-situ EPD may help to control the size of spacer to realize desired pattern geometry. To demonstrate the capability of spacer-etch EPD, we fabricated metal line structure on silicon dioxide layer and spacer deposition layer with silicon nitride. While blanket etch of the spacer layer takes place in inductively coupled plasma-reactive ion etching (ICP-RIE), in-situ monitoring of plasma chemistry is performed using optical emission spectroscopy (OES), and the acquired data is stored in a local computer. Through offline analysis of the acquired OES data with respect to etch gas and by-product chemistry, a representative EPD time traces signal is derived. We found that the SE-EPD is useful for precise control of spacer etching in DPT, and we are continuously developing real-time SE-EPD methodology employing cumulative sum (CUSUM) control chart [2].

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수원지역 강하분진의 화학조성및 공간분포 분석 (Chemical Compositions and Spatial Distribution Analysis of Fall-Out Particles in Suwon Area)

  • 김현섭;이태정;김동술
    • 한국대기환경학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.23-32
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    • 1999
  • Deposition is one of the important removal mechanisms for the ambient aerosol, and it also leads to adverse environmental and economic impacts. The purpose of this study was to investigate chemical compositions and spatial distributions of fall-out aerosols. A total number of 340 samples were collected at 35 sampling sites in Suwon area from January to November, 1996. Twelve inorganic elements (Al, Ba, Cd, Cr, K, Pb, Sb, Zn, Cu, Fe, Ni, and V) and eight ionic components ($F^-$, Cl, $NO_3^-$, $SO_4^{2-}$, $Na^+$, $NH_4^+$, $Mg^{2+}$, and $Ca^{2+}$) were analyzed by AAS and IC, respectively. The monthly variation showed that the flux of fall-out particles was increased in the spring season(March, April, and May) and decreased from August to October. Arithmetic mean flux of fall-out particles was 176.8 kg/$ extrm{km}^2$/day during the study period. The fluxes of each chemical species were $SO_4^{2-}$ 12.414, $Ca^{2+}$ 7.369, $NO_3^-$ 5.812, $Cl^-$ 3.566, $NH_4^+$ 3.176, Fe 3.107 kg/$\textrm{km}^2$/day, and so on. By using a kriging analysis, spatial distribution pattern of those fluxes was intensively studied. Total fluxes estimated in Suwon city were 8424.72t/y of fall-out particles, 519.27t/y of $SO_4^{2-}$, 336.79t/y of $Ca^{2+}$,267.34 t/y of $NO_3^+$, 155.36t/y of $Cl^-$, 147.79t/y of Fe.

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