• 제목/요약/키워드: alignment optics

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반사형 타원계를 이용한 러빙된 Polyimide 배향막의 초미세 광학 이방성 정밀 측정 (Precise Measurement of the Ultrasmall Optical Anisotropy of Rubbed Polyimide Using an Improved Reflection Ellipsometer)

  • 이제현;박민수;양성모;박상욱;이민호;김상열
    • 한국광학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.195-202
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    • 2015
  • 기층의 잔류 이방성에 영향을 받지 않고 러빙된 폴리이미드 배향막의 초미세 광학 이방성을 정밀하게 측정할 수 있는 반사형 타원계를 개발하고 러빙의 세기를 달리하여 제작한 배향막의 광학이방성을 이 반사형 타원계를 사용하여 측정, 분석하였다. 투과형 타원계를 사용하여 측정한 리타데이션과 비교하여 개발된 반사형 타원계의 신뢰도 및 광학 이방성의 측정 재현성을 확인하고 배향막의 형성 여부와 배향막의 형성정도를 정량적으로 평가하였다

반사경 측정을 위한 타워 방식의 Fold Mirror를 이용한 Fizeau 간섭계 시스템 구성 (A Study on the Tower type Fizeau Interferometer System with a Fold Minor for Measuring Large Optical Lens Profile)

  • 이응석;이기암;김옥현
    • 한국정밀공학회지
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    • 제25권8호
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    • pp.21-28
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    • 2008
  • Fizeau interferometer is used for inspecting the lens surface profile accurately. This study is focused on the design and optical measuring techniques for large optical components, such as a reflection mirror for large area lithography or astronomical purpose. A tower type Fizeau interferometer is designed and set up in horizontally with a 45$^{\circ}$ fold mirror which makes easy to align the optical path of heavy interferometer system. To align the optical path, a five-axes stage for the interferometer is required. This study shows a method of the 45$^{\circ}$ fold mirror alignment by using a three-axis stage instead of adjusting the interferometer itself or measuring object. This system will be installed on the large optics polishing machine during the manufacturing process as an on-machine inspection system.

로봇팔 타입 삼차원좌표측정기를 이용한 광학계의 비축수차 보정 (Coma Aberration Correction of Optical System by using a Robot Arm Type Coordinated Measuring Machine)

  • 전호빈;김고은;송인웅;강혁모;이혁교;김영식;양호순;권종훈
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.62-66
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    • 2016
  • Optical system needs to be aligned before its undergoing process, is usually shows coma aberrations, which occurred due to imperfection in the lens or other components results in off-axis point sources, appearing to have a tail like a comet. There are some methods to correct coma aberration. In this paper, to correct coma aberration in optical system, using a robot arm type coordinate measuring machine(CMM). CMMs are widely used to measure the form of accuracy of parts and positioning accuracy of systems. Among them, robot arm type CMM has more advantages than the others, such as its mobility and measuring range. However, robot arm type CMM has lower accuracy than cantilever type CMM. To prove robot arm type CMM's accuracy, several factors were suggested in this paper and the final measuring results were compared to a commercial cantilever type CMM. Based on this accuracy, a typical optical system was successfully aligned by using our robot arm type CMM.

Evaluation of the effect of mechanical deformation on beam isocenter properties of the SC200 scanning beam delivery system

  • Wang, Ming;Zheng, Jinxing;Song, Yuntao;Li, Ming;Zeng, Xianhu
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제52권9호
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    • pp.2064-2071
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    • 2020
  • For proton pencil beam scanning (PBS) technology, the accuracy of the dose distribution in a patient is sensitive to the properties of the incident beam. However, mechanical deformation of the proton therapy facility may occur, and this could be an important factor affecting the proton dose distribution in patients. In this paper, we investigated the effect of deformation on an SC200 proton facility's beam isocenter properties. First, mechanical deformation of the PBS nozzle, L-shape plate, and gantry were simulated using a Finite Element code, ANSYS. Then, the impact of the mechanical deformation on the beam's isocenter properties was evaluated using empirical formulas. In addition, we considered the simplest case that could affect the properties of the incident beam (i.e. if only the bending magnet (BG3) has an error in its mounting alignment), and the effect of the beam optics offset on the isocenter characteristics was evaluated. The results showed that the deformation of the beam position in the X and Y direction was less than 0.27 mm, which meets the structural design requirements. Compared to the mechanical deformation of the L-shape plate, the deformation of the gantry had more influence on the beam's isocenter properties. When the error in the mounting alignment of the BG3 is equal to or more than 0.3 mm, the beam deformation at the isocenter exceeds the maximum accepted deformation limits. Generally speaking, for the current design of the SC200 scanning beam delivery system, the effects of mechanical deformation meet the maximum accepted beam deformation limits. In order to further study the effect of the incident beam optics on the isocenter properties, a fine-scale Monte Carlo model including factors relating to the PBS nozzle and the BG3 should be developed in future research.

