• Title/Summary/Keyword: clean시스템

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반도체 클린룸용 에어와셔 외기공조시스템의 에너지소비량에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on Energy Consumption of Air Washer Outdoor Air Conditioning Systems for Semiconductor Manufacturing Clean Rooms)

  • 김기철;김형태;송근수;유경훈;손승우;신대건;박덕준
    • 설비공학논문집
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    • 제24권4호
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    • pp.297-305
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    • 2012
  • In recent large-scale semiconductor manufacturing clean rooms, the energy consumption of outdoor air conditioning systems to heat, humidify, cool and dehumidify incoming outdoor air represents about 45% of the total air conditioning load required to maintain a clean room environment. Therefore, the energy performance evaluation and analysis of outdoor air conditioning systems is useful for reducing the outdoor air conditioning load for a clean room. In the present study, an experiment was conducted to compare the energy consumption of outdoor air conditioning systems with a simple air washer, an exhaust air heat recovery type air washer and a DCC return water heat recovery type air washer. It was shown from the present lab-scale experiment with an outdoor air flow of 1,000 $m^3/h$ that the exhaust air heat recovery type and DCC return water heat recovery type air washer outdoor air conditioning systems were more energy-efficient for the summer and winter operations than the simple air washer outdoor air conditioning system and furthermore, the DCC return water heat recovery type one was the most energy-efficient in the winter operation.

입체영상 촬영을 위한 드론용 짐벌시스템 제어 (Gimbal System Control for Drone for 3D Image)

  • 김민;변기식;김관형
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제20권11호
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    • pp.2107-2112
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    • 2016
  • 본 논문은 드론 같은 움직임이 불규칙한 환경에서 깨끗하고 안정된 입체영상을 촬영하기 위해서는 드론용 짐벌 시스템 제어 안정화기 설계가 필요하다. 짐벌 시스템은 카메라 모듈을 지지하는 구조와 외부로 부터의 진동을 차단하면서 정확한 각도를 추종하는 센서 등으로 구성된다. 움직임이 불규칙한 촬영장비나, 비행중인 드론에는 매우 다양한 주파수 성분의 진동의 발생으로 인해 안정된 영상물을 촬영하기에 어려움이 많다. 이러한 다양한 주파수 성분의 진동을 제어하기 위해 일반적으로 rolling-pitching-yawing 운동에 대하여 일반적인 PID 제어기를 설계하여 안정적으로 제어하지만, 드론용 짐벌시스템 구조가 변경되거나 시스템 일부 요소가 변경되게 되면 기존에 설계된 PID 제어 파라미터를 재조정을 해야 되는 경우가 빈번하게 있다. 이런 문제점을 개선하기 위해 본 논문에서 제기된 제어 기법인 지적 PID제어를 통하여 움직임과 짐벌시스템의 진동제어를 수행하여 외부 환경의 변화에 강인한 제어기법을 제시하고자 한다.

FPD 공정용 Glass 이송 시스템을 위한 자기부상 EMS의 개발 (Magnetic Levitated Electric Monorail System for Flat Panel Display Glass Delivery Applications)

  • 이기창;문지우;구대현;이민철
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제17권6호
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    • pp.566-572
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    • 2011
  • In recent semiconductor and FPD (Flat Panel Display) manufacturing processes, high clean-class delivery operation is required more and more for short working time and better product quality. Traditionally SLIM (Single-sided Linear Induction Motor) is widely used in the liner drive applications because of its simplicity in the rail structure. A magnetically levitated (Maglev) unmanned vehicle with SLIM traction, which is powered by a CPS (Contactless Power Supply) can be a high precision delivery solution for this industry. In this paper unmanned FPD-carrying vehicle, which can levitate without contacting the rail structure, is suggested for high clean-class FPD delivery applications. It can be more acceptable for the complex facilities composed with many processes which require longer rails, because of simple rail structure. The test setup consists of a test vehicle and a rounded rail, in which the vehicle can load and unload products at arbitrary position commanded through wireless communications of host computer. The experimental results show that the suggested vehicle and rail have reasonable traction servo and robust electromagnetic suspensions without any contact. The resolution of point servo errors in the SLIM traction system is accomplished under 1mm. The maximum gap error is ${\pm}0.25mm$ with nominal air gap length of 4.0mm in the electromagnetic suspensions. This type of automated delivery vehicle is expected to have significant role in the clean delivery like FPD glass delivery.

구동 Wheel이 대각선상에 위치한 4륜 무인차의 조향제어 (Navigation control of an autonomous guided vehicle with 2-diagonal driving wheels)

  • 성학경;김인철
    • 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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    • 제어로봇시스템학회 1996년도 한국자동제어학술회의논문집(국내학술편); 포항공과대학교, 포항; 24-26 Oct. 1996
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    • pp.1113-1114
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    • 1996
  • We describe an algorithm to control an autonomous guided vehicle with 2-diagonal driving wheels, which navigates in the clean room.

