FeCoB films were being prepared on a Ru underlayer by using the oblique incidence of sputtered and back-scattered particles which have a high in-plane magnetic anisotropy field $H_k$ above 400 Oe. It is suitable to attain such deposition condition when facing targets sputtering system. The in-plane X-ray diffraction analysis clarified that there is anisotropic residual stress which is the origin of the high in-plane magnetic anisotropy. The directional crystalline alignment and inclination of crystallite growth were also observed. Such anisotropic crystalline structures may affect the anisotropic residual stress in the films. The B content of 5.6 at.% was appropriate to induce such anisotropic residual stress and $H_k$ of 410 Oe in this experiment. The film with B content of 6 at.% possessed large saturation magnetization of 22 kG and high $H_k$ of 500 Oe. The film exhibited high ferromagnetic resonance frequency of 9.2 GHz.
The plastic deformation behavior of additively manufactured anisotropic structures are analyzed using the finite element method (FEM). Hill's quadratic anisotropic yield function is used, and a modified return-mapping method based on dual potential is presented. The plane stress biaxial loading condition is considered to investigate the number of iterations required for the convergence of the Newton-Raphson method during plastic deformation analysis. In this study, incompressible plastic deformation is considered, and the associated flow rule is assumed. The modified return-mapping method is implemented using the ABAQUS UMAT subroutine and effective in reducing the number of iterations in the Newton-Raphson method. The anisotropic tensile behavior is computed using the 3-dimensional FEM for two tensile specimens manufactured along orthogonal additive directions.
An elastic-plastic solution for cavity expansion problem considering strength degradation, undrained condition and initial anisotropic in-situ stress is established based on the Tresca yield criterion and cavity expansion theory. Assumptions of large-strain for plastic region and small-strain for elastic region are adopted, respectively. The initial in-situ stress state of natural soil mass may be anisotropic caused by consolidation history, and the strength degradation of soil mass is caused by structural damage of soil mass in the process of loading analysis (cavity expansion process). Finally, the published solutions are conducted to verify the suitability of this elastic-plastic solution, and the parametric studies are investigated in order to the significance of this study for in-situ soil test.
This paper describes anisotropic etching technology of highly doped polysilicon. The main etching gases are $Cl_2$ and $SiCl_4$ for reactive ion etching of polysilicon. The mixed $CHCl_3$ to main etching gas makes polymer on etching side wall, so it prevents side etching of polysilicon. The etch rate of polysilicon is increased with increasing RF power. But the etching rate is decreased as the flow rate of $CHCl_3$ is increased with fixed RF power. The etch selectivity of polysilicon and $SiO_2$ is about 12:1. And that of polysilicon and $Si_3N_4$ is about 19:1. In the main etching gas condition, the slope of polysilicon is same as that of photoresist. But in the mixed $CHCl_3$ condition, the slope of polysilicon is larger than that of photoresist. This represents that the polymer made on side wall by added $CHCl_3$ prevents side etching, so anisotropic etching can be possible by polymer.
균질한 재료로 설계된 댐에서 수직 수평 투수계수가 서로 다를 경우에 이 비등방성 비율이 침투수의 침투면과 신뢰성지수에 어떤 영향을 주는지를 분석하였다. 정상상태에 있는 포화-불포화 침투수 현상을 유한요소법을 사용하여 분석하였다. 수평방향 투수계수를 고정한 상태에서 수직방향 투수계수만을 줄여주는 방법으로 여러가지 다른 비등방성 비율을 해석하였다. 댐제체의 전단강도는 수정된 모어-쿨롱 파괴기준을 사용하여 결정하였다. 해석 결과에 따르면 비등방성 비율이 증가함에 따라 침투면의 거리와 신뢰성지수는 증가하는 것으로 나타났으나 댐 상하류의 전체 수두차에 따라 차이를 보였다. 이러한 침투면과 신뢰성지수의 차이는 비등방성 비율이 변동함에 따라 등가수두선도 변화하는 현상에 의한 것으로 판단된다.