개선된 투과형 타원계를 사용한 러빙된 Polyimide 배향막의 초미세 위상지연 정밀 측정 (Precise Measurement of Ultra Small Retardation of Rubbed Polyimide Alignment Layer Using an Improved Transmission Ellipsometer)

  • 염경훈;박상욱;양성모;윤희규;김상열
    • 한국광학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.77-85
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    • 2013
  • 시료를 회전시키는 기존의 시료회전형 타원계에서 시료를 고정시키고 편광자모듈을 회전시키는 모듈회전형 타원계로 구조를 변경하고 광원교체와 회전모듈 동기화, 배경 미세이방성 보정 등을 통해서 위상지연값 측정정밀도를 $3{\sigma}$ <0.005 nm 까지 향상시켰다. 개선된 모듈회전형 타원계를 사용하고 RVD(Retardation Vector Difference) 방법을 도입함으로써 1.0 nm 정도의 잔류이방성을 가지는 유리기층의 효과를 배제한 러빙된 Polyimide 배향막의 순수 배향효과만에 의한 초미세 광학이방성을 정밀하게 측정하는 방법을 제시하였다. 순수 러빙으로 인한 배향막의 위상지연값은 0.05 nm 에서 0.15 nm 정도의 크기를 가짐을 확인하였다.

광섬유 수동정렬을 위한 단일 모드 대형 코어 폴리머 광도파로 (Large core polymeric single mode waveguide for passive fiber alignment)

  • 조수홍;백유진;오민철
    • 한국광학회지
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    • 제16권1호
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    • pp.79-84
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    • 2005
  • 정력 오차 허용 범위를 증가 시켜서 효과적인 수동정렬이 가능토록 하기 위한 단일 모드 대형 코어 폴리머 광도파로를 구현하였다. 대형 코어 광도파로는 TEC(thermally expanded core) 광섬유의 모드와 일치하는 큰 도파모드를 가진다. 이로 인해 광섬유와 도파로의 정렬오차로 인한 모드 결합 손실을 줄일 수 있게 된다. 코어와 클래딩의 굴절률 차이가 5 ${\times}$ $10^{-4}$ 인 폴리머 재료를 이용하여 25 ${\times}$ 25 $\mu\textrm{m}$$^2$ 크기의 정사각형 광도파로를 제작하였으며 도파모드 관측결과 단일모드로 동작함을 확인하였다. 이와 같이 두꺼운 형태의 광도파로 구조 제작을 위하여 자외선 경화를 이용한 인젝션 몰딩(injection molding) 공정을 사용하였다. 제작된 광도파로 소자를 TEC 광섬유와 정렬연결을 할 때 정렬오차가 4.5 $\mu\textrm{m}$ 까지 증가하더라도 삽입손실 증가는 0.5 dB 이하고 유지됨을 확인하였다.

Precise Prediction of Optical Performance for Near Infrared Instrument Using Adaptive Fitting Line

  • Ko, Kyeongyeon;Han, Jeong-Yeol;Nah, Jakyoung;Oh, Heeyoung;Yuk, In-Soo;Park, Chan;Chun, Moo-Young;Oh, Jae Sok;Kim, Kang-Min;Lee, Hanshin;Jeong, Ueejeong;Jaffe, Daniel T.
    • Journal of Astronomy and Space Sciences
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    • 제30권4호
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    • pp.307-314
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    • 2013
  • Infrared optical systems are operated at low temperature and vacuum (LT-V) condition, whereas the assembly and alignment are performed at room temperature and non-vacuum (RT-NV) condition. The differences in temperature and pressure between assembly/alignment environments and operation environment change the physical characteristics of optical and opto-mechanical parts (e.g., thickness, height, length, curvature, and refractive index), and the resultant optical performance changes accordingly. In this study, using input relay optics (IO), among the components of the Immersion GRating INfrared Spectrograph (IGRINS) which is an infrared spectrograph, a simulation based on the physical information of this optical system and an actual experiment were performed; and optical performances in the RT-NV, RT-V, and LT-V environments were predicted with an accuracy of $0.014{\pm}0.007{\lambda}$ rms WFE, by developing an adaptive fitting line. The developed adaptive fitting line can quantitatively control assembly and alignment processes below ${\lambda}/70$ rms WFE. Therefore, it is expected that the subsequent processes of assembly, alignment, and performance analysis could not be repeated.