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고온 건식 정제시스템 적용을 위한 Pilot급 석탄가스화기의 운전특성 (Operation Characteristics of Pilot-scale Coal Gasifier for High Temperature Dry Clean-up System)

  • 이승종;유상오;정우현;정석우;윤용승
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2010년도 추계학술대회 초록집
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    • pp.132.1-132.1
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    • 2010
  • 자원고갈과 지구온난화 등으로 재생에너지의 사용 및 보급이 지속적으로 증가할 것으로 예상되지만, 세계적으로 매장량이 풍부한 석탄의 사용량은 2030년 이후에도 지속적으로 증가될 전망이다. 따라서 세계 각국은 기후변화 규제에 대응하면서도 청정하게 석탄을 사용하기 위한 기술의 개발 및 보급을 활발히 진행 중이며, 국내에서도 온실가스 감축과 동시에 국가 성장 동력화를 추진하고 있다. 석탄가스화 기술은 석탄을 가스화하여 생산된 CO, $H_2$가 주성분인 합성가스를 연료로 활용하는 기술로, 이용 효율이 높고 석탄을 천연가스 수준으로 청정하게 사용할 수 있는 차세대 석탄이용 기술이다. 본 연구에서는 pilot급 석탄 가스화기에서 생산된 합성가스에 함유된 산성가스를 고온에서 건식으로 제거하는 시스템을 구축하였으며, 석탄 합성가스를 고온 건식 정제시스템에 공급하기 위한 석탄가스화기의 운전특성을 파악하였다.

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Oil shale의 열분해 특성 연구 (Pyrolysis Characteristics of Oil Shale)

  • 노선아;윤진한;길상인;이정규;김한석
    • 청정기술
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    • 제24권4호
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    • pp.365-370
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    • 2018
  • Oil shale은 kerogen을 함유한 퇴적암으로 대표적인 비재래 에너지자원으로 알려져 있다. 열분해 공정을 통하여 oil shale이 분해되면 oil, gas 및 coke를 생성하게 된다. 본 연구에서는 oil shale의 청정 전환기술을 개발하기 위하여 oil shale의 TGA 및 연속 열분해 연구를 수행하였다. Oil shale의 열분해 전환율에 대한 반응 온도 및 체류시간의 영향을 살펴보고 oil의 생성율을 살펴보았다. Oil shale의 열분해 전환율은 온도와 체류시간에 따라 증가하였으며 $450{\sim}500^{\circ}C$, 체류시간 30 min의 조건에서 최대 oil 생산 수율을 나타내었다.

캔 산업의 전과정평가를 통한 청정생산 적용에 관한 연구 (Study on the Application of Cleaner Production using Life Cycle Assessment in the Can Industry)

  • 구희준;정찬교
    • 청정기술
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    • 제8권4호
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    • pp.205-215
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    • 2002
  • 포장 산업의 발전과 재활용 활성화로 인해 캔 산업은 급속히 성장하였으나 공급과잉에 의해 수익성은 낮아졌다. 그러므로 캔 산업이 경쟁력을 확보하기 위해서는 제조공정의 개선을 통해 공정을 최적화하고 또한 환경부담을 감소시키는 것이 필수적이라고 할 수 있다. 본 연구에서는 전과정평가를 이용하여 알루미늄 캔 제조공정의 주요이슈를 규명하였다. 그 결과 불량캔을 저감하고 타유를 제거하는 것이 주요이슈로 규명되었다. 도출된 문제점의 개선안으로 정수시설 도입과 살균타유분리시스템 설치, 세척노즐 변경, 초순수 가온시스템 설비를 도입하였다. 개선결과 6.4개월만에 투자비를 회수하며 연간 약 3억원을 절감할 수 있을 것으로 조사되었다.

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장비 구동부품 기인 Particle 평가를 위한 마모측정기의 개발에 관한 연구 (A Study of Developing Wear Tester to Measure and Minimize Particle Levels in Cleanroom)

  • 박광희;노권학;장성호;이종환;차영철;전해등
    • 산업경영시스템학회지
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    • 제36권2호
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    • pp.1-7
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    • 2013
  • Cleanroom could be largely classified into industrial cleanroom that can be contaminated by particles and bio-cleanroom that can be contaminated by biological particles. Electrical manufacturing companies producing precision machines and electrical parts essentially have industrial cloom facilities and clean technologies to produce defects free products due to particles. Industrial cleanroom should be controlled in respect of 4M1E to prevent from foreign materials of sub-micro unit and to keep out contamination sources from outside. In this paper, a concept for a quantitative methodology to measure the particles from running components was suggested by combining both newly making clean booth such as wear tester and laser particle counter.