• 제목/요약/키워드: contact resistivity

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스크린 프린팅 공정에 의해 제조된 열전후막모듈의 전기저항에 미치는 금속코팅층의 영향 (Influence of Metal-Coating Layer on an Electrical Resistivity of Thick-Film-Type Thermoelectric Modules Fabricated by a Screen Printing Process)

  • 김경태;구혜영;하국현
    • 한국분말재료학회지
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    • 제18권5호
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    • pp.423-429
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    • 2011
  • Thermoelectric-thick films were fabricated by using a screen printing process of n and p-type bismuth-telluride-based pastes. The screen-printed thick films have approximately 30 ${\mu}m$ in thickness and show rough surfaces yielding an empty gap between an electrode and the thick film. The gap might result in an increase of an electrical resistivity of the fabricated thick-film-type thermoelectric module. In this study, we suggest a conductive metal coating onto the surfaces of the screen-printed paste in order to reduce the contact resistance in the module. As a result, the electrical resistivity of the thermoelectric module having a gold coating layer was significantly reduced up to 30% compared to that of a module without any metal coating. This result indicates that an introduction of conductive metal layers is effective to decrease the contact resistivity of a thick-film-typed thermoelectric module processed by screen printing.

금속에 따른 p-GaAsSb 오믹접촉의 전기적 특성에 관한 비교 연구 (Comparative studies of ohmic metallization on p-GaAsSb)

  • 조승우;장재형
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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    • pp.33-36
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    • 2004
  • 탄소 도핑$(5{\times}10^{19}\;cm^{-3})$된 p-type GaAsSb 에피층 위에, Ti/Pt/Au, Pd/Au, Pd/Ir/Au를 이용한 다층 오믹 접촉을 제작하였다. MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition)를 이용하여 성장시킨 이 p-GaAsSb의 정공 이동도는 탄소의 도핑 농도가 매우 높음에도 불구하고, $50\;cm^2/Vs$로 측정되었다. 오믹 접촉의 전기적 특성을 측정하기 위하여 TLM(Transfer length method)를 이용하였다. Pd/Ir/Au을 이용한 오믹접촉의 specific contact resistivity는 $10^{-8}\;ohm-cm^2$ 보다 작은 수치를, transfer length는 100 nm보다 작은 수치를 보였으며, Ti/Pt/Au을 이용한 ohmic contact의 specific contact resistivity는 $10^{-7|\;ohm-cm^2$ 보다 작은 수치를, transfer length는 400 nm보다 작은 수치를 나타내었다.

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AlGaAs/GaAs HBT 에미터 전극용 Pd/Si계 오믹 접촉 (Pd/Si-based Emitter Ohmic Contacts for AlGaAs/GaAs HBTs)

  • 김일호
    • 한국진공학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.218-227
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    • 2003
  • AlGaAs/GaAs HBT 에미터 오믹 접촉을 위해 n형 InGaAs에 대한 Pd/Si/Ti/Pt 및 Pd/Si/Pd/Ti/Au 오믹 접촉 특성을 조사하였다. Pd/Si/Ti/Pt 오믹 접촉의 경우, 증착 상태에서는 접촉 비저항을 측정할 수 없을 정도의 비오믹 특성을 보였으며, $375^{\circ}C$에서 10초 동안 열처리한 경우 $5\times10^{-3}\Omega\textrm{cm}^2$의 높은 접촉 비저항을 나타내었다. 그러나 열처리 조건을 $425^{\circ}C$, 10초로 변화시킬 경우 $2\times10^{-6}\Omega\textrm{cm}^2$의 낮은 접촉 비저항을 나타내었다. Pd/Si/Pd/Ti/Au 오믹 접촉의 경우, $450^{\circ}C$까지의 열처리 동안에 전반적으로 우수한 오믹 특성을 나타내어 $400^{\circ}C$, 20초의 급속 열처리 조건에서 최저 $3.9\times10^{-7}\Omega\textrm{cm}^2$의 접촉 비저항을 나타내었다. 두 오믹 접촉 모두 오믹 재료와 InGaAs의 평활한 계면을 유지하면서 우수한 오믹 특성을 나타내어, 화합물 반도체 소자의 오믹 접촉으로 충분히 응용 가능하였다. Pd/Si/Ti/Pt 및 Pd/Si/Pd/Ti/Au를 AlGaAs/GaAs HBT의 에미터 오믹 접촉으로 사용하여 제작된 HBT 소자의 고주파 특성을 측정한 결과, 차단 주파수가 각각 63.9 ㎓ 및 74.4 ㎓로, 또한 최대공진 주파수가 각각 50.1 ㎓ 및 52.5 ㎓로 우수한 작동특성을 보였다.

