Furnace로 $N_2O$ 분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성
(Characteristics of Oxynitride Dielectics Prepared in $N_2O$ Ambient by Furnace)
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- 한국세라믹학회지
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- 제32권1호
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- pp.31-36
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- 1995