표면처리된 p-type GaN에서의 Pt 전극의 Ohmic 특성 연구

Reduction of contact resistivity of Pt Ohmic contact on p-type GaN using surface treatment

  • 이종람 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 김종규 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이재원 (삼성종합기술원 광전자실) ;
  • 박용조 (삼성종합기술원 광전자실) ;
  • 김태일 (삼성종합기술원 광전자실)
  • 발행 : 1999.11.01