A High-Resolution Transmission Electron Microscopy Study on the Lattice Defects Formed in the High Energy P Ion Implanted Silicon (고에너지 P이온 주입한 실리콘에 형성된 격자 결함에 관한 고분해능 투과전자현미경 연구)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.32 no.12
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- pp.1377-1382
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- 1995