다채널 광섬유 레이저 및 다중 빔 정렬 기술 개발 (Development of Multi-channel Fiber Laser and Beam Alignment Method)

  • 김영찬;류대건;노영철
    • 한국광학회지
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    • 제33권6호
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    • pp.245-251
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    • 2022
  • 타일형 결맞음 빔결합 연구를 위하여 시드 공유형 다채널 광섬유 레이저 및 출력단, 다중 빔 정렬 기술을 개발하였다. 광섬유 레이저는 7개의 채널을 갖고, 각각의 채널당 출력 10 W 이상으로 시드, 전치 증폭기, 광 분배기, 주 증폭기로 구성된 master oscillator power amplifier 구조이다. 레이저 빔 시준 및 정렬을 위하여 틸팅 기능이 가능한 출력단을 개발하였다. 출력단은 채움값을 높이기 위하여 원통형 구조로 제작하였으며, 광섬유 엔드캡의 결합이 가능하게 하였고, 출력단 내부에 PZT를 장착하여 틸팅 기능을 구현하였다. 다중 채널 레이저의 각 채널 빔을 표적의 한 점으로 정렬하기 위하여 stochastic parallel gradient decent (SPGD) 알고리즘을 적용하였다. SPGD 알고리즘을 이용한 PZT 제어를 통해 다중 빔 정렬을 성공적으로 구현하였다. 다중 빔 정렬 기술을 이용한 결맞음 빔결합 기술 개발이 기대된다.

각막형상과 난시도에 따른 구면 RGP 렌즈와 비구면 RGP 렌즈의 플루레신 염색 패턴 비교 (The Comparison of Fluorescein Patterns between Spherical RGP Lens and Aspherical RGP Lens by Corneal Type and Astigmatic Degree)

  • 박은혜;김소라;박미정
    • 한국안광학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.37-45
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    • 2012
  • 목적: 구면 RGP 렌즈 및 비구면 RGP 렌즈를 양호하게 피팅할 때 중심부와 주변부의 플루레신 염색 면적이 난시도 및 각막형상에 따라 어떻게 달라지는 지를 비교하여 렌즈와 각막과의 정렬상태가 렌즈의 디자인에 따라 어떠한 차이가 있는지를 알아보고자 하였다. 방법: 직난시를 가진 19~30세($25.12{\pm}3.52$세)의 90안을 대상으로 구면 및 비구면 RGP 렌즈를 착용시키고 플루레신 염색 패턴을 분석하였으며, 이의 정량적인 평가를 위하여 중심부와 주변부의 면적을 계산하여 비교하였다. 결과: 양호한 피팅이 되는 렌즈의 베이스커브가 구면 RGP 렌즈와 비구면 RGP 렌즈가 동일한 경우는 72%에 달하였으나, 대칭나비형 각막과 높은 난시도를 가진 경우에는 동일한 베이스커브에서 구면 RGP 렌즈와 비구면 RGP 렌즈가 양호한 피팅이 될 가능성이 적어졌다. 양호하게 피팅된 비구면 RGP 렌즈의 주변부 플루레신 염색 면적은 구면 RGP 렌즈보다 더 작았으며, 두 디자인의 렌즈 모두 난시가 심해질수록 주변부 면적은 감소하였고 원형 각막보다도 대칭 나비형 각막에서의 주변부 면적이 더 작았다. 동일한 난시도의 각막에서는 두 각막 형상 모두에서 양호하게 피팅된 비구면 RGP 렌즈의 주변부 플루레신 염색 면적이 더 작았다. 결론: 본 연구를 통하여 RGP 렌즈의 각막과의 정렬상태의 달라지는 정도가 렌즈 디자인, 각막의 난시도, 각막 형상에 의해 차이가 있음을 알 수 있었다. 따라서 렌즈 디자인과 각막의 정렬상태의 정량적인 고찰을 통한 본 연구결과는 RGP 렌즈의 피팅 가이드라인 설정, 적합한 디자인 개발, 부분별 누액양에 대한 기초자료로 사용될 수 있을 것이다.