스카른광체를 탐지하기 위한 물리탐사 적용 (Application of Geophysical Survey for Detecting the Skarn Ore Deposit)

  • 박충화;정연호;이영동;박종오
    • 지질공학
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    • 제20권1호
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    • pp.71-78
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    • 2010
  • 강원도 삼척시 가곡면과 태백시 철암동에 위치한 가곡광산은 묘봉층 및 풍촌층내의 석회암과 화강반암의 접촉부에 배태된 접촉교대광산이다. 본 광산에서 지구물리탐사는 갱내 및 광산 주변부에 광화대의 부존 여부와 그 연장선을 파악하기 위하여 갱구 부근에서 자력탐사, 갱내에서 전기비저항 탐사 및 갱도-갱도 전기비저항 토모그래피탐사를 실시하였다. 자력탐사는 광화대의 영향으로 인한 이상대가 확연히 나타나지 않았지만, 전기비저항 탐사 및 토모그래피 탐사는 광화대에 대한 영상이 성공적으로 반영되었는데, 이는 본 연구지역에 존재하는 $N50^{\circ}W$계의 단층 연장선과 관련된 것으로 해석되어진다.

열철리에 따른 Epoxy 복합재료의 표면 소수성증가에 관한 해석 (Analyses on the Increment of Surface Hydrophobicity of Epoxy Composites by Thermal Treatment)

  • 임경범;이백수;정무영;이덕출
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제50권4호
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    • pp.153-160
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    • 2001
  • In order to analyze the degradation process of epoxy/glass fiber for outdoor condition, FRP laminate was exposed to high temperature. Then, the degradation process was evaluated by comparing contact angle, surface potential, surface resistivity, and XPS. The experimental results showed that the amount of weight loss, contact angle, surface potential and surface resistivity increased up to 200 $^{\circ}C$ as a function of temperature. These phenomena show the existence of hydrophobic surface. With the change to the hydrophobic surface and the electrical potential and resistivity on FRP surface increased. In XPS to analyze surface chemical structures, the increased hydrophobicity in thermal increase of unsaturated double bond in carbon chains. Aslo, thermal treatment caused the discoloration on the point of treated surface. These phenomena were attributed to the generations of ether group.

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이종접합 쌍극자 트랜지스터(HBT)의 에미터 접촉층으로 사용되는 InGaAs에 대한 Pd/Ge/Ti/Pt의 오믹 접촉 특성 (Pd/Ge/Ti/pt Ohmic contact to InGaAs for Heterojunction Bipolar Transistors(HBTs))

  • 김일호;장경욱;박성호(주)가인테크
    • 한국진공학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.219-224
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    • 2001
  • N형 InGaAs에 대한 Pd/Ge/Ti/Pt 오믹 접촉 특성을 조사하였다. $450^{\circ}C$까지의 급속 열처리에 의해 우수한 오믹 특성을 나타내어 $400^{\circ}C$, 10초의 급속 열처리 조건에서 최저 $3.7\times10^{-6}\; \Omega\textrm{cm}^2$ 의 접촉 비저항을 나타내었다. 이는 열처리에 의해 생성된 Pd-Ge계 화합물의 형성 및 Ge의 InGaAs 표면으로의 확산과 관련이 있었다. 그러나 열처리 시간을 연장할 경우 접촉 비저항이 $low-10^5\; \Omega\textrm{cm}^2$로 약간 증가하였다. 고온 열처리 후에도 오믹 재료와 InGaAs의 평활한 계면을 유지하면서 우수한 오믹 특성을 나타내어, 화합물 반도체 소자의 오믹 접촉으로 충분히 응용 가능하다고 판단된다.