Journal of Electrical Engineering and information Science
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제2권5호
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pp.108-113
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1997
In this paper, the optimum condition of (110) Si etching with the potassium hydroxide(KOH) etchant is presented. Although several researches on (110) Si anisotropic etching have been studied, there has been lack of effects of mask quality and etching conditions on the selectivity and the roughness o the etched surface. Three kinds of masks (film, emulsion and E-beam mask) were used in order to verify the effect of etching properties. Anisotropic bulk etching depends on the crystalline orientation and the concentration and temperature of the etchant. In order to investigate the effect of etching conditions on selectivity and the roughness of the etched surface, the concentration of the etchant was varied from 35 to 45 per cent in weight with increments by 5 per cent and the temperature was changed from 70 to 90$^{\circ}C$ with increments by 10$^{\circ}C$. The combination of the temperature of 70$^{\circ}C$ and the concentration of 40wt.% was found to be the optimum etching condition for high selectivity. Etched surfaces show minimum surfaces show minimum surface roughness at a temperature of 80$^{\circ}C$ and a concentation of 40wt.%. Comb structures with various comb widths were fabricated and the lengths of the combs wree measured with several etching time durations. A micro comb structure 525$\mu\textrm{m}$ high was fabricated for MEMS application.
Undrained triaxial tests were performed under $K_{0}$ condition for a weathered soil, which includes local measurement using LVDT. An anisotropic hardening model based on effective stress concept could predict the stress-strain relationship under $K_{0}$ condition reasonably, which makes it possible to analyze geotechnical problems for the weathered soil.
Anisotropic characteristics of deformation are important to understand the particular behavior in the pre-failure state of soils. Recent experiments shows that cross-anisotropic moduli of granular soils can be expressed by functions of normal stresses in the corresponding directions, which is closely linked to micromechanical characteristics of particles. Granular soils are composed of a number of particles so that the force-displacement relationship at each contact point governs the macroscopic stress-strain relationship. Therefore, the micromechanical approach in which the deformation of granular soils is regarded as a mutual interaction between particle contacts is one of the best ways to investigate the anisotropic deformation of soils. In this study, a numerical program based on the theory of micromechanics is developed. Modified Hertz-Mindlin model is adopted to represent the force-displacement relationship in each contact point for the realistic prediction of anisotropic moduli. To evaluate the model parameters, a set of analytical solutions of anisotropic moduli is derived in the isotropic stress condition. By comparing the analytical solutions with exact values, we confirm that the analytical solutions can be utilized to evaluate model parameters within the acceptable range of error of 10%.
A progressive failure analysis procedure for composite laminates is developed in here and in the companion paper. An anisotropic plastic constitutive model for fiber-reinforced composite material, is developed, which is simple and efficient to be implemented into computer program for a predictive analysis procedure of composites. In current development of the constitutive model, an incremental elastic-plastic constitutive model is adopted to represent progressively the nonlinear material behavior of composite materials until a material failure is predicted. An anisotropic initial yield criterion is established that includes the effects of different yield strengths in each material direction, and between tension and compression. Anisotropic work-hardening model and subsequent yield surface are developed to describe material behavior beyond the initial yield under the general loading condition. The current model is implemented into a computer code, which is Predictive Analysis for Composite Structures (PACS), and is presented in the companion paper. The accuracy and efficiency of the anisotropic plastic constitutive model are verified by solving a number of various fiber-reinforced composite laminates with and without geometric discontinuity. The comparisons of the numerical results to the experimental and other numerical results available in the literature indicate the validity and efficiency of the developed model.
An electrostatically driven comb actuator with $525{\mu}m$ height was fabricated using (110) Si anisotropic etching in the Potassium Hydroxide(KOH) solution. The etch-rate and etch-rate ratio are strongly dependent on the weight % and temperature of KOH solution. We developed the optimal condition for the anisotropic etching on (110) wafer with varying these conditions. The force that the comb-drive actuator generates is inversely proportional to the distance of gap and proportional to the height of the comb electrodes. The electrodes must have the high aspect ratio. The (110) Si anisotropic etching is very useful to get a high aspect ratio structure.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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