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극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과 (Effect of Surface Treatments of Polycrystalline 3C-SiC Thin Films on Ohmic Contact for Extreme Environment MEMS Applications)

  • 정귀상;온창민
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제20권3호
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    • pp.234-239
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    • 2007
  • This paper describes the TiW ohmic contact characteristics under the surface treatment of the polycrystalline 3C-SiC thin film grown on $SiO_2/Si(100)$ wafers by APCVD. The poly 3C-SiC surface was polished by using CMP(chemical mechanical polishing) process and then oxidized by wet-oxidation process, and finally removed SiC oxide layers. A TiW thin film as a metalization process was deposited on the surface treated poly 3C-SiC layer and was annealed through a RTA(rapid thermal annealing) process. TiW/poly 3C-SiC was investigated to get mechanical, physical, and electrical characteristics using SEM, XRD, XPS, AFM, optical microscope, I-V characteristic, and four-point probe, respectively. Contact resistivity of the surface treated 3C-SiC was measured as the lowest $1.2{\times}10^{-5}{\Omega}cm^2$ at $900^{\circ}C$ for 45 sec. Therefore, the surface treatments of poly 3C-SiC are necessary to get better contact resistance for extreme environment MEMS applications.

고효율 열전소재 2%Na-PbTe 의 소자화에 관한 연구 (Study on Metalizing 2% Na-PbTe for Thermoelectric Device)

  • 김훈;강찬영;황준필;김우철
    • 정보저장시스템학회논문집
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    • 제10권2호
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    • pp.32-38
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    • 2014
  • Heat emission from the laser diode used in the optical disc drive and the defects from the increased temperature at the system have attracted attentions from the field of the information storage device. Thermoelectric refrigerator is one of the fine solutions to solve these thermal problems. The refrigeration performance of thermoelectric device is dependent on the thermoelectric material's figure-of-merit. Meanwhile, high electrical contact resistivity between metal electrode and p- and n-type thermoelectric materials in the device would lead increased total electrical resistance resulting in the degeneracy in performance. This paper represents the manufacturing process of the PbTe-based material which has one of the highest figure-of-merit at medium-high-temperature, ~ 600K to 900 K, and the nickel contact layer for reduced electrical contact resistance at once, and the results showing the decent contact structure and figure-of-merit even after the long-term operation environment.

Electro-Micromechanical 시험법과 음향방출을 이용한 단섬유시멘트복합재료의 미세파괴구조와 비파괴적 평가 (Nondestructive Evaluation and Microfailure Modes of Single Fibers/Cement Composites using Electro-Micromechanical Technique and Acoustic Emission)

  • Lee, Sang-Il;Kim, Jin-Won;Park, Joung-Man;Yoon, Dong-Jin
    • 한국복합재료학회:학술대회논문집
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    • 한국복합재료학회 2001년도 춘계학술발표대회 논문집
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    • pp.258-262
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    • 2001
  • The contact resistivity was correlated with IFSS and microfailure modes in conductive fiber/cement composites electro-pullout and AE. As IFSS increased, the number of AE signals increased and the contact resistivity increased latter to the infinity. In dual matrix composite (DMC) test and AE, the number of signals with high amplitude and energy in g]ass fiber composite is significantly larger than that of no-fiber composite. Many vertical and diagonal cracks were observed in glass fiber and no-fiber composite under tensile test, respectively. Electro-micromechanical technique and AE can be used efficiently for sensitive nondestructive (NDT) evaluation and to detect microfailure mechanisms in various conductive fibers reinforced brittle and nontransparent cement composites.

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